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用于燃料棒氦质谱检漏的多级差分真空系统设计方案研究
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作者 张周 胡耀峰 +4 位作者 杨佳 李涛 张学粮 黄乾 鲁立 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第10期912-921,共10页
用于燃料棒氦检漏的装置是燃料棒生产过程中的核心部件之一,关系到燃料棒的生产质量和核电站运行稳定。现有的检漏装置采用卧式检漏装置,将燃料棒成批放入其中进行检测,检漏效率有待提高。文章开发一种多级差分真空系统,用于燃料棒的在... 用于燃料棒氦检漏的装置是燃料棒生产过程中的核心部件之一,关系到燃料棒的生产质量和核电站运行稳定。现有的检漏装置采用卧式检漏装置,将燃料棒成批放入其中进行检测,检漏效率有待提高。文章开发一种多级差分真空系统,用于燃料棒的在线通过式检漏,根据系统特点,提出了系统的设计思路和流程,通过迭代计算的方法,进行极限差分比、抽速和稳态压力计算,并对系统的参数进行分析。研究表明,该多级差分真空系统的研制是可行的,检漏室压力能维持在较低的水平,检漏响应时间较快,检漏效率优于现有设备,且系统冗余度较高,有较大的降低成本的空间。该系统能实现单根燃料棒的氦质谱检漏,为燃料棒的质量管控和溯源提供了基础。 展开更多
关键词 燃料棒 氦检漏 差分真空系统 设计方案
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Design of the Vacuum Feedthrough for the EAST ICRF Antenna
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作者 杨庆喜 宋云涛 +1 位作者 武松涛 赵燕平 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第2期252-256,共5页
Detailed design of the vacuum feedthrough for the ion cyclotron radio frequency (ICRF) antenna in EAST, along with an electro-analysis and thermal structural analysis, is pre- sented. The electric field, the voltage... Detailed design of the vacuum feedthrough for the ion cyclotron radio frequency (ICRF) antenna in EAST, along with an electro-analysis and thermal structural analysis, is pre- sented. The electric field, the voltage standing wave ratio (VSWR) and the stresses in the vacuum feedthrough are studied. A method using the rings of oxygen-free copper as the cushion and macro- beam plasma arc welding is applied in the assembly to protect the ceramic from being damaged during welding. The vacuum leak test on the prototype of vacuum feedthrough is introduced. 展开更多
关键词 vacuum feedthrough ICRF antenna RF macro-beam plasma arc welding vacuum leak test
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真空罩盒气泡检漏法在常压储罐泄漏检测中的应用
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作者 刘金生 张蔚 张连杰 《化工装备技术》 CAS 2024年第3期20-24,共5页
简要介绍了储罐常用泄漏检测技术的技术特点,和真空罩盒气泡检漏法的原理特点,分析了检测灵敏度的主要影响因素及检测方法优势。对某常压储罐泄漏事故现场进行勘察,结合储罐的基本情况和泄漏失效形式,制定了宏观检查、焊缝磁粉检测、真... 简要介绍了储罐常用泄漏检测技术的技术特点,和真空罩盒气泡检漏法的原理特点,分析了检测灵敏度的主要影响因素及检测方法优势。对某常压储罐泄漏事故现场进行勘察,结合储罐的基本情况和泄漏失效形式,制定了宏观检查、焊缝磁粉检测、真空罩盒气泡检漏法检测相结合的无损检测方案,确定储罐底板上表面机械损伤部位发生泄漏。储罐泄漏检测方案的制定方法及真空罩盒气泡检漏法的参数选取方法可以为储罐现场的泄漏检测提供理论指导,对降低企业运行维护成本和保护环境具有重要意义。 展开更多
