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Synthesis of ZnO: AI: F Thin Films by Sol-Gel Process: Applications as Transparent Electrodes, and for Detecting Carbon Monoxide
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作者 Salvador Tirado Guerra 《材料科学与工程(中英文B版)》 2011年第3期288-295,共8页
关键词 氧化锌薄膜 AI 透明电极 凝胶工艺 一氧化碳 溶胶 应用 zno
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ZnO:Na纳米晶室温表面光电压气敏机理的研究
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作者 隆小芹 哈万•阿仁 +6 位作者 王展 梁玉卿 平特伍沙 王子强 孙翼飞 余飞 袁欢 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期218-226,共9页
采用简单溶胶凝胶法在溅射有Au/Ti叉指电极的PET柔性基底上制备出不同Na掺杂浓度的ZnO纳米晶。通过对样品的微结构和光学性质表征,探究光辅助室温NO_(2)气敏机理与表面光电压之间的联系。X射线衍射(XRD)结果显示所有样品均为六方纤锌矿... 采用简单溶胶凝胶法在溅射有Au/Ti叉指电极的PET柔性基底上制备出不同Na掺杂浓度的ZnO纳米晶。通过对样品的微结构和光学性质表征,探究光辅助室温NO_(2)气敏机理与表面光电压之间的联系。X射线衍射(XRD)结果显示所有样品均为六方纤锌矿结构,Na的掺杂并没有出现Na及其氧化物的衍射峰。室温气敏测试结果显示Na掺杂ZnO纳米晶具有优良的室温气敏性能,能够检测到0.94 mg/m^(3)浓度的NO_(2),相对于纯ZnO纳米晶体气敏响应明显提高。表面光电压谱(SPV)和紫外可见分光光度计(UV-Vis)实验结果表明掺杂ZnO样品的室温气敏性可能与其表面缺陷含量和缺陷能级有关。Na掺杂能够显著增强光生电荷的分离,同时也引入了更多的氧空位(Vo)和活性位点,促进了NO_(2)气体与表面吸附电离氧缺陷的反应。另外光学带隙的蓝移和新产生的缺陷能级也进一步提高了对NO_(2)气体的灵敏度。 展开更多
关键词 zno 掺杂 表面光电压谱 气敏 叉指电极
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基于ZnO/CuO敏感电极的NO_(2)传感器性能 被引量:1
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作者 赵晓晶 王岭 +2 位作者 孟维薇 李跃华 戴磊 《微纳电子技术》 CAS 2024年第2期120-127,共8页
二氧化氮(NO_(2))是最常见的空气污染物之一,主要来源于化石燃料的燃烧,需要研制性能优良的NO_(2)气体传感器来对其体积分数进行实时监测。采用氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)为固体电解质、ZnO/CuO为敏感电极,制备了阻抗型NO_(2)传感器。采... 二氧化氮(NO_(2))是最常见的空气污染物之一,主要来源于化石燃料的燃烧,需要研制性能优良的NO_(2)气体传感器来对其体积分数进行实时监测。采用氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)为固体电解质、ZnO/CuO为敏感电极,制备了阻抗型NO_(2)传感器。采用分步浸渍法将敏感材料原位引入到YSZ多孔骨架中,通过调整敏感材料ZnO/CuO摩尔比来优化传感器的敏感性能。用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对样品的组成和微观结构进行了表征。结果表明,ZnO/CuO颗粒均匀分散在YSZ多孔层中。以相角(Θ)作为响应信号来评价传感器敏感性能。实验结果表明,与单一氧化物ZnO相比,ZnO和CuO摩尔比为8∶2制备的传感器对NO_(2)气体具有更好的敏感性能。在400~500℃,Θ响应值与5×10^(-5)~5×10^(-4)NO_(2)体积分数呈良好的线性关系。450℃时,传感器有最低检测下限5×10^(-5)。此外,该传感器表现出最大响应值(5×10^(-4)NO_(2)的Θ响应值为18°)、最佳灵敏度(0.039°/10^(-6))、良好的稳定性以及对其他气体的抗干扰能力。 展开更多
关键词 传感器 NO_(2)气体 阻抗型 浸渍法 zno/CuO摩尔比 敏感电极
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Texture ZnO Thin-Films and their Application as Front Electrode in Solar Cells
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作者 Yue-Hui Hu Yi-Chuan Chen +4 位作者 Hai-Jun Xu Hao Gao Wei-Hui Jiang Fei Hu Yan-Xiang Wang 《Engineering(科研)》 2010年第12期973-978,共6页
