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Zr-Ti-B-N刀具涂层在600℃恒温过程的演变研究
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作者 欧阳柳 刘艳梅 +4 位作者 许人仁 王重阳 范其香 曹凤婷 王铁钢 《工具技术》 北大核心 2024年第4期31-36,共6页
评估Zr-Ti-B-N刀具涂层在600℃下的耐热能力,研究不同热处理时间对涂层结构和性能的影响规律。采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合技术制备Zr-Ti-B-N涂层,利用高温马弗炉对涂层进行热处理,借助纳米压痕仪、高温摩擦磨损试验... 评估Zr-Ti-B-N刀具涂层在600℃下的耐热能力,研究不同热处理时间对涂层结构和性能的影响规律。采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合技术制备Zr-Ti-B-N涂层,利用高温马弗炉对涂层进行热处理,借助纳米压痕仪、高温摩擦磨损试验机测试热处理后Zr-Ti-B-N涂层的力学性能、摩擦学性能。采用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对热处理前后Zr-Ti-B-N涂层的微观结构进行表征,在高温环境下,不同热处理时间对涂层的力学性能、摩擦学性能和微观结构有显著影响。结果证明,在600℃的大气环境下,经1h热处理后,涂层的综合性能稳定,涂层硬度为23.7GPa,临界载荷为31.7N;经2h热处理后,晶粒尺寸逐渐增大,柱状晶结构变得明显,涂层硬度开始下降;经3h热处理后,涂层表面出现明显的氧化膜,晶粒尺寸增大了27.0%,摩擦系数降到最低,为0.66,临界载荷未发生明显变化。 展开更多
关键词 zr-ti-B-n涂层 耐热能力 力学性能 摩擦学性能
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室温磁控溅射制备(Ti,Zr)N薄膜及其性能研究 被引量:5
2
作者 黄佳木 徐成俊 王亚平 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第5期517-520,共4页
采用直流反应磁控溅射工艺,在载波片和Al基材上制备出金黄色的(Ti,Zr)N薄膜。(Ti,Zr)N薄膜具有比TiN薄膜更高的硬度和更强的耐腐蚀性能。用XRD衍射方法和扫描隧道显微镜对薄膜的晶体结构、微观表面形貌和电子结构进行了测试分析。XRD结... 采用直流反应磁控溅射工艺,在载波片和Al基材上制备出金黄色的(Ti,Zr)N薄膜。(Ti,Zr)N薄膜具有比TiN薄膜更高的硬度和更强的耐腐蚀性能。用XRD衍射方法和扫描隧道显微镜对薄膜的晶体结构、微观表面形貌和电子结构进行了测试分析。XRD结果表明,(Ti,Zr)N薄膜为多晶态,存在TiN和ZrN两种分离相;从表面形貌可知,薄膜表面平整,晶粒排列致密且无连接松散的大颗粒;STS谱表明,Zr掺杂后,禁带宽度仍为1.64eV,但在禁带内增加了新能级,新能级的宽度分别为0.33eV和0.42eV,这也正是掺杂Zr后,薄膜仍呈现金黄色的主要原因。 展开更多
关键词 (ti zr)n薄膜 金黄色 表面形貌 电子结构 多晶态
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多弧离子镀(Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜的制备及力学性能研究 被引量:10
3
作者 崔贯英 张钧 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期329-333,共5页
采用多弧离子镀技术并使用合金靶Ti-Al-Zr制备(Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜。利用扫描电镜、X衍射仪对(Ti,Al,Zr)N膜层表面、断面形貌、成分、结构进行观察测定;系统考察了沉积工艺对(Ti,Al,Zr)N膜层质量、膜/基附着力和硬度的影响;并对... 采用多弧离子镀技术并使用合金靶Ti-Al-Zr制备(Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜。利用扫描电镜、X衍射仪对(Ti,Al,Zr)N膜层表面、断面形貌、成分、结构进行观察测定;系统考察了沉积工艺对(Ti,Al,Zr)N膜层质量、膜/基附着力和硬度的影响;并对膜层抗热震性进行了研究。通过与TiN,(Ti,Al)N,(Ti,Zr)N等硬质膜进行比较,发现采用Ti-Al-Zr合金靶制备的(Ti,Al,Zr)N多元梯度膜有更高的硬度和膜/基附着力,硬度可达4000 HV,实现了从硬质膜到超硬膜的转变;膜/基附着力大于200 N,同时对沉积工艺有较强的适应性。 展开更多