关键词 储罐 泄漏 检测 真空罩盒气泡检漏法
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基于氦气质谱法的动力电池包热管理模块密封性检测系统
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作者 张儒锋 唐露新 +4 位作者 王勇煌 余迪超 姜德志 李波 马镇华 《自动化与信息工程》 2024年第2期45-49,共5页
根据动力电池包热管理模块密封性检测要求,提出一种基于氦气质谱法的动力电池包热管理模块密封性检测系统。为避免氦气泄露污染,先利用低氦进行大漏粗检,再利用氦气进行精检;通过氦气回收和氮气清扫等工艺,降低检测成本,提高检测可靠性... 根据动力电池包热管理模块密封性检测要求,提出一种基于氦气质谱法的动力电池包热管理模块密封性检测系统。为避免氦气泄露污染,先利用低氦进行大漏粗检,再利用氦气进行精检;通过氦气回收和氮气清扫等工艺,降低检测成本,提高检测可靠性;采用双真空箱交替工作模式,提高检测效率。经实验验证,最小检测漏率小于1.5×10^(-6)mbar·L/s,满足动力电池包热管理模块密封性检测要求。 展开更多
关键词 氦气质谱法 泄漏检测 电池包热管理模块 真空箱
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PECVD设备Leak在线监控系统创建及应用
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作者 金哲山 霍建宾 +2 位作者 董杰 刘晓婷 胡毓龙 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期1039-1042,共4页
等离子体增强型化学气相沉积法(PECVD)设备具有高真空特点,容易发生漏气(Leak)事故,为预防事故发生,对PECVD腔室构造、成膜原理及过程进行深入分析。从原理上检讨通过光谱分析方法在线监控PECVD工艺腔室Leak的可行性,搭建了腔室在线监... 等离子体增强型化学气相沉积法(PECVD)设备具有高真空特点,容易发生漏气(Leak)事故,为预防事故发生,对PECVD腔室构造、成膜原理及过程进行深入分析。从原理上检讨通过光谱分析方法在线监控PECVD工艺腔室Leak的可行性,搭建了腔室在线监控系统。通过光谱条件的调整测试,发现Ar等离子状态下,Leak光谱和正常光谱差异最大化,更有利于Leak光谱检测,成功实现Leak在线检测,在行业内首次实现PECVD真空腔室在线监控功能。 展开更多
关键词 真空腔室 等离子体增强型化学气相沉积 漏气 光谱检测 等离子体光谱分析仪
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A Novel Approach for Micro-electro-mechanical System(MEMS) Vacuum Packaging
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作者 WANG Cheng-gang GAN Zhi-yin WANG Xue-fang LIN Dong LIU Sheng ZHANG Hong-hai 《International Journal of Plant Engineering and Management》 2008年第3期148-153,共6页
MEMS vacuum packaging is now the impediment of the MEMS appliance in some specified fields. The major problem of current packaging approach is that the packaging process cannot meet the requirement of the ultra low le... MEMS vacuum packaging is now the impediment of the MEMS appliance in some specified fields. The major problem of current packaging approach is that the packaging process cannot meet the requirement of the ultra low leak. But the process cannot be improved with the existing technology. We propose a novel approach for MEMS vacuum packaging which can remarkably lower the leak rate. This paper analyzed the vacuum maintaining time of the vacuum packaging and compared the current design and new packaging method. 展开更多