In this paper, three kinds of textured ZnO thin-films (the first kind has the textured structure with both columnar and polygon, the second posses pyramid-like textured structure only, and the third has the textured s... In this paper, three kinds of textured ZnO thin-films (the first kind has the textured structure with both columnar and polygon, the second posses pyramid-like textured structure only, and the third has the textured structure with both crater-like and pyramid-like), were prepared by three kinds of methods, and the application of these ZnO thin-films as a front electrode in solar cell was studied, respectively. In the first method with negative bias voltage and appropriate sputtering parameters, the textured structure with columnar and polygon on the surface of ZnO thin-film are both existence for the sample prepared by direct magnetron sputtering. Using as a front electrode in solar cell, the photoelectric conversion efficiency Eff of 7.00% was obtained. The second method is that by sputtering on the ZnO:Al self-supporting substrate, and the distribution of pyramid-like was gained. Moreover, the higher (8.25%) photoelectric conversion efficiency of solar cell was got. The last method is that by acid-etching the as-deposited ZnO thin-film which possesses mainly both columnar and polygon structure, and the textured ZnO thin-film with both crater-like and pyramid-like structure was obtained, and the photoelectric conversion efficiency of solar cell is 7.10% when using it as front electrode. These results show that the textured ZnO thin-film prepared on self-supporting substrate is more suitable for using as a front electrode in amorphous silicon cells. 展开更多
关键词 TEXTURED zno Thin-Film Solar Cells FRONT electrode MAGNETRON SPUTTERING transparent CONDUCTING Oxide Surface Of Micrograph SnO2:F
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膜厚对柔性ZnO∶Ga透明导电薄膜结构和电学性能的影响 被引量:3
5
作者 袁玉珍 吴晓丽 《山东理工大学学报(自然科学版)》 CAS 2012年第3期10-13,共4页
室温下采用直流磁控溅射法在PI衬底上制备出具有优异光学性能的ZnO∶Ga透明导电薄膜.研究结果表明,制备了具有C轴择优取向的六角纤锌矿结构的多晶GZO透明导电薄膜.讨论了薄膜厚度对PI衬底上制备ZnO∶Ga薄膜的结构、表面形貌和电学性质... 室温下采用直流磁控溅射法在PI衬底上制备出具有优异光学性能的ZnO∶Ga透明导电薄膜.研究结果表明,制备了具有C轴择优取向的六角纤锌矿结构的多晶GZO透明导电薄膜.讨论了薄膜厚度对PI衬底上制备ZnO∶Ga薄膜的结构、表面形貌和电学性质的影响.实验数据表明,一定同质缓冲层可有效降低薄膜应力,改善薄膜性能,所得GZO薄膜厚度为129nm时,电阻率具有最小值3.2×10-4Ω.cm. 展开更多
关键词 znoga PI 柔性衬底 直流磁控溅射 透明导电薄膜 电学性能
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不同生长温度对Ga掺杂ZnO透明导电薄膜性能的影响 被引量:2
6
作者 龚丽 刘云珍 《湖南有色金属》 CAS 2016年第3期60-64,共5页