关键词 (ti Al zr)n梯度膜 多弧离子镀 显微硬度 热震 合金靶
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多弧离子镀(Cr,Ti,Al,Zr)N多组元超硬梯度膜的结构及性能 被引量:5
4
作者 崔贯英 张钧 吕会敏 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期24-27,共4页
(Cr,Ti,Al,Zr)N梯度膜性能优异。采用多弧离子镀技术,使用Ti-Al-Zr合金靶和Cr单质靶在高速钢表面制备(Cr,Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜,利用扫描电镜、能谱、X射线衍射仪、硬度计、划痕仪对膜层形貌、成分、结构、硬度、附着力进行分析,并... (Cr,Ti,Al,Zr)N梯度膜性能优异。采用多弧离子镀技术,使用Ti-Al-Zr合金靶和Cr单质靶在高速钢表面制备(Cr,Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜,利用扫描电镜、能谱、X射线衍射仪、硬度计、划痕仪对膜层形貌、成分、结构、硬度、附着力进行分析,并通过热震性能试验考察了膜层的抗热震性能。结果表明:制备的膜层为面心立方结构,择优生长取向为(220)面;与TiN,(Ti,Al)N,(Ti,Cr)N,(Ti,Al,Zr)N等硬质膜相比,制备的(Cr,Ti,Al,Zr)N多元梯度膜具有更高的硬度和膜/基附着力,硬度可达4400HV,膜/基附着力大于200N,实现了从硬质膜到超硬膜的转变;膜层中N含量梯度可有效减少应力集中,Cr,Al含量的增加有利于提高膜层抗热震性能;负偏压对膜层硬度影响较大,对膜层成分、结构、抗热震性能影响较小,对膜/基附着力基本无影响。 展开更多
关键词 多弧离子镀 (Cr ti Al zr)n超硬梯度膜 硬度 膜/基附着力 热震性能
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多弧离子镀(Ti,Al,Zr,Cr)N多元膜的高温氧化行为 被引量:2
5
作者 赵时璐 张钧 刘常升 《中国腐蚀与防护学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期296-300,共5页
采用多弧离子镀技术,用Ti-Al-Zr合金靶和Cr靶,在W18Cr4V高速钢基体上沉积了(Ti,Al,Zr, Cr)N多元膜,并进行了600℃,700℃,800℃和900℃短时(4 h)高温氧化实验及700℃和800℃长期(100 h)高温循环氧化实验。用扫描电镜(SEM)、能谱(EDS)和X... 采用多弧离子镀技术,用Ti-Al-Zr合金靶和Cr靶,在W18Cr4V高速钢基体上沉积了(Ti,Al,Zr, Cr)N多元膜,并进行了600℃,700℃,800℃和900℃短时(4 h)高温氧化实验及700℃和800℃长期(100 h)高温循环氧化实验。用扫描电镜(SEM)、能谱(EDS)和X射线衍射(XRD)观察和分析样品表面氧化膜。结果表明,这种多元膜在短时(4 h)高温氧化条件下,800℃时仍具有良好的抗高温氧化性,XRD显示氧化膜主要为TiO_2;在长期(100 h)高温氧化条件下,该多元膜的抗高温氧化温度大约为700℃左右。 展开更多
关键词 多弧离子镀 (ti Al zr Cr) n 高速钢 高温氧化
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三相(Ti,Zr)N复合陶瓷的物相分析
6
作者 杨改英 杜军 石力开 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第4期66-71,共6页
