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TMEM16F may be a new therapeutic target for Alzheimer's disease 被引量:5
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作者 Zhi-Qiang Cui Xiao-Ying Hu +6 位作者 Tuo Yang Jing-Wei Guan Ying Gu Hui-Yuan Li Hui-Yu Zhang Qing-Huan Xiao Xiao-Hong Sun 《Neural Regeneration Research》 SCIE CAS CSCD 2023年第3期643-651,共9页
TMEM16F is involved in many physiological processes such as blood coagulation,cell membrane fusion and bone mineralization.Activation of TMEM16F has been studied in various central nervous system diseases.High TMEM16F... TMEM16F is involved in many physiological processes such as blood coagulation,cell membrane fusion and bone mineralization.Activation of TMEM16F has been studied in various central nervous system diseases.High TMEM16F level has been also found to participate in microglial phagocytosis and transformation.Microglia-mediated neuroinflammation is a key factor in promoting the progression of Alzheimer’s disease.However,few studies have examined the effects of TMEM16F on neuroinflammation in Alzheimer’s disease.In this study,we established TMEM16F-knockdown AD model in vitro and in vivo to investigate the underlying regulatory mechanism about TMEM16F-mediated neuroinflammation in AD.We performed a Morris water maze test to evaluate the spatial memory ability of animals and detected markers for the microglia M1/M2 phenotype and NLRP3 inflammasome.Our results showed that TMEM16F was elevated in 9-month-old APP/PS1 mice.After TMEM16F knockdown in mice,spatial memory ability was improved,microglia polarization to the M2 phenotype was promoted,NLRP3 inflammasome activation was inhibited,cell apoptosis and Aβplaque deposition in brain tissue were reduced,and brain injury was alleviated.We used amyloid-beta(Aβ_(25-35))to stimulate human microglia to construct microglia models of Alzheimer’s disease.The levels of TMEM16F,inducible nitric oxide synthase(iNOS),proinflammatory cytokines and NLRP3 inflammasome-associated biomarkers were higher in Aβ_(25-35) treated group compared with that in the control group.TMEM16F knockdown enhanced the expression of the M2 phenotype biomarkers Arg1 and Socs3,reduced the release of proinflammatory factors interleukin-1,interleukin-6 and tumor necrosis factor-α,and inhibited NLRP3 inflammasome activation through reducing downstream proinflammatory factors interleukin-1βand interleukin-18.This inhibitory effect of TMEM16F knockdown on M1 microglia was partially reversed by the NLRP3 agonist Nigericin.Our findings suggest that TMEM16F participates in neuroinflammation in Alzheimer’s disease through participating in polarization of microglia and activation of the NLRP3 inflammasome.These results indicate that TMEM16F inhibition may be a potential therapeutic approach for Alzheimer’s disease treatment. 展开更多