采用磁控溅射方法在普通载玻片衬底上制备了Ga掺杂的Zn O(GZO)透明导电薄膜,并研究了不同生长温度对GZO透明导电薄膜的结构性能、电学性能及光学性能的影响。制备的GZO透明导电薄膜均沿(002)方向的择优取向生长,薄膜的表面形貌为蠕虫状... 采用磁控溅射方法在普通载玻片衬底上制备了Ga掺杂的Zn O(GZO)透明导电薄膜,并研究了不同生长温度对GZO透明导电薄膜的结构性能、电学性能及光学性能的影响。制备的GZO透明导电薄膜均沿(002)方向的择优取向生长,薄膜的表面形貌为蠕虫状,表明薄膜内存在较大的残余应力。随着生长温度的升高,GZO薄膜的电阻率先减小后增大,在生长温度为250℃时,薄膜的最低电阻率为1.91×10-3Ωcm。不同生长温度下所制备的GZO薄膜在可见光波段的平均透过率均大于90%,薄膜具有优异的光学特性。 展开更多
关键词 zno ga掺杂 透明导电薄膜 生长温度 磁控溅射法
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表面化学处理和退火对p-GaN/ZnO:Ga接触特性的影响 被引量:5
7
作者 王书方 李喜峰 张建华 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期848-853,共6页
ZnO∶Ga(GZO)透明电极沉积在p-GaN表面,用作透明电流扩展层。直接沉积在p-GaN上的p-GaN/GZO存在较大的势垒,容易形成肖特基接触,而良好的欧姆接触对功率LED器件至关重要。为了降低接触势垒,采用盐酸和氢氧化钠溶液对GaN表面进行去氧化... ZnO∶Ga(GZO)透明电极沉积在p-GaN表面,用作透明电流扩展层。直接沉积在p-GaN上的p-GaN/GZO存在较大的势垒,容易形成肖特基接触,而良好的欧姆接触对功率LED器件至关重要。为了降低接触势垒,采用盐酸和氢氧化钠溶液对GaN表面进行去氧化层处理,并对p-GaN/GZO进行退火处理,研究表面处理和退火对p-GaN/GZO接触特性的影响。研究表明:碱性溶液处理有利于降低接触势垒;退火处理后,接触势垒略有增加。 展开更多
关键词 P-gaN zno:ga透明电极 表面化学处理 接触特性
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GaZnO透明导电层提高绿光LED发光效率
8
作者 张李骊 刘战辉 +3 位作者 钟霞 修向前 张荣 谢自力 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期51-56,62,共7页
详细研究了分别利用Ga Zn O薄膜和纳米级Ni/Au薄膜作为透明导电层(TCL)的绿光LED芯片的光电性能。利用扫描电子显微镜和透射光谱对Ga Zn O TCL和传统的纳米级Ni/Au TCL进行结构表征,结果表明,Ga Zn O透明导电层表面呈现为高密度、纳米... 详细研究了分别利用Ga Zn O薄膜和纳米级Ni/Au薄膜作为透明导电层(TCL)的绿光LED芯片的光电性能。利用扫描电子显微镜和透射光谱对Ga Zn O TCL和传统的纳米级Ni/Au TCL进行结构表征,结果表明,Ga Zn O透明导电层表面呈现为高密度、纳米尺度的突起,而纳米级Ni/Au TCL样品表面则较为平整;研究波长范围内,Ga Zn O薄膜具有较高的透射率(大于90%)。对两种LED芯片的光电特性进行测试,结果表明,Ga Zn O作为透明导电层的LED芯片发光均匀,具有较小的正向开启电压、等效串联电阻,发光峰中心波长变化仅有5.6 nm,而发光效率相对于传统的Ni/Au TCL LED提高40%,光电工作特性优异。 展开更多
关键词 绿光发光二极管(LED) 镓掺杂氧化锌(gazno)薄膜 发光效率 透明导电层(TCL) 多量子阱(MQW)
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Structural, Optical and Electrical Properties of Ga Doped ZnO/Cu grid/Ga Doped ZnO Transparent Electrodes 被引量:1
9
作者 Cholho Jang Qingjun Jiang +1 位作者 Jianguo Lu Zhizhen Ye 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第11期1108-1110,共3页
Ga doped ZnO (OZO)/Cu grid/GZO transparent conductive electrode (TCE) structures were fabricated at room temperature (RT) by using electron beam evaporation (EBE) for the Cu grids and RF magnetron sputtering f... Ga doped ZnO (OZO)/Cu grid/GZO transparent conductive electrode (TCE) structures were fabricated at room temperature (RT) by using electron beam evaporation (EBE) for the Cu grids and RF magnetron sputtering for the GZO layers. In this work, we investigated the electrical and optical characteristics of GZO/Cu grid/GZO multilayer electrode for thin film solar cells by using evaporated Cu grid and sputtered GZO thin films to enhance the optical transparency without significantly affecting their conductivity. The optical transmittance and