通过对高纯TiZr合金的高温氮化和高温退火制取了三相(Ti,Zr)N复合陶瓷。此结果不同于TiN与ZrN仅形成单相FCC结构无限固溶体的早期研究。应用X射线衍射(XRD)、X射线能量散射(EDS)及高分辨电子显微术(... 通过对高纯TiZr合金的高温氮化和高温退火制取了三相(Ti,Zr)N复合陶瓷。此结果不同于TiN与ZrN仅形成单相FCC结构无限固溶体的早期研究。应用X射线衍射(XRD)、X射线能量散射(EDS)及高分辨电子显微术(HRTEM)等技术手段分析研究了该(T_i,Zr)N复合陶瓷的晶体结构和化学成份。X射线衍射分析研究确定了材料的相组成(三相,FCC结构)及三相的晶格常数。微区化学成份分析给出各相中Ti与Zr的相对原子百分含量以及它们的金属元素含量的近似化学表达式。结合高分辨像的研究,最终确定出晶格常数最大的相富Zr,晶格常数居中的相Ti与Zr含量近似相等,而晶格常数最小的相富Ti。 展开更多
关键词 复合陶瓷 物相分析
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(Ti,Al,Zr)N多元硬质膜的退除方法与工艺研究 被引量:2
7
作者 贾恒 张钧 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期1067-1073,共7页
利用多弧离子镀技术并使用T-i Al(原子百分比50∶50)合金靶与Zr单质靶组合在高速钢基体上镀覆(Ti,Al,Zr)N硬质反应膜。使用螯合剂、氧化剂、缓蚀剂及氢氧化钠配制膜层退除液,通过改变退除液各组元的浓度、退除液PH值和退膜温度等影响因... 利用多弧离子镀技术并使用T-i Al(原子百分比50∶50)合金靶与Zr单质靶组合在高速钢基体上镀覆(Ti,Al,Zr)N硬质反应膜。使用螯合剂、氧化剂、缓蚀剂及氢氧化钠配制膜层退除液,通过改变退除液各组元的浓度、退除液PH值和退膜温度等影响因素,考查(Ti,Al,Zr)N硬质反应膜的退除效果。分析了高速钢基体和退膜前后试样的表面形貌、成分和粗糙度。比较了退除液组元的不同组合、不同浓度、退除液不同PH值条件下镀膜试样表面形貌随时间的变化,进而确定了退除液的最佳组元组合及最佳退除膜层工艺,实现了高速钢基体上(Ti,Al,Zr)N膜的完全退除,退膜后的试样表面光亮,无腐蚀损伤。 展开更多
关键词 退除液 多弧离子镀 (ti AL zr)n硬质反应膜 高速钢
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空心阴极离子镀(Ti,Zr)N膜层制备及应用研究 被引量:1
8
作者 肖宏清 刘谦 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期57-59,共3页
 用空心阴极离子镀(HCD)技术制备了(Ti,Zr)N膜层,研究了氮分压对膜层硬度的影响。以结合强度为判据,采用基体温度、轰击气压、负偏压及中间层沉积时间作为试验的变化因素,用正交试验法优化了制备(Ti,Zr)N膜层的最佳工艺规范。应用优化...  用空心阴极离子镀(HCD)技术制备了(Ti,Zr)N膜层,研究了氮分压对膜层硬度的影响。以结合强度为判据,采用基体温度、轰击气压、负偏压及中间层沉积时间作为试验的变化因素,用正交试验法优化了制备(Ti,Zr)N膜层的最佳工艺规范。应用优化的工艺参数对印制板(PCB)刀具进行了镀膜强化应用,结果表明,镀层性能良好,能够延长刀具的使用寿命。 展开更多
关键词 空心阴极离子镀(HCD) (ti zr)n 印制板
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溅射参数对(Zr,Ti)N复合镀层耐蚀性的影响
9
作者 张炜强 胡松青 +1 位作者 李飞 杜善波 《腐蚀与防护》 CAS 北大核心 2008年第8期464-466,共3页
用真空磁控溅射技术,在Q235钢的基底上沉积(Zr,Ti)N复合镀层,改变溅射工艺参数(温度、Ar/N_2流量比、基体偏压)制成8个镀层耐蚀性对比试样,用PS-268A型电化学测试仪,在3.5%的NaCl电解质溶液中腐蚀30~60 min,用极化曲线和Tafel直线外推... 用真空磁控溅射技术,在Q235钢的基底上沉积(Zr,Ti)N复合镀层,改变溅射工艺参数(温度、Ar/N_2流量比、基体偏压)制成8个镀层耐蚀性对比试样,用PS-268A型电化学测试仪,在3.5%的NaCl电解质溶液中腐蚀30~60 min,用极化曲线和Tafel直线外推法,确定各试样的耐蚀性的差异。结果表明,溅射工艺参数对镀层的耐蚀性影响较大。从耐蚀性方面考虑,推荐工艺参数为:溅射温度350℃,Ar/N_2流量比60/30(SCCM),基体偏压120V。 展开更多
关键词 真空磁控溅射 (zr ti)n复合镀层 工艺参数 耐蚀性