关键词 vacuum packaging leak rate vacuum maintenance
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真空检漏机器人目标识别技术研究
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作者 刘鹏 袁啸林 +4 位作者 侯吉磊 万国扬 江明 周阳 左桂忠 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2023年第8期128-135,共8页
在聚变装置真空检漏领域中,未来聚变装置涉氚运行,检漏人员无法进入装置检漏,这使得这项任务极其困难和耗时。为实现聚变装置泄漏设备的快速准确检测,本文以6自由度机械臂为研究对象,提出了一种GV2-YOLOv5的真空设备检测方法用于真空检... 在聚变装置真空检漏领域中,未来聚变装置涉氚运行,检漏人员无法进入装置检漏,这使得这项任务极其困难和耗时。为实现聚变装置泄漏设备的快速准确检测,本文以6自由度机械臂为研究对象,提出了一种GV2-YOLOv5的真空设备检测方法用于真空检漏机器人对真空设备进行识别和定位喷氦。在该方法中,结合轻量级Ghost Net V2网络构建C3GhostV2模块,同时使用轻量的Ghost卷积提取目标特征,从而降低模型参数量,提高计算速度;在特征融合网络中添加Bottleneck Transformers和ECA注意力机制,提高网络特征提取能力以及加强模型通道特征。实验结果表明,在自制数据集上,改进后的模型平均精度为93.2%,相比YOLOv5s提高了1.4%,模型参数量减少了29.5%,检测速度为92 fps,满足实时性与准确性的需求,为真空检漏机器人目标识别与定位提供了一种的解决方案。 展开更多
关键词 聚变装置 真空检漏机器人 GhostNetV2 Ghost卷积 注意力机制
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超灵敏度真空检漏技术进展 被引量:1
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作者 董云宁 闫睿 +11 位作者 梁进智 魏萌萌 余荣 崔健 崔玉妹 佟亚珍 王欢 王汐月 陈俊儒 杨传森 齐京 卢耀文 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第8期647-653,共7页
文章主要介绍国内外超灵敏度真空检漏技术的现状与发展。超灵敏度真空检漏是指对小于10^(-12)Pa·m^(3)/s的漏率进行检测的技术,它是高可靠长寿命真空器件封装的重要诊断手段。当前普通商用检漏仪受质谱分析下限和微小电流测量下限... 文章主要介绍国内外超灵敏度真空检漏技术的现状与发展。超灵敏度真空检漏是指对小于10^(-12)Pa·m^(3)/s的漏率进行检测的技术,它是高可靠长寿命真空器件封装的重要诊断手段。当前普通商用检漏仪受质谱分析下限和微小电流测量下限等因素的限制,其实际检漏下限一般为10-11 Pa·m^(3)/s量级,采用软件修正后显示的检漏下限可达10^(-12)Pa·m^(3)/s量级。为了解决对微小漏率的超高灵敏度检测,国际上自上世纪60年代开始相关技术研究,主要围绕检漏下限的延伸和检漏精度的提高两方面开展工作。国内突破了多项技术难题,最新研制出下限为5×10^(-16)Pa·m^(3)/s的超灵敏度真空检漏仪,并将检漏结果的合成标准不确定度减小到15%以内。 展开更多
关键词 超灵敏度真空检漏 累积比较法 检漏下限 检漏精度 真空器件
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超大型航天遥感器评价系统漏孔高效定位方法研究
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作者 李云恒 何绍栋 +4 位作者 马龙 王华新 王俊成 杨健 邓高 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第6期494-503,共10页
超大型航天遥感器评价系统是用于大口径光学遥感器在地面模拟在轨环境的条件下进行性能测试与评价的试验装置,由真空容器、低温热沉系统、真空获取系统、氮流程系统、外热流模拟装置等组成。真空容器是超大型航天遥感器评价系统的主体,... 超大型航天遥感器评价系统是用于大口径光学遥感器在地面模拟在轨环境的条件下进行性能测试与评价的试验装置,由真空容器、低温热沉系统、真空获取系统、氮流程系统、外热流模拟装置等组成。真空容器是超大型航天遥感器评价系统的主体,其结构复杂、开孔数量较多、体积庞大,存在泄漏因素多,其漏率指标是影响航天器地面模拟试验工作真空度指标能否实现的关键因素。本文针对真空容器研制过程各个阶段氦质谱检漏方法进行了对比分析,并根据超大型真空容器研制过程的漏孔定位难点进行分析,在研制过程提出了利用氦质谱负压采样法,优化了真空容器氦质谱检漏流程,实现了漏孔快速、高效定位,并在实际工程应用中取得了良好效果。 展开更多