sheet resistance of GZO/Cu grid/GZO multilayer are higher than those of GZO/Cu film/GZO multilayer independent of Cu grid separation distance and increase with increasing Cu grid separation distances. The calculation of both transmittance and sheet resistance of GZO/Cu grid] GZO multilayer was based on Cu filling factor correlated with the geometry of Cu grid. The calculated values for the transmittance and sheet resistance of the GZO/Cu grid/GZO multilayer were similar to the experimentally observed ones. The highest figure of merit ФTc is 5.18× 10^-3Ω^-1 for the GZO/Cu grid] GZO multilayer with Cu grid separation distance of 1 mm was obtained, in this case, the transmittance and resistivity were 82.72% and 2.17 × 10 ^-4Ωcm, respectively. The transmittance and resistivity are accentahle for nractical thin film snlar cell annlicatinn~ 展开更多
关键词 transparent electrode Electron beam evaporation Cu grid ga doped zno Multilayer film
原文传递
射频功率和工作压强对Ga、Al共掺杂ZnO薄膜性能的影响 被引量:1
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作者 罗国平 张漫虹 +4 位作者 梁铨斌 陈冬 陈星源 李天乐 朱伟玲 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期12020-12024,共5页
室温下采用射频(RF)磁控溅射在玻璃衬底上制备镓铝共掺杂氧化锌(GAZO)薄膜。采用X射线衍射仪、紫外-可见-近红外分光光度计、四探针测试仪和紫外光电子能谱等表征方法研究射频功率和工作压强与薄膜结构、光学和电学性能之间的关联。结... 室温下采用射频(RF)磁控溅射在玻璃衬底上制备镓铝共掺杂氧化锌(GAZO)薄膜。采用X射线衍射仪、紫外-可见-近红外分光光度计、四探针测试仪和紫外光电子能谱等表征方法研究射频功率和工作压强与薄膜结构、光学和电学性能之间的关联。结果表明:不同条件下制备的GAZO薄膜均具有六方纤锌矿晶体结构,沿垂直衬底的(002)方向择优取向,在可见光波段(400~700 nm)的平均透射率均高于90%;在射频功率和工作压强分别为200 W和0.20 Pa条件下制备的GAZO薄膜具有最低的电阻率(1.40×10^-3Ω·cm)和最高的品质因子(8.10×10^-3Ω^-1)。GAZO薄膜优良的光电性能使其有很大潜力作为透明电极应用于光电器件。 展开更多
关键词 射频功率 透明电极 zno薄膜 溅射沉积 透射率 电阻率
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Mg-Al-Ga∶ZnO层状复合材料的制备及光电性能 被引量:1
11
作者 林柏林 刘俊逸 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2022年第3期232-237,共6页
先进光电材料的开发对于电子元件与材料相关产业的升级具有重要意义。通过磁控溅射法合成了由Mg-Al-Ga∶ZnO层和金属Cu层组成的“三明治”式复合结构的薄膜材料。对合成的光电材料进行了系统表征,结果表明该薄膜材料具有晶粒分布均匀、... 先进光电材料的开发对于电子元件与材料相关产业的升级具有重要意义。通过磁控溅射法合成了由Mg-Al-Ga∶ZnO层和金属Cu层组成的“三明治”式复合结构的薄膜材料。对合成的光电材料进行了系统表征,结果表明该薄膜材料具有晶粒分布均匀、表面结构平整致密等特点。同时研究了金属Cu层厚度对复合薄膜性能的影响,并对其光学透过率以及电学性能进行了讨论。结果表明Cu层临界厚度约为11 nm,其对应的电阻率和在可见光范围内的平均透过率分别可以达到1.4×10^(-4)Ω·cm和86%。说明Mg-Al-Ga∶ZnO层复合材料具有较好的光电性能,该材料的制备对于新型先进光电材料的设计与优化具有一定的借鉴意义。 展开更多
关键词 磁控溅射 透明导电薄膜 Mg-Al-gazno 光电性能
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Structural Analysis of ZnO Film Deposited by Means of Metal Organic Decomposition Method
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作者 Masato Ohmukai Takuya Nakagawa +1 位作者 Masaru Kamano Nobutomo Uehara 《Journal of Materials Science and Chemical Engineering》 2014年第11期41-48,共8页