关键词 Alzheimer’s disease Aβplaque inflammatory cytokines m1 phenotype m2 phenotype microglia polarization NEUROINfLAmmATION NLRP3 inflammasome siRNA TmEm16f
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线性相连的(r,s,t)/(l,m,n):F格点系统的可靠性
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作者 汤胜道 陈文波 《河南科学》 2003年第2期127-130,共4页
线性相连的(r,s,t)/(l,m,n):F格点系统是由l×m×n个部件依次排列成一个长方体形状,系统失效当且仅当至少有一个由r×s×t相邻的部件排列成的一个子长方体中所有部件都失效,三维线性连续失效系统(k3/n3;F)是其特殊情形... 线性相连的(r,s,t)/(l,m,n):F格点系统是由l×m×n个部件依次排列成一个长方体形状,系统失效当且仅当至少有一个由r×s×t相邻的部件排列成的一个子长方体中所有部件都失效,三维线性连续失效系统(k3/n3;F)是其特殊情形。本文给出了线性相连的(r,s,t)/(l,m,n):F格点系统的上、下界. 展开更多
关键词 线性相连 (r s t)/(l m n):f格点系统 可靠性 上界 下界 可靠度 结构函数
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对自旋交叉化合物[Fe(dpq)(py)_2(NCS)_2]·H_2O·py和[Fe(dpq)(py)_2(NCSe)_2]·1.5H_2O的研究(英文) 被引量:4
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作者 陶建清 余智 +2 位作者 邵挺 戴耀东 陈学太 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2002年第6期582-586,共5页
为了研究配体修饰对自旋交叉现象的影响,我们合成了两个Fe?自旋交叉的配合物犤Fe(dpq)(py)2(NCS)2犦·H2O·py和犤Fe(dpq)(py)2(NCSe)2犦·1.5H2O,(dpq=二吡嗪犤2,3-f:2'3'-h犦喹喔啉,py=吡啶)。通过对这两个配合... 为了研究配体修饰对自旋交叉现象的影响,我们合成了两个Fe?自旋交叉的配合物犤Fe(dpq)(py)2(NCS)2犦·H2O·py和犤Fe(dpq)(py)2(NCSe)2犦·1.5H2O,(dpq=二吡嗪犤2,3-f:2'3'-h犦喹喔啉,py=吡啶)。通过对这两个配合物磁性质和穆斯堡尔谱的研究,发现和用邻啡咯啉配体合成的配合物比较,配体的修饰对自旋交叉性质以及其临界温度都有着显著影响。 展开更多
关键词 自旋交叉化合物 铁配合物 磁化率 穆斯堡尔谱 二吡嗪[2 3-f:2′3′-h]喹喔啉
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基于Profibus协议主从通讯的研究 被引量:1
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作者 陈继永 郭西进 李守军 《微计算机信息》 北大核心 2008年第1期5-7,共3页
本文介绍了Siemens CP342-5模块在聚拢水泥厂回转窑监测系统中的应用,给出了CP342-5模块与P+F Encoder绝对值型编码器基于PROFIBUS协议的通讯的实现方法,并对传统的基于PC、PLC、DCS产品的分布式控制系统的弊端和基于现场总线的自动化... 本文介绍了Siemens CP342-5模块在聚拢水泥厂回转窑监测系统中的应用,给出了CP342-5模块与P+F Encoder绝对值型编码器基于PROFIBUS协议的通讯的实现方法,并对传统的基于PC、PLC、DCS产品的分布式控制系统的弊端和基于现场总线的自动化监控及信息集成系统的优点进行了分析。最后给出了Siemens CP342-5模块与多个智能编码器P+FEn-coder主从式通信的实现程序。 展开更多
关键词 CP342-5 倍加福编码器 PROfIBUs 可编程序控制器 主从通讯
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基于强跟踪GHF的里程计辅助SINS动基座对准研究 被引量:2
5
作者 武萌 汤霞清 黄湘远 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2017年第5期784-789,共6页