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Zr处理对含Ti低碳微合金钢中氮化物的影响 被引量:3
10
作者 杨永坤 战东平 +1 位作者 姜周华 雷洪 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第12期1709-1716,共8页
以含Ti低碳微合金钢为研究对象,通过实验和热力学计算研究了Zr质量分数对钢中氮化物的影响规律.结果表明:随着钢中Zr质量分数由0.0020%增加至0.0200%,钢中氮化物数量密度和面积占比明显增加,氮化物类型逐渐由TiN变为(Ti y,Zr 1-y)N,(Ti ... 以含Ti低碳微合金钢为研究对象,通过实验和热力学计算研究了Zr质量分数对钢中氮化物的影响规律.结果表明:随着钢中Zr质量分数由0.0020%增加至0.0200%,钢中氮化物数量密度和面积占比明显增加,氮化物类型逐渐由TiN变为(Ti y,Zr 1-y)N,(Ti y,Zr 1-y)N中Zr/Ti原子数比逐渐增加,(Ti y,Zr 1-y)N由以TiN为主转变为以ZrN为主.热力学计算结果发现精炼过程无TiN,ZrN等氮化物析出,氮化物主要在凝固过程析出.当钢中Zr质量分数为0.0020%时,凝固过程只有TiN析出;而当Zr质量分数≥0.0046%,逐渐有ZrN在凝固末期析出.随着凝固过程温度的降低,(Ti y,Zr 1-y)N具备热力学析出条件.当钢中Zr质量分数由0.0046%增加至0.0200%,(Ti y,Zr 1-y)N开始析出温度逐渐增加,TiN在(Ti y,Zr 1-y)N中占比逐渐减小.最后,当采用Zr-Ti复合脱氧时,钢中Zr质量分数应控制在0.0020%~0.0050%. 展开更多
关键词 zr处理 ti低碳微合金钢 tin zrn (ti_y zr_(1-y))n
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(Ti,Zr)N复合薄膜的微观结构及性能 被引量:8
11
作者 高玉周 史雅琴 +1 位作者 林国强 严立 《大连海事大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期81-84,共4页
利用电弧离子镀方法 ,对独立的Ti靶和Zr靶的电流进行控制 ,成功地在高速钢基体上制备了不同成分配比的 (Ti,Zr)N薄膜 .透射电子显微镜结果表明 :(Ti,Zr)N薄膜为单一的fcc结构 .采用X射线衍射分析显示 :(Ti,Zr)N薄膜出现分离的 (Ti,Zr)N... 利用电弧离子镀方法 ,对独立的Ti靶和Zr靶的电流进行控制 ,成功地在高速钢基体上制备了不同成分配比的 (Ti,Zr)N薄膜 .透射电子显微镜结果表明 :(Ti,Zr)N薄膜为单一的fcc结构 .采用X射线衍射分析显示 :(Ti,Zr)N薄膜出现分离的 (Ti,Zr)N、(Zr ,Ti)N、TiN、ZrN的混合相结构 .(Ti,Zr)N膜层随弧电流的增加 ,择优取向从 (2 2 0 )→ (111) (2 2 0 )→ (111)变化 .显微硬度测试表明 ,薄膜具有很高的硬度 ,在较宽的成分范围内硬度基本保持一致 .同时探讨了 (Ti,Zr)N薄膜的宏观残余应力、显微硬度之间的关系及其微观机制 . 展开更多
关键词 复合薄膜 微观结构 电弧离子镀 显微硬度 tin薄膜 超硬涂层 钛氮复合薄膜
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硬质合金表面Ti-Al-Zr-Cr-N系复合膜的抗高温氧化性 被引量:2
12
作者 赵时璐 张钧 +1 位作者 陈卫华 王双红 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第2期341-345,共5页
采用多弧离子镀技术和Ti-Al-Zr合金靶及Cr单质靶,在WC-8%Co硬质合金基体上制备出(Ti,Al,Zr,Cr)N多元单层膜和TiAlZrCr/(Ti,Al,Zr,Cr)N多元梯度膜。对两种薄膜进行了600,700,800和900℃短时(4 h)的氧化实验及600和700℃长时(100 h)的循... 采用多弧离子镀技术和Ti-Al-Zr合金靶及Cr单质靶,在WC-8%Co硬质合金基体上制备出(Ti,Al,Zr,Cr)N多元单层膜和TiAlZrCr/(Ti,Al,Zr,Cr)N多元梯度膜。对两种薄膜进行了600,700,800和900℃短时(4 h)的氧化实验及600和700℃长时(100 h)的循环氧化实验,并利用SEM和XRD分析了试样表面的氧化膜。结果表明,在短时氧化条件下,(Ti,Al,Zr,Cr)N单层膜和TiAlZrCr/(Ti,Al,Zr,Cr)N梯度膜分别在700和800℃时具有良好的抗高温氧化性;而在长时氧化条件下,其抗高温循环氧化温度分别为600和700℃。 展开更多