关键词 航天遥感器评价系统 真空容器 漏孔 高效定位
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凝汽器管道壁面泄漏流场数值模拟研究
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作者 张红星 眭霄翔 +3 位作者 王海军 刘中华 陈怀东 张海峰 《真空》 CAS 2023年第6期15-21,共7页
凝汽器作为核电厂热力循环中的冷却设备,乏汽通过与其内的冷却水进行热交换形成冷凝水以进行再次热力循环。凝汽器所用的海水冷却水一旦泄漏就会对二回路的蒸汽发生器造成污染,进而影响核电站的安全运行。本文针对凝汽器液相泄漏过程的... 凝汽器作为核电厂热力循环中的冷却设备,乏汽通过与其内的冷却水进行热交换形成冷凝水以进行再次热力循环。凝汽器所用的海水冷却水一旦泄漏就会对二回路的蒸汽发生器造成污染,进而影响核电站的安全运行。本文针对凝汽器液相泄漏过程的流动特性进行了数值模拟研究,采用Euler-Euler两相流模型和k-ε湍流模型分析了不同流动工况下两相泄漏过程的流场,在常温常压情况下通过粒子图像测速(PIV)对凝汽器冷凝管的泄漏过程进行了可视化测量分析,并与数值模拟作了对比。结果表明:气液两相同时存在于泄漏过程中时,泄漏量与管道内液相流动工况无关,只与管道内外侧压差相关;泄漏的检测时间可设定在发生泄漏后0.003s内,此时泄漏射流附近存在的两个回流涡会导致示踪气体的回流,可能会对示踪气体的传质和对流扩散产生影响;管道内外侧压差为100000Pa情况下,冷却剂泄漏的质量流量约为3.925×10^(-3)kg/s至9.813×10^(-3)kg/s。 展开更多
关键词 核电厂 凝汽器 真空射流 泄漏检测 PIV实验验证
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CSNS DTL真空泄漏解决方案
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作者 刘顺明 王鹏程 +8 位作者 刘佳明 谭彪 孙晓阳 王一刚 朱邦乐 宋洪 李波 吴小磊 李阿红 《真空》 CAS 2023年第3期55-61,共7页
漂移管直线加速器(DTL)是CSNS直线加速器的重要组成部分,负责将脉冲流强为15mA的负氢离子束从3MeV加速到80MeV,再注入到快循环同步加速器(RCS)中实现进一步加速。为避免能量损失,离子束加速必须在高真空环境内完成。本文首先介绍DTL腔... 漂移管直线加速器(DTL)是CSNS直线加速器的重要组成部分,负责将脉冲流强为15mA的负氢离子束从3MeV加速到80MeV,再注入到快循环同步加速器(RCS)中实现进一步加速。为避免能量损失,离子束加速必须在高真空环境内完成。本文首先介绍DTL腔真空系统组成,然后对目前出现的真空泄漏情况进行分析,详细描述了Pickup泄漏、漂移管泄漏(包括漏水、漏气、内漏)等不同情况下真空泄漏解决方案,并通过Monte Carlo方法模拟计算,缩小检漏区域。由于漂移管泄漏频率较高,本文给出针对漂移管泄漏的规范操作流程,以提高检漏效率。 展开更多
关键词 DTL腔真空系统 真空泄漏 蒙特卡罗方法 检漏效率
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真空氦检漏技术在ITER项目中的应用 被引量:1
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作者 李卫平 江国焱 +1 位作者 罗炜 方仁俊 《无损检测》 CAS 2023年第6期1-6,20,共7页
包层屏蔽块是国际热核聚变实验堆(ITER)项目的重要组成部件。每个屏蔽块都需要进行真空热氦检漏,以确保其密封性能。提出了一种利用真空热氦检漏系统进行高灵敏度检测的方法,该系统可以使包层屏蔽块去除自身的杂质气体来规避干扰,并通... 包层屏蔽块是国际热核聚变实验堆(ITER)项目的重要组成部件。每个屏蔽块都需要进行真空热氦检漏,以确保其密封性能。提出了一种利用真空热氦检漏系统进行高灵敏度检测的方法,该系统可以使包层屏蔽块去除自身的杂质气体来规避干扰,并通过提高环境温度和屏蔽块内部和外部之间压力差的方式来提高氦原子的活性以提高检测灵敏度。该方法可在检测环境温度为250℃,环境压力为1×10^(-5)Pa,产品内部氦气压力为4 MPa的条件下,实现系统灵敏度为10-11Pa·m^(3)·s^(-1)数量级的氦气泄漏检测。试验结果表明,该技术具有高自动化和数据可追溯的优点,可避免产品自身释放的杂质气体带来的影响,对细微泄漏具有较高的检测灵敏度。 展开更多
关键词 国际热核聚变反应堆 真空 热氦检漏 自身放气 包层屏蔽块
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350 MW机组真空系统泄漏问题分析 被引量:1
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作者 侯青山 刘亚洲 《节能》 2023年第1期82-84,共3页
