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ZrN/W_2N纳米多层膜的调制比对其性能的影响 被引量:2
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作者 杨瑾 王明霞 李德军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期101-104,共4页
利用射频磁控溅射系统制备了调制周期为30 nm的具有不同调制比例的ZrN/W2N纳米多层膜。研究表明:ZrN/W2N纳米多层膜的界面清晰,通过把ZrN周期性地插入到W2N层,多层薄膜的整体应力得到缓解。在调制比tZrN∶tW2N=2∶3时,纳米多层膜的应力... 利用射频磁控溅射系统制备了调制周期为30 nm的具有不同调制比例的ZrN/W2N纳米多层膜。研究表明:ZrN/W2N纳米多层膜的界面清晰,通过把ZrN周期性地插入到W2N层,多层薄膜的整体应力得到缓解。在调制比tZrN∶tW2N=2∶3时,纳米多层膜的应力值最小。多层膜的硬度和弹性模量基本高于ZrN和W2N单层材料的平均值,随着调制比的减小,它们的值均有上升趋势,并在tZrN∶tW2N=2∶3时分别达到最高值34 GPa和424 GPa,同时多层膜的膜基结合强度也达到最佳效果,其临界载荷超过了100 mN。多层膜的机械性能改善明显与其调制层结构和多晶结构有着直接的联系。 展开更多
关键词 磁控溅射 zrn/w2N纳米多层膜 调制比 硬度
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用IBAD方法合成ZrN/W纳米多层膜 被引量:2
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作者 张晶晶 王明霞 +2 位作者 杨瑾 刘谦祥 李德军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期133-136,154,共5页
本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备具有纳米尺寸的ZrN/W多层膜,通过改变双靶的沉积时间,合成一系列的具有不同调制周期(3 nm^10 nm)的纳米多层膜。利用AES,XRD和纳米力学测试系统,表面形貌仪表征了薄膜的成分、结构... 本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备具有纳米尺寸的ZrN/W多层膜,通过改变双靶的沉积时间,合成一系列的具有不同调制周期(3 nm^10 nm)的纳米多层膜。利用AES,XRD和纳米力学测试系统,表面形貌仪表征了薄膜的成分、结构和机械性能,分析了不同调制周期对薄膜结构与机械性能的影响。结果表明:多层膜的机械性能普遍优于两种个体材料的混合相;在调制周期为8.6 nm时,显示出强的ZrN(111),W(110)织构和较弱的ZrN(220)峰,与其他条件下制备的样品比较,它具有较高的硬度(~26 GPa),较高的弹性模量(~310 GPa)和较强的膜基结合力(~80 mN)。低角度XRD分析证明了薄膜的多层结构。 展开更多
关键词 IBAD zrn/w 多层膜 超晶格
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离子束增强沉积合成ZrN/W纳米多层膜
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作者 李德军 张晶晶 +1 位作者 邓湘云 王明霞 《中国科学(E辑)》 CSCD 北大核心 2007年第11期1455-1460,共6页
利用离子束增强沉积方法在室温和不同能量的氮离子轰击条件下制备了不同调制周期的ZrN/W纳米多层膜.利用XRD,AES和纳米压痕仪分析了调制周期和离子轰击能量对薄膜结构和机械性能的影响,结果表明多层膜的机械性能基本都优于单质的ZrN... 利用离子束增强沉积方法在室温和不同能量的氮离子轰击条件下制备了不同调制周期的ZrN/W纳米多层膜.利用XRD,AES和纳米压痕仪分析了调制周期和离子轰击能量对薄膜结构和机械性能的影响,结果表明多层膜的机械性能基本都优于单质的ZrN或W薄膜.和其他制备条件相比,在300eV能量的氮离子轰击下制备的调制周期为8-9nm的多层膜,其结构中出现了强的ZrN(111),W(110)和ZrN(220)织构的混合,它的硬度和弹性模量分别达到26和310GPa,也展示了较高的耐磨性. 展开更多
关键词 离子束增强沉积 zrn/w 多层膜 纳米尺度
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Synthesis of nanoscale multilayered ZrN/W coatings by ion beam assisted deposition 被引量:2
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作者 LI DeJun ZHANG JingJing WANG MingXia 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2007年第2期206-212,共7页
ZrN/W multilayered coatings with different modulation periods at the nanoscale have been synthesized at different N+ beam bombarding energies using IBAD. Various characterization techniques such as XRD, AES, nano inde... ZrN/W multilayered coatings with different modulation periods at the nanoscale have been synthesized at different N+ beam bombarding energies using IBAD. Various characterization techniques such as XRD, AES, nano indenter and profiler were employed to investigate the influence of modulation period and bombarding energy on microstructure and mechanical properties of the coatings. The results showed that all superlattice coatings had better mechanical properties than the monolithic ZrN and W coatings. At an optimal condition with 300 eV N+ beam bombarding energy and 8―9 nm modulation period, XRD pattern possessed a sig- nificantly structural mixture of strong ZrN (111), W (110), as well as weak ZrN (220) textures in the multilayered coating. The optimal condition resulted in higher hardness (26 GPa), elastic modulus (310 GPa) and fracture resistance of the coat- ing than other conditions. 展开更多
关键词 IBAD zrn/w MULTILAYERED coating NANOSCALE
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基体偏压对反应磁控溅射ZrN/α-SiN_x纳米多层薄膜结构及性能的影响
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作者 胡明 高晓明 +4 位作者 张立平 伏彦龙 杨军 翁立军 刘维民 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期29-35,共7页
采用中频磁控溅射技术在3种偏压条件下(0、-80、-300V)于AISI 440C钢及单晶Si(100)基体表面制备了ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜.通过高分辨透射电子显微镜(HRTEM)分析表征了各纳米多层薄膜微观组织结构,并通过纳米压入仪与真空球-盘摩擦试... 采用中频磁控溅射技术在3种偏压条件下(0、-80、-300V)于AISI 440C钢及单晶Si(100)基体表面制备了ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜.通过高分辨透射电子显微镜(HRTEM)分析表征了各纳米多层薄膜微观组织结构,并通过纳米压入仪与真空球-盘摩擦试验机分别测试了各薄膜力学及真空摩擦学性能.重点研究了基体偏压对ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜微观组织结构,进而对其力学及摩擦学性能的影响机制.结果表明:较低的基体偏压会导致纳米多层薄膜中ZrN层差的结晶状态,而较高的基体偏压则易于引起ZrN层与SiNx层层间界面的交混.上述两种薄膜组织及结构的变化均不利于该纳米多层薄膜力学及摩擦学性能的改善.在适宜的偏压条件下(-80 V),ZrN/α-SiNx薄膜呈现出具备良好层间界面的晶体/非晶体纳米多层结构,与其他偏压条件制备的纳米多层薄膜相比,该薄膜表现出更好的力学及摩擦学性能. 展开更多
关键词 zrn α-SiNx纳米多层薄膜 基体偏压 微观结构 机械及摩擦学性能
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