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Effects of surface roughness of substrate on properties of Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings 被引量:6
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作者 林松盛 周克崧 +6 位作者 代明江 胡芳 石倩 侯惠君 韦春贝 李福球 佟鑫 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第2期451-456,共6页
Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings were deposited on Cr_17Ni_2 steel substrates with different surface roughnesses by vacuum cathodic arc deposition method. Microstructure, micro-hardness, adhesion strength and cross-s... Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings were deposited on Cr_17Ni_2 steel substrates with different surface roughnesses by vacuum cathodic arc deposition method. Microstructure, micro-hardness, adhesion strength and cross-sectional morphology of the obtained multilayer coatings were investigated. The results show that the Vickers hardness of Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coating, with a film thickness of 11.37 μm, is 29.36 GPa. The erosion and salt spray resistance performance of Cr_17Ni_2 steel substrates can be evidently improved by Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coating. The surface roughness of Cr_17Ni_2 steel substrates plays an important role in determining the mechanical and erosion performances of Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings. Overall, a low value of the surface roughness of substrates corresponds to an improved performance of erosion and salt spray resistance of multilayer coatings. The optimized performance of Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings can be achieved provided that the surface roughness of Cr_17Ni_2 steel substrates is lower than 0.4μm. 展开更多
关键词 Ti/TiN/Zr/zrn multilayer coatings surface roughness sand erosion resistance corrosion resistance vacuum cathodicarc deposition TIN zrn
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Multilayered gradient CrN/ZrN coatings synthesized by magnetron sputtering
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作者 LIU Feng WANG Ming-xia LIU Qian-xiang LI De-jun 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2004年第z1期243-246,共4页
The multilayer gradient CrN/ZrN coatings were synthesized by a dual cathode DC magnetron sputtering.The influence of different species of reaction gases and partial pressures on structure and mechanical properties was... The multilayer gradient CrN/ZrN coatings were synthesized by a dual cathode DC magnetron sputtering.The influence of different species of reaction gases and partial pressures on structure and mechanical properties was investigated using XRD, AES, XPS, and nanoindentation. The results show that N2-NH3 mixture process gas is of benefit to the synthesis of superhard multilayered gradient CrN/ZrN coatings. The presence of the preferred orientations of CrN(111), (200) and ZrN (111), (220) in the structure is a main reason for superhardness of multilayered gradient coatings. 展开更多