ZnO films were deposited on glass substrates by means of a metal organic decomposition (MOD) method. We investigated the effect of annealing temperature, time and the number of laminated layers on the film structure o... ZnO films were deposited on glass substrates by means of a metal organic decomposition (MOD) method. We investigated the effect of annealing temperature, time and the number of laminated layers on the film structure on the basis of X-ray diffraction measurements. We found the optimum conditions of the temperature and the time to be 600°C and 40 minutes for the preparation, respectively. In addition, the layer-by-layer forming was not found to degrade the film from viewpoint of X-ray line width. 展开更多
关键词 zno Film MOD Method transparent electrode X-Ray Analysis
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透明导电ZnO薄膜的电化学制备及性能研究 被引量:2
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作者 孙芳芳 贺蕴秋 +3 位作者 李一鸣 李乐 储晓菲 黄河洲 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期218-224,共7页
以修饰的ITO玻璃为衬底,以不同浓度Zn(NO3)2.6H2O作为电解质溶液,采用阴极恒流沉积法制备了不同纳米结构的ZnO薄膜。用X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)、四探针仪(RTS-8)、紫外-可见(UV-Vis)光谱仪、循环伏安等分别表征薄膜的... 以修饰的ITO玻璃为衬底,以不同浓度Zn(NO3)2.6H2O作为电解质溶液,采用阴极恒流沉积法制备了不同纳米结构的ZnO薄膜。用X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)、四探针仪(RTS-8)、紫外-可见(UV-Vis)光谱仪、循环伏安等分别表征薄膜的晶相、形貌和厚度、方块电阻、紫外-可见光透过率和氧化还原电位。结果表明:低浓度溶液沉积得到的c轴取向1D ZnO纳米柱和高浓度溶液沉积得到的致密2D六方ZnO纳米片在可见光范围(400~900 nm)的透过率均可高达85%以上,方块电阻约为14.5Ω/□。两种结构的氧化还原电位有显著区别,纳米柱的为-0.54 V(vs.SCE),而纳米片的为-0.72 V(vs.SCE),说明纳米片状的ZnO薄膜具有更为良好的化学稳定性。 展开更多
关键词 zno薄膜 恒电流 修饰 透明电极
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ZnO上欧姆接触的研究进展 被引量:1
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作者 董建新 方亮 +3 位作者 张淑芳 彭丽萍 张文婷 高岭 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A02期907-912,共6页
为制备高性能的ZnO基器件如UV光发射器,探测器、场效应晶体管,在ZnO上形成优良的金属电极是十分必要的。回顾了近年来ZnO上制备欧姆接触的新进展,对在n型ZnO上制备欧姆接触的Al,A1/Pt,A1/Au,Ti/Al,Ti,AU,Ti/A1/Pt/Au,Re/Ti/A... 为制备高性能的ZnO基器件如UV光发射器,探测器、场效应晶体管,在ZnO上形成优良的金属电极是十分必要的。回顾了近年来ZnO上制备欧姆接触的新进展,对在n型ZnO上制备欧姆接触的Al,A1/Pt,A1/Au,Ti/Al,Ti,AU,Ti/A1/Pt/Au,Re/Ti/Au等金属化方案的性能与特点,以及影响欧姆接触电阻率和热稳定性的因素,如表面处理和退火等进行了分析与归纳。同时,对P型ZnO上难以获得低接触电阻的原因进行了讨论。文章还简要说明了ZnO上透明欧姆接触的研究现状,指出获得低阻、高导电、高透光和高热稳定性的接触是未来ZnO基光电器件的发展方向。 展开更多
关键词 zno 欧姆接触 肖特基势垒 透明电极
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溶胶-凝胶法制备Al^(3+)离子掺杂型ZnO薄膜与评价 被引量:20
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作者 姜海青 王连星 +1 位作者 赵世民 惠春 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期278-280,共3页
