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梯度残余应力下多层膜结构的弹性变形 被引量:1
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作者 董健 蒋恒 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第14期1867-1871,共5页
提出了一类Stoney延伸公式来表征多层MEMS膜结构的曲率和其各层膜内沿厚度任意分布的残余应力之间的关系。推导出三层结构下的Stoney延伸公式,并利用它解决了残余应力沿厚度方向梯度分布的三层悬臂梁结构的变形问题。制造了一个Si3N4/p+... 提出了一类Stoney延伸公式来表征多层MEMS膜结构的曲率和其各层膜内沿厚度任意分布的残余应力之间的关系。推导出三层结构下的Stoney延伸公式,并利用它解决了残余应力沿厚度方向梯度分布的三层悬臂梁结构的变形问题。制造了一个Si3N4/p+Si/Si三层悬臂梁微结构,并测得其弯曲曲率,在p+硅层残余应力梯度分布和均匀分布两种情况下分别对该结构进行了仿真和解析计算。结果表明:所提出的Stoney延伸公式能比较准确地表征多层膜结构的弹性变形和其各层膜内任意分布的残余应力之间的关系;用平均残余应力代替实际的梯度残余应力,会对结构变形的预测带来更大的误差。 展开更多
关键词 Stoney延伸公式 微机电系统 梯度残余应力 多层膜结构 弹性变形 三层悬臂梁
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PowerBuider分布式开发技术
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作者 周渝霞 李源 +1 位作者 李硕 顾风军 《电脑编程技巧与维护》 2010年第14期29-32,共4页
多层分布式应用开发是未来开发信息系统发展方向,介绍了PB分布式开发的基本概念、基于EAServer的分布式应用开发的具体方法和技术,讲述了PB分布式中服务器端、客户端的开发过程。
关键词 POWERBUILDER 分布式应用 三层结构 EASERVER JAGUAR CTS
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Gradient-structure-enhanced dielectric energy storage performance of flexible nanocomposites containing controlled preparation of defective TiO_(2) and ferroelectric KNbO_(3) nanosheets 被引量:1
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作者 Yan Wang Lili Zhao +4 位作者 Ruicong Chen Wenhui Zhao Dengwei Hu Haoran Wang Bin Cui 《Nano Research》 SCIE EI CSCD 2024年第5期4079-4088,共10页
Next generation power system needs dielectrics with increased dielectric energy density.However,the low energy density of dielectrics limits their development.Here,an asymmetric trilayered nanocomposite,with a transit... Next generation power system needs dielectrics with increased dielectric energy density.However,the low energy density of dielectrics limits their development.Here,an asymmetric trilayered nanocomposite,with a transition layer(TL),an insulation layer(IL),and a polarization layer(PL),is designed based on poly(vinylidene fluoride)-polymethyl methacrylate(PVDF-PMMA)matrix using KNbO_(3)(KN)and TiO_(2)(TO)as the nanofillers.The morphology and defect control of the two-dimensional nano KN and nano TO fillers are realized via a hydrothermal method to increase the composite breakdown strength(E_(b))and the composite energy density(U_(e)).The asymmetric trilayered structure leads to a gradient electric field distribution,and the KN and TO nanosheets block charges transfer along z direction.As a result,the development path of the electrical trees is greatly curved,and E_(b) is effectively improved.And the Ue value of the nanocomposites reaches 17.79 J·cm^(-3) at 523 MV·m^(-1).On the basis,the composite Ue is further improved by defect control in TO nanosheets.The nanocomposite KN/TO/PVDF-PMMA containing TO with less oxygen vacancy concentration(calcined at oxygen atmosphere)acquires a high Ue of 21.61 J·cm^(-3) at 548 MV·m^(-1).This study provides an idea for improving the energy storage performance by combining the design of the composite dielectric structure and the control of nanofillers’defect and morphology. 展开更多
关键词 asymmetric trilayered structure two-dimensional energy density oxygen vacancies breakdown strength dielectric
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高阻隔镀铝型BOPP薄膜的原料与工艺研究 被引量:4
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作者 梁现峰 王晓敏 +1 位作者 宫建华 曹福林 《塑料科技》 CAS 北大核心 2011年第12期57-60,共4页
依据高阻隔镀铝型BOPP薄膜的性能要求,对三层共挤结构镀铝基材的各层树脂进行了选择,并对薄膜工艺参数进行了优化。结果表明:低成本和高阻隔两种配方的镀铝层附着牢度均良好。
关键词 高阻隔 镀铝 双向拉伸聚丙烯薄膜 三层共挤结构 镀铝基材
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曲折状FeSiB/Cu/FeSiB三层膜结构应力阻抗效应研究
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作者 陈吉安 茅昕辉 +3 位作者 赵晓昱 丁文 曹莹 周勇 《功能材料与器件学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期419-422,共4页
采用磁控溅射法在玻璃基底上制备了曲折状FeSiB/Cu/FeSiB三层膜结构,在1~40MHz范围内研究了FeSiB膜和Cu膜厚度对三层膜结构应力阻抗效应的影响.结果表明:高频下三层膜的应力阻抗效应随着其形变的增加近似线性增加,在自由端弯曲变形1mm... 采用磁控溅射法在玻璃基底上制备了曲折状FeSiB/Cu/FeSiB三层膜结构,在1~40MHz范围内研究了FeSiB膜和Cu膜厚度对三层膜结构应力阻抗效应的影响.结果表明:高频下三层膜的应力阻抗效应随着其形变的增加近似线性增加,在自由端弯曲变形1mm、外加电场频率为25MHz时,应力阻抗效应达到-18.3%,在力敏传感器方面具有广阔的应用前景. 展开更多
关键词 应力阻抗 FeSiB/Cu/FeSiB三层膜 磁控溅射 曲折状
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