关键词 MAGNETRON SPUTTERING multilayered GRADIENT coating CrN/zrn NANOINDENTATION
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ZrN/WN纳米多层膜的结构与性能研究 被引量:1
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作者 王明霞 张晶晶 +2 位作者 杨瑾 刘谦祥 李德军 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1325-1327,1330,共4页
选择锆和钨的氮化物作为个体层材料,利用超高真空射频磁控溅射系统制备ZrN、WN及一系列的ZrN/WN多层薄膜。通过XRD,SEM和纳米力学测试系统分析了该体系合成中调制周期与ZrN、WN单层厚度比例(tZrN/tWN)对多层膜结构与机械性能的影响。结... 选择锆和钨的氮化物作为个体层材料,利用超高真空射频磁控溅射系统制备ZrN、WN及一系列的ZrN/WN多层薄膜。通过XRD,SEM和纳米力学测试系统分析了该体系合成中调制周期与ZrN、WN单层厚度比例(tZrN/tWN)对多层膜结构与机械性能的影响。结果表明:大部分多层膜的纳米硬度与弹性模量值都高于两种个体材料硬度的平均值;当调制周期Λ=30nm,tZrN∶tWN=2∶3时,结晶出现多元化,多层膜体系的硬度、应力以及弹性模量均达到最佳效果。多层膜的机械性能改善明显与其多层结构和多晶结构有直接的联系。 展开更多
关键词 射频磁控溅射 zrn/wn纳米多层膜 调制 周期
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Preparation of TiAlN/ZrN and TiCrN/ZrN multilayers by RF magnetron sputtering 被引量:6
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作者 Jong-Kook LEE G won-Seung YANG 《中国有色金属学会会刊:英文版》 EI CSCD 2009年第4期795-799,共5页
Titanium-based nitride coatings on cutting tools,press molds and dies can be used to prolong their life cycle because of their superior corrosion and oxidation resistance.TiAlN/ZrN and TiCrN/ZrN multilayer coatings we... Titanium-based nitride coatings on cutting tools,press molds and dies can be used to prolong their life cycle because of their superior corrosion and oxidation resistance.TiAlN/ZrN and TiCrN/ZrN multilayer coatings were prepared by RF magnetron sputtering,and their microstructural evolution and corrosion resistance during heat treatment were investigated.The TiAlN/ZrN and TiCrN/ZrN multilayer coatings are degraded by heating up to 600 ℃ with the formation of oxides particles on the surface.During the heat treatment,the TiCrN/ZrN and TiAlN/ZrN multilayer coatings show the lowest corrosion current density and the highest polarization resistance at temperature range of 400-500 ℃.Consequently,the TiAlN/ZrN and TiCrN/ZrN multilayer coatings show good corrosion resistance at temperature range of 400-500 ℃ during heating. 展开更多
关键词 射频磁控溅射 溅射制备 氮化锆 多层膜 耐腐蚀性 腐蚀电流密度
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Synthesis of nanoscale multilayered ZrN/W coatings by ion beam assisted deposition 被引量:2
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作者 LI DeJun ZHANG JingJing WANG MingXia 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2007年第2期206-212,共7页
ZrN/W multilayered coatings with different modulation periods at the nanoscale have been synthesized at different N+ beam bombarding energies using IBAD. Various characterization techniques such as XRD, AES, nano inde... ZrN/W multilayered coatings with different modulation periods at the nanoscale have been synthesized at different N+ beam bombarding energies using IBAD. Various characterization techniques such as XRD, AES, nano indenter and profiler were employed to investigate