采用溶胶 -凝胶 (Sol -Gel)工艺在普通Na -Ca -Si玻璃基体上成功地制备出高c轴择优取向性、高可见光透光率以及高电导率的Al3 + 离子掺杂型ZnO薄膜。利用SEM、XRD以及UVS光谱仪等分析方法对不同工艺下制备的薄膜进行了研究 ,结果显示 ,... 采用溶胶 -凝胶 (Sol -Gel)工艺在普通Na -Ca -Si玻璃基体上成功地制备出高c轴择优取向性、高可见光透光率以及高电导率的Al3 + 离子掺杂型ZnO薄膜。利用SEM、XRD以及UVS光谱仪等分析方法对不同工艺下制备的薄膜进行了研究 ,结果显示 ,所制备的薄膜为纤锌矿型结构 ,表面均匀、致密 ,薄膜材料晶粒尺寸大约为 5 0~ 2 0 0nm左右 ,薄膜可见光透光率最大可达 99% ;对薄膜的厚度以及电学性能进行了测定后发现 :单次镀膜厚度约为 3 0~ 5 0nm ,Al3 + 离子掺杂型氧化锌薄膜的电阻率在 2 .5 2× 10 -3 ~ 2 .94× 10 -3 Ω·cm范围内 ,其霍尔系数在 6.2 5× 10 -7~ 2 .3 6× 10 -7cm3 /C范围内 ,载流子浓度在 1×10 2 5~ 2 .64× 10 2 5cm-3 范围内 ,霍尔迁移率在 2 .48× 10 -4 ~ 8.0 3× 10 -5cm2 /V·s范围内 ,在太阳能电池透明光电极领域中极具潜在的应用价值。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 Al^3+离子掺杂 zno薄膜
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反应溅射法制备高透明导电ZnO薄膜的研究 被引量:2
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作者 谢挺 祝柏林 +3 位作者 杨玉婷 张俊峰 龙晓阳 吴隽 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期711-717,共7页
利用Zn/Zn O复合靶材,通过射频磁控溅射技术,在衬底温度为150℃时分别在Ar+O2和Ar+H2的混合气氛中制备Zn O薄膜,通过干涉显微镜、XRD、Hall效应测试仪、紫外-可见分光光度计研究了O2和H2流量对薄膜结构及透明导电性能的影响。结果发现,... 利用Zn/Zn O复合靶材,通过射频磁控溅射技术,在衬底温度为150℃时分别在Ar+O2和Ar+H2的混合气氛中制备Zn O薄膜,通过干涉显微镜、XRD、Hall效应测试仪、紫外-可见分光光度计研究了O2和H2流量对薄膜结构及透明导电性能的影响。结果发现,薄膜厚度随O2流量增加而明显增加而随H2流量增加呈下降趋势。只有通入合适流量的O_2或H_2,薄膜才能保持(002)择优取向、较高的结晶度以及较小的压应力,同时在薄膜中形成高浓度VO和/或Hi等缺陷,因此有效降低Zn O薄膜的电阻率,并保持高的透光率,从而改善Zn O薄膜透明导电性能。当前研究中,当O_2和H_2流量分别为0.4 sccm和2.0 sccm时,得到的最低电阻率分别为6.33×10-3和2.51×10-3Ω·cm,平均透光率均大约为81.5%,相应的最高品质因子分别为1.04×10-3和1.29×10-3Ω-1。 展开更多
关键词 Zn/zno复合靶 反应溅射 气体流量 zno薄膜 结晶度 透明导电性
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掺杂石墨烯的ZnO复合材料研究进展 被引量:1
17
作者 盛浩 刘琳 +1 位作者 徐键 卢焕明 《硅酸盐通报》 CAS 北大核心 2021年第3期999-1006,共8页
ZnO是一种低成本且应用广泛的材料,石墨烯具有较大的比表面积以及优良的吸附、光电等特性,易于与ZnO结合,可提高ZnO的性能。掺杂石墨烯的ZnO基材料在气体检测、抗菌表面涂层、发光二极管、透明导电电极和光催化等方面都有着应用性。本... ZnO是一种低成本且应用广泛的材料,石墨烯具有较大的比表面积以及优良的吸附、光电等特性,易于与ZnO结合,可提高ZnO的性能。掺杂石墨烯的ZnO基材料在气体检测、抗菌表面涂层、发光二极管、透明导电电极和光催化等方面都有着应用性。本文概述了近几年来石墨烯掺杂ZnO材料作为导电薄膜、传感器、光催化剂等在光电子、生物医疗、环保等不同领域内的研究与发展,提出了目前该复合材料在制备工艺复杂与可控性差,实际应用与理论有较大差距等问题,并对未来的研究趋势进行了预测和展望。 展开更多
关键词 zno 石墨烯 光催化 气敏传感器 透明导电薄膜 纳米材料
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Highly transparent low resistance Ga doped ZnO/Cu grid double layers prepared at room temperature 被引量:1
18
作者 Cholho Jang 叶志镇 吕建国 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2015年第12期38-41,共4页
