XPS/AES研究室温下铀基氮化层的表面氧化

采用俄歇电子能谱仪(AES)以及X射线电子能谱仪(XPS)原位研究了室温下铀基氮化层在纯O2气氛中的初始氧化过程。原位氧化过程中U的AES微分谱以及U 4f、N 1s、O 1s谱的变化显示,U2N3+x氧化形成了UNxOy;AES深度剖析结果显示,经18L以及120LO2曝露氧化层与氮化层界面处均出现N的富集,表面形成氧化层-富氮层-氮化层的三明治结构。富氮层U原子的AES微分谱中OPV混合峰的峰位远低于氮化层与氧化层,N 1s谱向低能侧移动,表明富氮层主要成分为N/U比较氮化层更高的氮化物。推测U2N3+x的氧化基于O原子对N原子的置换,被置换出的N原子进入邻近晶格使N/U比增大并阻碍O原子向内的进一步扩散。