关键词 (ti Al zr Cr)n单层膜 tiAlzrCr (ti Al zr Cr)n梯度膜 多弧离子镀 硬质合金 抗高温氧化
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多弧离子镀TiAlZrCr/(Ti,Al,Zr,Cr)N梯度膜的微观结构与耐磨损性能 被引量:2
13
作者 赵时璐 张震 +2 位作者 张钧 王建明 张正贵 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期747-754,共8页
采用多弧离子镀技术,使用Ti-Al-Zr合金靶及Cr单质靶的组合方式,在W18Cr4V高速钢基体上制备TiAlZrCr/(Ti,Al,Zr,Cr)N四元梯度氮化物膜.利用SEM和XRD分析梯度膜的微观组织和结构,使用摩擦磨损试验机研究梯度膜在室温(15℃)和高温(50... 采用多弧离子镀技术,使用Ti-Al-Zr合金靶及Cr单质靶的组合方式,在W18Cr4V高速钢基体上制备TiAlZrCr/(Ti,Al,Zr,Cr)N四元梯度氮化物膜.利用SEM和XRD分析梯度膜的微观组织和结构,使用摩擦磨损试验机研究梯度膜在室温(15℃)和高温(500℃)下的耐磨损特性,并采用SEM观察磨痕形貌.结果表明,在不同沉积偏压下制备的四元梯度膜均具有fcc-Na Cl型的Ti N结构,其组织致密均匀,呈典型的柱状晶形态.梯度膜的摩擦磨损机理是以塑性变形为主要特征的黏着磨损,并伴有轻微的磨粒磨损.在室温和高温下磨损时的平均摩擦系数分别在0.25~0.30和0.30~0.35之间,且当沉积偏压增加至-200 V时,梯度膜的耐磨损性能实现最优化. 展开更多
关键词 tiAlzrCr/(ti Al zr Cr)n梯度膜 多弧离子镀 偏压 显微结构 耐磨损性能
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多弧离子镀Ti-Al-Zr-Cr-N系双层膜的结构与力学性能
14
作者 赵时璐 张震 +2 位作者 张钧 王双红 张正贵 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期1320-1324,共5页
采用多弧离子镀技术和Ti-Al-Zr合金靶及Cr单质靶,在WC-8%Co硬质合金基体上制备了(Ti,Al,Zr)N/(Ti,Al,Zr,Cr)N和Cr N/(Ti,Al,Zr,Cr)N 2种四元双层氮化物膜。利用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)分析2种双层膜... 采用多弧离子镀技术和Ti-Al-Zr合金靶及Cr单质靶,在WC-8%Co硬质合金基体上制备了(Ti,Al,Zr)N/(Ti,Al,Zr,Cr)N和Cr N/(Ti,Al,Zr,Cr)N 2种四元双层氮化物膜。利用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)分析2种双层膜的微观组织、成分和结构;利用划痕仪和显微硬度计对比2种双层膜的力学性能。结果表明,获得的2种双层膜均具有B1-NaCl型的TiN面心立方结构;双层膜的组织均是典型的柱状晶结构;沉积偏压为–50-–200 V时,双层膜的力学性能均优于(Ti,Al,Zr,Cr)N单层膜,并与Ti-Al-Zr-Cr-N系梯度膜的力学性能相当,同时(Ti,Al,Zr)N/(Ti,Al,Zr,Cr)N双层膜可获得更高的硬度(HV(0.01)最高值为41 GPa),而CrN/(Ti,Al,Zr,Cr)N双层膜可获得更强的膜层与基体间结合力(所有值均大于200 N)。 展开更多
关键词 多弧离子镀 (ti Al zr)n/(ti Al zr Cr)n Crn/(ti Al zr Cr)n 显微硬度 结合力
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(Ti,Al,Zr)N多元氮梯度硬质反应膜的组织结构和性能 被引量:2
15
作者 吕会敏 张钧 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期89-94,共6页