某公司1号汽轮机组与2号汽轮机组的排气压力差值约2 kPa,影响机组的安全、经济运行。通过查看DCS运行画面及对数据进行分析,判断漏点的大小及方位,利用氦质谱仪对现场重点部位进行逐一排查,结合部分案例对汽轮机真空系统的管理与检漏的... 某公司1号汽轮机组与2号汽轮机组的排气压力差值约2 kPa,影响机组的安全、经济运行。通过查看DCS运行画面及对数据进行分析,判断漏点的大小及方位,利用氦质谱仪对现场重点部位进行逐一排查,结合部分案例对汽轮机真空系统的管理与检漏的思路进行总结。对机组真空系统严密性影响最大的位置为真空破坏阀,重新对真空破坏阀水封注水,汽轮机真空泄漏情况明显好转。 展开更多
关键词 真空系统 真空检漏 真空破坏阀 凝汽器
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超灵敏度检漏仪校准技术进展
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作者 王汐月 卢耀文 +5 位作者 陈千睿 董云宁 魏萌萌 杨传森 闫睿 齐京 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第5期390-395,共6页
本文综述了国际上超灵敏度检漏仪的校准技术进展。超灵敏度检漏仪是高可靠长寿命真空器件封装的重要检漏工具,当前报道的检漏下限可达10−16 Pa·m^(3)/s,但检漏结果的正确性是器件可靠性的关键因素。超灵敏度检漏结果正确性主要取... 本文综述了国际上超灵敏度检漏仪的校准技术进展。超灵敏度检漏仪是高可靠长寿命真空器件封装的重要检漏工具,当前报道的检漏下限可达10−16 Pa·m^(3)/s,但检漏结果的正确性是器件可靠性的关键因素。超灵敏度检漏结果正确性主要取决于检漏仪的自身性能和计量校准,对于后者,国际上先后采用标准漏孔、可变漏率的白金丝漏孔及标准气体流量计作为参考标准来提高检漏结果的正确性。采用标准漏孔的方法是使用当前下限仅为10−11 Pa·m^(3)/s的漏孔作为参考标准,由于漏孔自身的偏差及检漏采用质谱计跨越几个数量级的线性递推方法,在小于10−14 Pa·m^(3)/s范围的检漏结果偏差可达一个数量级;采用可变漏率的白金丝漏孔作为参考标准,可提供(10−10~10−12)Pa·m^(3)/s范围内漏率,与标准漏孔相比对检漏结果的正确性有一定提升;采用近期新研制的宽量程标准气体流量计作为参考标准,可提供下限为10−16 Pa·m3/s范围内漏率,解决了目前超灵敏度检漏仪全量程的校准难题,将检漏结果的合成标准不确定度减小到15%以内,提升了长寿命真空器件的可靠性。 展开更多
关键词 超灵敏度检漏 标准气体流量计 校准 真空器件 长寿命 高可靠
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一种真空氦漏孔配气装置的改进研究
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作者 王爱华 关卫军 +1 位作者 边松岩 韩柳 《工业仪表与自动化装置》 2023年第4期125-128,共4页
针对在真空氦漏孔校准过程中,所使用的配气装置压力输出范围小,与缺少高等级的采集仪表造成无法准确指示管道内气压与真空度的问题。本文主要针对此类的真空氦漏孔配气装置进行了改进,根据相关校准规范中规定的真空氦漏孔配气需求,采用... 针对在真空氦漏孔校准过程中,所使用的配气装置压力输出范围小,与缺少高等级的采集仪表造成无法准确指示管道内气压与真空度的问题。本文主要针对此类的真空氦漏孔配气装置进行了改进,根据相关校准规范中规定的真空氦漏孔配气需求,采用了增加配气支路,及增加高等级的压力传感器与真空计的方法,实现了为真空氦漏孔进行校准的过程提供真空疏空、压力调节的功能,满足了真空氦漏孔校准过程中的大范围压力输出,与高输出准确度的配气需求。 展开更多
关键词 真空氦漏孔 校准 配气装置 压力调节
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电力机车用22CB系列真空断路器典型漏风故障分析
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作者 侯健伟 杨建明 +2 位作者 王俊峰 姜赞 雷治宇 《铁道机车车辆》 北大核心 2023年第3期133-138,共6页
真空断路器用于接通及断开25 kV接触网与电力机车间的电路,它是机车电源的总开关和保护设备,研究分析真空断路器故障现象及产生原因能够对生产商制造工艺和机务段使用维护提供宝贵的指导经验。漏风故障是真空断路器主要的故障类型,文中... 真空断路器用于接通及断开25 kV接触网与电力机车间的电路,它是机车电源的总开关和保护设备,研究分析真空断路器故障现象及产生原因能够对生产商制造工艺和机务段使用维护提供宝贵的指导经验。漏风故障是真空断路器主要的故障类型,文中通过对电力机车用22CB系列真空主断路器4起典型的漏风故障进行分析,对现有的真空断路器生产检修工艺及管理提供改善建议,从而降低产品故障率,提升可靠性,保障电力机车安全稳定运行。 展开更多