the influence of modulation period and bombarding energy on microstructure and mechanical properties of the coatings. The results showed that all superlattice coatings had better mechanical properties than the monolithic ZrN and W coatings. At an optimal condition with 300 eV N+ beam bombarding energy and 8―9 nm modulation period, XRD pattern possessed a sig- nificantly structural mixture of strong ZrN (111), W (110), as well as weak ZrN (220) textures in the multilayered coating. The optimal condition resulted in higher hardness (26 GPa), elastic modulus (310 GPa) and fracture resistance of the coat- ing than other conditions. 展开更多
关键词 IBAD zrn/W multilayered coating NANOSCALE
原文传递
离子束流和基底温度对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响 被引量:5
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作者 曹猛 李强 +2 位作者 杨莹 邓湘云 李德军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期29-32,共4页
本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD),在室温下制备了ZrN、TiAlN和一系列ZrN/TiAlN纳米多层膜,利用XRD、纳米力学测试系统和多功能材料表面性能实验仪,分析了束流和基底温度对薄膜的微结构和机械性能的影响。结果表明:大部分多层膜... 本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD),在室温下制备了ZrN、TiAlN和一系列ZrN/TiAlN纳米多层膜,利用XRD、纳米力学测试系统和多功能材料表面性能实验仪,分析了束流和基底温度对薄膜的微结构和机械性能的影响。结果表明:大部分多层膜的纳米硬度与弹性模量值都高于两种个体材料硬度的平均值,当辅助束流为5mA时,多层膜硬度达到30.6GPa。基底温度的升高,会显著降低薄膜的残余应力,但对薄膜的硬度,摩擦系数没有明显影响。 展开更多
关键词 离子束辅助沉积 zrn/TiAlN纳米多层膜 硬度 离子束流 基底温度
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钛合金及其表面沉积Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜的冲蚀行为 被引量:4
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作者 蓝恩辉 代明江 +2 位作者 胡芳 林松盛 侯惠君 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期29-33,共5页
采用多弧离子镀技术在TC11钛合金表面制备了厚度为18.7μm的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜,用45μm白刚玉通过微喷砂试验机评价TC11钛合金及Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜在30°和90°攻角下的抗冲蚀性能,并分析其冲蚀机理。结果表明:30°攻角... 采用多弧离子镀技术在TC11钛合金表面制备了厚度为18.7μm的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜,用45μm白刚玉通过微喷砂试验机评价TC11钛合金及Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜在30°和90°攻角下的抗冲蚀性能,并分析其冲蚀机理。结果表明:30°攻角下,冲蚀砂量为70g时,Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜被冲破,此时该多层膜的冲蚀坑深度为21.88μm,TC11钛合金基材为269.9μm。90°攻角下,冲蚀砂量为20g时,Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜被冲破,此时该多层膜的冲蚀坑深度为8.95μm,TC11钛合金基材为46.96μm。30°攻角下,钛合金的冲蚀以微切削为主,多层膜以微切削和微断裂为主。在90°攻角下,钛合金的冲蚀以点坑冲蚀为主,多层膜以裂纹萌生扩展和点坑冲蚀的混合冲蚀为主。 展开更多
关键词 TC11钛合金 Ti/TiN/Zr/zrn多层膜 冲蚀机理
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离子轰击能量对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响 被引量:4
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作者 曹猛 李强 +1 位作者 邓湘云 李德军 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期627-631,共5页
使用超高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)制备一系列具有纳米调制周期的ZrN/TiAlN多层膜,研究了离子辅助轰击对薄膜性能的影响.结果表明:离子辅助轰击使大部分ZrN/TiAlN多层膜的纳米硬度和弹性模量值高于两种个体材料硬度的平均值;离子的... 使用超高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)制备一系列具有纳米调制周期的ZrN/TiAlN多层膜,研究了离子辅助轰击对薄膜性能的影响.结果表明:离子辅助轰击使大部分ZrN/TiAlN多层膜的纳米硬度和弹性模量值高于两种个体材料硬度的平均值;离子的轰击和薄膜表面原子与轰击离子之间的动量传输提高了薄膜的致密度;当轰击能量为200 eV时,多层膜的硬度最高(30.6 GPa),弹性模量、表面粗糙度和摩擦系数等也明显改善. 展开更多