采用多弧离子镀技术和Ti-Al合金靶及Zr单质靶的组合,在高速钢基体上制备了(Ti,Al,Zr)N多元N梯度硬质反应膜。分别用扫描电镜、X射线衍射仪观察测定(Ti,Al,Zr)N梯度膜膜层的表面、断面形貌、成分以及相结构,研究了(Ti,Al,Zr)N多元氮梯度... 采用多弧离子镀技术和Ti-Al合金靶及Zr单质靶的组合,在高速钢基体上制备了(Ti,Al,Zr)N多元N梯度硬质反应膜。分别用扫描电镜、X射线衍射仪观察测定(Ti,Al,Zr)N梯度膜膜层的表面、断面形貌、成分以及相结构,研究了(Ti,Al,Zr)N多元氮梯度硬质反应膜的组织结构和性能。结果表明,与TiN、(Ti,Al)N、(Ti,Zr)N及(Ti,Al,Zr)N等单层硬质膜相比,采用Ti-Al合金靶及单质Zr靶组合方式制备的(Ti,Al,Zr)N多元氮梯度硬质反应膜具有较高的硬度和膜/基附着力,硬度最高可达HV6000,膜/基附着力大于180 N。同时,膜层还具有良好的抗热震性能。 展开更多
关键词 材料表面与界面 (ti AL zr)n 多弧离子镀 显微硬度 热震
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靶电流对氮化硅陶瓷刀具表面(Ti,Al,Zr)N涂层微观结构和性能的影响
16
作者 李安琼 伍尚华 +2 位作者 曾俊杰 蒋强国 古尚贤 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第S1期697-701,共5页
采用多弧离子镀工艺,以Al Ti合金靶和Zr单质靶为组合,通过改变AlTi靶电流,在氮化硅陶瓷刀具表面制备了一组(Ti,Al,Zr)N涂层。分别采用扫描电镜(SEM)、纳米压痕和纳米划痕研究AlTi靶电流对(Ti,Al,Zr)N涂层形貌和结构、硬度和涂层/氮化硅... 采用多弧离子镀工艺,以Al Ti合金靶和Zr单质靶为组合,通过改变AlTi靶电流,在氮化硅陶瓷刀具表面制备了一组(Ti,Al,Zr)N涂层。分别采用扫描电镜(SEM)、纳米压痕和纳米划痕研究AlTi靶电流对(Ti,Al,Zr)N涂层形貌和结构、硬度和涂层/氮化硅陶瓷刀具基体结合力的影响。实验结果表明,随着涂层沉积过程中Al Ti靶电流的增加,(Ti,Al,Zr)N涂层表面大颗粒数量先增加后减少;涂层厚度增加;涂层硬度和膜基结合力先升高后降低。最后,对涂层氮化硅陶瓷刀具进行高速干车削铸铁实验,研究Al Ti靶电流对(Ti,Al,Zr)N涂层氮化硅陶瓷刀具切削性能、磨损机理和切削寿命的影响,评估涂层刀具切削性能。 展开更多
关键词 靶电流 氮化硅陶瓷刀具 (ti Al zr)n涂层 微观结构 力学性能
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三元层状陶瓷M-Al-N(M=Ti,Zr,Hf)的结构及力学性质的第一性原理模拟 被引量:4
17
作者 彭军辉 《计算物理》 EI CSCD 北大核心 2020年第5期603-611,共9页
基于第一性原理方法,探索M-Al-N(M=Ti,Zr,Hf)结构的稳定性,计算其力学性质.计算M-Al-N化合物的能量,发现除实验已知的结构Ti2AlN和Ti4AlN3、Zr2AlN、Hf2AlN外,还存在两种新的热力学稳定结构Zr4AlN3、Hf4AlN3.弹性常数和声子谱的计算,表... 基于第一性原理方法,探索M-Al-N(M=Ti,Zr,Hf)结构的稳定性,计算其力学性质.计算M-Al-N化合物的能量,发现除实验已知的结构Ti2AlN和Ti4AlN3、Zr2AlN、Hf2AlN外,还存在两种新的热力学稳定结构Zr4AlN3、Hf4AlN3.弹性常数和声子谱的计算,表明这两个结构是力学稳定和晶格动力学稳定的.计算M2AlN和M4AlN3的力学性质,发现它们具有高的体模量、剪切模量、弹性模量、维氏硬度等;分析其力学性质随组分比例、组成元素的变化规律,为该类材料的选择和应用提供理论依据.最后计算M2AlN和M4AlN3的电子态密度和分态密度、电子密度分布、Mulliken群分析等. 展开更多
关键词 M-Al-n(M=ti zr Hf) 第一性原理 晶体结构 力学性能
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Oxidation behavior of TiAlZrCr/(Ti,Al,Zr,Cr)N gradient films deposited by multi-arc ion plating