关键词 电力机车 真空断路器 漏风故障 可靠性
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碳化硅外延设备检漏技术研究与应用
17
作者 盛飞龙 徐俊 +3 位作者 郭嘉杰 吴彩庭 刘欣 吴帆 《机械工程与自动化》 2023年第4期171-172,177,共3页
碳化硅外延设备是囊括了高温、真空、运动、气体、电路、水冷等多学科、高危险的精密复杂设备。碳化硅外延生长需要在高温、低真空的环境下通入易燃易爆有毒工艺气体,因此设备的密封性尤为重要。介绍了利用控制系统对碳化硅外延设备自... 碳化硅外延设备是囊括了高温、真空、运动、气体、电路、水冷等多学科、高危险的精密复杂设备。碳化硅外延生长需要在高温、低真空的环境下通入易燃易爆有毒工艺气体,因此设备的密封性尤为重要。介绍了利用控制系统对碳化硅外延设备自动检漏的方法,能够方便维护人员进行操作,大大缩短检漏时间。 展开更多
关键词 真空检漏技术 碳化硅外延设备 控制系统
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真空氦漏孔校准方法的研究
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作者 刘贝贝 蒋厚庸 +1 位作者 刘燚 周宇仁 《中国仪器仪表》 2023年第6期48-51,共4页
本文介绍了一种不带氦气源的真空氦漏孔的校准方法,可实现-100~1000kPa压力、(10^(-10)~10^(-4))Pa.m^(3)/s漏率范围内的真空氦漏孔的校准,扩展不确定度U_(rel)=10%(k=2)。适用于真空氦漏孔日常的校准工作。
关键词 真空氦漏孔 漏率 氦质谱检漏仪
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便携式真空漏孔校准装置 被引量:21
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作者 卢耀文 陈旭 +3 位作者 李得天 刘波 齐京 查良镇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期1179-1183,共5页
针对现场检漏对漏率校准的需求,研制出具有体积小、重量轻、成本低等特点的便携式真空漏孔校准装置。采用标准流量系统提供可调的气体流量,通过质谱计作为比较器分别测量标准气体流量和被校准漏孔提供示漏气体(He气)的分压力实现校... 针对现场检漏对漏率校准的需求,研制出具有体积小、重量轻、成本低等特点的便携式真空漏孔校准装置。采用标准流量系统提供可调的气体流量,通过质谱计作为比较器分别测量标准气体流量和被校准漏孔提供示漏气体(He气)的分压力实现校准。标准气体流量系统采用直径约为1μm的小孔获得了10^-10m3/s量级的分子流导,仅用一台满量程为1.33×104Pa的电容薄膜规真空计(coc)作为参考标准,通过直接测量和膨胀衰减压力两种方法为小孔入口提供标准压力,从而获得较宽范围的标准气体流量。研究结果表明,装置的校准范围为3.5×10^-6-4.6×10^-11Pa·m3/s,合成标准不确定度为1.8%~2.O%,外形尺寸减小到400mm×300mm×400mm,总重量小于35奴。 展开更多
关键词 真空漏孔 计量 校准 便携式
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一种下限为1.3×10^(-14)Pa·m^3/s的真空漏孔校准装置 被引量:18
20
作者 卢耀文 陈旭 +4 位作者 李得天 齐京 刘波 闫睿 查良镇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期504-509,共6页
为了解决漏率小于10-12Pa·m3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pa·m3/s量级的校准装置。装置主要由累积比较系统和固定流导法流量计组成,采用四极质谱计作为比较器测量示漏He气离子... 为了解决漏率小于10-12Pa·m3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pa·m3/s量级的校准装置。装置主要由累积比较系统和固定流导法流量计组成,采用四极质谱计作为比较器测量示漏He气离子流大小,通过累积的方法解决了质谱分析室中示漏气体分压力测量问题;采用激光打孔和多次镀膜的方式获得10-10m3/s量级的分子流导,用吸气剂泵将真空室本底压力维持在10-7Pa量级,使磁悬浮转子真空计对固定流导元件入口He气压力测量下限可达10-4Pa,从而获得下限为1.3×10-14Pa·m3/s的标准气体流量。研究结果表明,装置采用He气作为示漏气体的校准范围为10-12~1.3×10-14Pa·m3/s,合成标准不确定度为5.2%~5.8%。 展开更多
关键词 累积法 固定流导法 真空漏孔 漏率
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