关键词 无机非金属材料 离子束辅助沉积(IBAD) zrn/TiAlN纳米多层膜 硬度 辅助轰击能量
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Ar/N_2气体比例对ZrN/WTiN纳米多层膜的影响
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作者 王明霞 李德军 《天津师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2010年第3期31-34,共4页
选择ZrN和WTi N作为个体层材料,利用超高真空射频磁控溅射系统制备ZrN,WTi N和一系列的ZrN/WTi N纳米多层薄膜.通过X射线衍射仪(XRD)和纳米力学测试系统分析制备参数中Ar/N2气体比例对多层膜结构与机械性能的影响.结果表明:多层膜的纳... 选择ZrN和WTi N作为个体层材料,利用超高真空射频磁控溅射系统制备ZrN,WTi N和一系列的ZrN/WTi N纳米多层薄膜.通过X射线衍射仪(XRD)和纳米力学测试系统分析制备参数中Ar/N2气体比例对多层膜结构与机械性能的影响.结果表明:多层膜的纳米硬度值普遍高于2种个体材料混合相的硬度值;当FAr∶FN2=5时,ZrN/WTi N纳米多层薄膜出现了ZrN(111),Ti N(111)衍射峰和非晶态,多层膜体系的硬度、应力和弹性模量均达到最佳效果. 展开更多
关键词 射频磁控溅射 zrn/WTiN多层膜 Ar/N2气体比例
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用IBAD方法合成ZrN/W纳米多层膜 被引量:2
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作者 张晶晶 王明霞 +2 位作者 杨瑾 刘谦祥 李德军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期133-136,154,共5页
本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备具有纳米尺寸的ZrN/W多层膜,通过改变双靶的沉积时间,合成一系列的具有不同调制周期(3 nm^10 nm)的纳米多层膜。利用AES,XRD和纳米力学测试系统,表面形貌仪表征了薄膜的成分、结构... 本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备具有纳米尺寸的ZrN/W多层膜,通过改变双靶的沉积时间,合成一系列的具有不同调制周期(3 nm^10 nm)的纳米多层膜。利用AES,XRD和纳米力学测试系统,表面形貌仪表征了薄膜的成分、结构和机械性能,分析了不同调制周期对薄膜结构与机械性能的影响。结果表明:多层膜的机械性能普遍优于两种个体材料的混合相;在调制周期为8.6 nm时,显示出强的ZrN(111),W(110)织构和较弱的ZrN(220)峰,与其他条件下制备的样品比较,它具有较高的硬度(~26 GPa),较高的弹性模量(~310 GPa)和较强的膜基结合力(~80 mN)。低角度XRD分析证明了薄膜的多层结构。 展开更多
关键词 IBAD zrn/W 多层膜 超晶格
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Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜对钛合金疲劳性能的影响 被引量:5
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作者 冯诚诚 林松盛 +4 位作者 匡同春 代明江 胡芳 赵升升 周克崧 《真空》 CAS 2015年第1期22-26,共5页
采用真空阴极电弧沉积技术在TC11钛合金基体上沉积约10μm厚的Ti/Ti N/Zr/Zr N多层膜,通过对比镀膜前后试样的屈服强度、抗拉强度、疲劳强度、疲劳寿命,以及断口形貌,研究沉积Ti/Ti N/Zr/Zr N多层膜对基体疲劳性能的影响,探讨疲劳断裂... 采用真空阴极电弧沉积技术在TC11钛合金基体上沉积约10μm厚的Ti/Ti N/Zr/Zr N多层膜,通过对比镀膜前后试样的屈服强度、抗拉强度、疲劳强度、疲劳寿命,以及断口形貌,研究沉积Ti/Ti N/Zr/Zr N多层膜对基体疲劳性能的影响,探讨疲劳断裂机理。结果表明:多层膜对TC11钛合金基体材料的屈服强度和抗拉强度影响不大,但由于膜层硬而脆而降低了基体材料的收缩率和延伸率;多层膜提高基体材料的疲劳极限;低应力下,裂纹源在多层膜表面萌生,并向内部扩展,在多层结构的膜层界面处受到阻碍,发生偏转,从而提高基体疲劳寿命;高应力下,膜层容易破裂,裂纹源增多,降低基体疲劳寿命;应力水平在520 MPa到650 MPa范围内,疲劳寿命增量从+40.82%降到-36.88%。 展开更多
关键词 真空阴极电弧沉积 Ti/TiN/Zr/zrn 多层膜 疲劳性能
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抗冲蚀磨损涂层的研究及应用进展 被引量:17
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作者 林松盛 周克崧 代明江 《材料研究与应用》 CAS 2018年第3期149-155,共7页
随着技术的发展,传统的结构材料难以满足抗冲蚀磨损的使用要求,抗冲蚀磨损防护涂层是有效提高装备和材料使用寿命的有效途径之一.概括介绍了抗冲蚀磨损涂层的制备方法,主要包括涂覆、电镀、热喷涂、激光熔覆和气相沉积技术等,以及各种... 随着技术的发展,传统的结构材料难以满足抗冲蚀磨损的使用要求,抗冲蚀磨损防护涂层是有效提高装备和材料使用寿命的有效途径之一.概括介绍了抗冲蚀磨损涂层的制备方法,主要包括涂覆、电镀、热喷涂、激光熔覆和气相沉积技术等,以及各种方法所制备的抗冲蚀磨损涂层体系及特点.重点阐述了利用物理气相沉积技术所制备的抗冲蚀磨损涂层的体系,主要包括二元、多元涂层及多层复合涂层,特别对多层复合涂层在抗冲蚀磨损防护方面的优势进行分析,最后系统地介绍了国际上物理气相沉积抗冲蚀涂层的研制进展及应用情况. 展开更多
关键词 冲蚀磨损 涂层 物理气相沉积 Ti-TiN-Zr-zrn多层膜 航空发动机压气机
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