Ga doped ZnO (GZO)/Cu grid double layer structures were prepared at room temperature (RT). We have studied the electrical and optical characteristics of the GZO/Cu grid double layer as a function of the Cu grid sp... Ga doped ZnO (GZO)/Cu grid double layer structures were prepared at room temperature (RT). We have studied the electrical and optical characteristics of the GZO/Cu grid double layer as a function of the Cu grid spacing distance. The optical transmittance and sheet resistance of the GZO/Cu grid double layer are higher than that of the GZO/Cu film double layer regardless of the Cu grid spacing distance and increase as the Cu grid spacing distance increases. The calculated values for the transmittance and sheet resistance of the GZO/Cu grid double layer well follow the trend of the experimentally observed transmittance and sheet resistance ones. For the GZO/Cu grid double layer with a Cu grid spacing distance of 1 mm, the highest figure of merit (ФTC = 6.19 × 10^-3 Ω^-1) was obtained. In this case, the transmittance, resistivity and filling factor (FF) of the GZO/Cu grid double layer are 83.74%, 1.10 ×10^-4Ω.cm and 0.173, respectively. 展开更多
关键词 transparent electrode electron beam evaporation Cu grid ga doped zno
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制备条件对镓掺杂氧化锌薄膜的透明导电性影响 被引量:3
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作者 吴木营 刘敏霞 +2 位作者 李洪涛 杨雷 张伟风 《河南大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2012年第6期707-711,共5页
用高温固相反应法制备了镓掺杂的氧化锌导电陶瓷,研究了预烧温度、烧结温度和掺杂浓度等工艺条件;用射频磁控溅射方法分别在玻璃和石英基底上沉积了镓掺杂的氧化锌薄膜,研究了该薄膜在不同的基底温度和不同的氧氩比等条件下的光电性质... 用高温固相反应法制备了镓掺杂的氧化锌导电陶瓷,研究了预烧温度、烧结温度和掺杂浓度等工艺条件;用射频磁控溅射方法分别在玻璃和石英基底上沉积了镓掺杂的氧化锌薄膜,研究了该薄膜在不同的基底温度和不同的氧氩比等条件下的光电性质的变化情况以及氮气氛下不同退火温度下的光电性质,结果表明:镓掺杂氧化锌薄膜在450℃的基底温度、2%的掺杂浓度和700℃的退火温度等条件下实现了0.84×10-4Ω.cm的低电阻率和大于90%的可见光透过率,其光学带隙随退火温度的上升也有一定程度的增大. 展开更多
关键词 工艺条件 导电陶瓷 透明导电氧化物 镓掺杂氧化锌薄膜 射频磁控溅射
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柔性衬底上制备氟、镓共掺杂氧化锌透明导电薄膜及其光电性质研究 被引量:2
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作者 赵越 杜小琴 +2 位作者 晏中 潘阳 吴晓京 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期1334-1341,共8页
采用脉冲激光沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)衬底上制备了Ga、F共掺杂的Zn O透明导电薄膜。采用X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计、原子力显微镜和霍尔测试仪等手段对薄膜性能进行了表征。制备过程中通过控制沉积时间、Ga掺杂量... 采用脉冲激光沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)衬底上制备了Ga、F共掺杂的Zn O透明导电薄膜。采用X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计、原子力显微镜和霍尔测试仪等手段对薄膜性能进行了表征。制备过程中通过控制沉积时间、Ga掺杂量、衬底温度和氧气流量等实验条件,比对研究了各参数对薄膜性能的影响。为了分析各参数对实验结果影响的重要性,采用正交实验法设计实验,并对结果进行正交分析、极差方差分析。得出了各个实验条件对结果影响的大小顺序和最优的制备条件。结果表明,掺杂量和沉积时间对于薄膜的光电性能影响较大,Ga掺杂量取1.0%(原子比),且沉积时间较短的薄膜透光率较好;Ga掺杂量取1.0%,且沉积时间较长的薄膜导电性能较好。 展开更多
关键词 透明导电薄膜 ga、F共掺杂zno PET柔性衬底 正交实验设计
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