半导体生产线动态调度方法研究

为了满足半导体生产线多目标优化要求,提出了多目标优化动态调度规则。它由正常状态调度规则、瓶颈设备较低在制品水平的调度规则、非瓶颈设备较高在制品水平的调度规则、多批加工设备调度规则以及紧急工件调度规则五种类型的调度规则组成。使用具有半导体生产线本质特征的简化模型,将多目标优化动态调度规则与先入先出法、最早交货期法、临界值法进行了比较,结果表明,多目标优化动态调度规则能够改善半导体生产线的整体性能,更好地优化模型的生产率、加工周期与在制品水平,最终提高准时交货率。