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作者 Shilu ZHAO Jun ZHANG Changsheng LIU 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第6期473-480,共8页
The two Ti-Al-Zr targets and one pure Cr target were used to prepare the TiAlZrCr/(Ti, Al, Zr, Cr)N gradient films on high speed steel (WlSCr4V) substrates by multi-arc ion plating technique. Short-term isothermal... The two Ti-Al-Zr targets and one pure Cr target were used to prepare the TiAlZrCr/(Ti, Al, Zr, Cr)N gradient films on high speed steel (WlSCr4V) substrates by multi-arc ion plating technique. Short-term isothermal (at 600 ℃, 700 ℃, 800℃ and 900 ℃ for 4 h) and long-terra cyclic (at 700℃ and 800℃ for 100 h) high temperature oxidation behavior of the gradient films were studied. Then the oxide scales formed on the film specimens were characterized by scanning electron microscopy (SEM), energy dispersion X-ray spectroscopy (EDS) and X-ray diffraction (XRD). It was showed that, under short-term isothermal condition, the high temperature oxidation resistance of the gradient film was excellent up to 800 ℃ and an oxide scale comprising TiO2 was observed. On the other hand, under long-term cyclic high temDerature condition, the oxidation resistance of the gradient film was excellent at about 700 ℃. 展开更多
关键词 Multi-arc ion plating tiAlzrCr/(ti Al zr Cr)n gradient film High speed steel High temperature oxidation resistance
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掺杂不同钛含量氮化锆薄膜的制备及其摩擦性能研究 被引量:1
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作者 姚舜晖 苏演良 +1 位作者 高文显 郑凯文 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期413-416,共4页
采用非平衡磁控溅射技术制备含不同钛含量的氮化锆(Zr-Ti-N)复合薄膜材料,并研究薄膜基本特性及其摩擦磨损性能.结果表明:随着Ti含量增加,Zr-Ti-N薄膜硬度有所提高;在Ti含量为18.7 at.%时,薄膜的硬度达到最大值2 483HK0.025;当添加16.5 ... 采用非平衡磁控溅射技术制备含不同钛含量的氮化锆(Zr-Ti-N)复合薄膜材料,并研究薄膜基本特性及其摩擦磨损性能.结果表明:随着Ti含量增加,Zr-Ti-N薄膜硬度有所提高;在Ti含量为18.7 at.%时,薄膜的硬度达到最大值2 483HK0.025;当添加16.5 at.%Ti时,硬度值略有降低,但临界载荷最高,耐磨性最佳. 展开更多
关键词 复合材料 zrtin薄膜 摩擦磨损性能
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