为提高车载捷联惯导系统动基座初始对准精度,提出了一种强跟踪降维高斯-厄米特非线性动基座初始对准算法。里程计辅助捷联惯导粗对准后水平姿态误差角为小角度,里程计辅助捷联惯导动基座对准模型简化为大方位失准角非线性模型,采用降维... 为提高车载捷联惯导系统动基座初始对准精度,提出了一种强跟踪降维高斯-厄米特非线性动基座初始对准算法。里程计辅助捷联惯导粗对准后水平姿态误差角为小角度,里程计辅助捷联惯导动基座对准模型简化为大方位失准角非线性模型,采用降维高斯-厄米特滤波(GHF),以少数非线性状态积分点估计整个系统状态,减少计算量,应用强跟踪滤波,提高系统对突变的滤波状态的跟踪能力。实验表明,应用强跟踪降维高斯-厄米特滤波提高了动基座初始对准精度,减少了计算量,提高了滤波的稳定性。 展开更多
关键词 捷联惯导 大失准角 动基座初始对准 高斯-厄米特非线性滤波 强跟踪
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一项值得重视的低压低功耗超高速集成电路技术——TFSOI技术 被引量:1
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作者 沈文正 《世界科技研究与发展》 CSCD 1999年第4期39-46,共8页
本文详细地分析了薄膜 S O I器件的特性并指出该器件的许多特性是其固有的。这些特性使得 S O I 技术对于高可靠、低压、低功耗、高速系统具有极大的吸引力。同时,该技术也适用于千兆位 D R A M 、片上系统、以及抗辐射加固... 本文详细地分析了薄膜 S O I器件的特性并指出该器件的许多特性是其固有的。这些特性使得 S O I 技术对于高可靠、低压、低功耗、高速系统具有极大的吸引力。同时,该技术也适用于千兆位 D R A M 、片上系统、以及抗辐射加固电路、微电子机械系统、模拟/ 混合信号电路、智能功率集成电路、便携式通讯系统、高温电子学和量子器件等。因此, S O I 技术可能成为21 展开更多
关键词 薄膜sOI器件 sOImOsfET TfsOI技术 特性分析 半导体集成电路技术
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基于MIMPS教学法的“光纤通信原理”实践教学模式探索 被引量:4
7
作者 张竹娴 刘光灿 +1 位作者 黄飞江 周晓霞 《长沙大学学报》 2017年第5期122-124,共3页
"光纤通信原理"是通信工程专业的专业基础课,由于理论枯燥、专业性较强,学生在实践学习中不喜欢开动脑筋.借鉴了MIMPS教学法,探索革新实验项目,将实验项目模块化,从而增加实验课程的创新性,提高学生的学习乐趣.
关键词 实践教学 光纤通信原理 mImPs教学法
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智能车SLAM中一种快速联合数据关联算法
8
作者 刘丹 段建民 王昶人 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期521-528,共8页
数据关联是智能车同时定位与建图(simultaneous localization and mapping,SLAM)中的一个难点问题.为了快速准确获得数据关联结果,结合连续兼容最近邻(sequential compatibility nearest neighbor,SCNN)算法简单易实现和联合兼容分支定... 数据关联是智能车同时定位与建图(simultaneous localization and mapping,SLAM)中的一个难点问题.为了快速准确获得数据关联结果,结合连续兼容最近邻(sequential compatibility nearest neighbor,SCNN)算法简单易实现和联合兼容分支定界(joint compatibility brarch and bound,JCBB)算法最优理念强的优点,提出了一种快速联合数据关联(fast joint data association,FJDA)算法.该算法首先在局部地图中采用SCNN数据关联算法处理所有的观测-特征对,得到关联结果;其次判断关联结果的准确性,若关联出错,则采用具有噪声的基于密度的聚类方法(densitybased spatial clustering of applications with noise,DBSCAN)对当前时刻的观测量进行分组,然后在每一小组中采用JCBB算法进行数据关联,最终将每一小组的关联解融合得到最终的关联结果.通过仿真实验对提出的算法、SCNN算法以及JCBB算法的性能进行了比较,结果表明提出的关联算法实时性强,准确度高. 展开更多
关键词 同时定位与建图 局部地图 快速联合数据关联算法 密度聚类算法
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纳米CeO_2对激光熔覆Fe/Cr_3C_2复合涂层组织与磨损性能的影响 被引量:5
9
作者 肖轶 顾剑锋 +1 位作者 张俊喜 杨有利 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第22期65-69,84,共6页
采用扫描电镜(SEM)、能谱分析仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、显微硬度仪及滑动磨损试验,研究了1%纳米CeO_2(质量分数)对低碳钢表面激光熔覆Fe/Cr_3C_2复合涂层的组织结构和耐磨性能的影响。结果表明,Fe+Cr_3C_2+1%CeO_2复合涂层的主要组... 采用扫描电镜(SEM)、能谱分析仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、显微硬度仪及滑动磨损试验,研究了1%纳米CeO_2(质量分数)对低碳钢表面激光熔覆Fe/Cr_3C_2复合涂层的组织结构和耐磨性能的影响。结果表明,Fe+Cr_3C_2+1%CeO_2复合涂层的主要组成相是α-Fe、γ-Fe、Cr_3C_2、Cr_(23)C_6及Cr_7C_3等化合物相;加入1%纳米CeO_2后,复合涂层组织明显细化,未熔Cr_3C_2数量显著减少,初生碳化物由粗大杆状向块状转变,数量增加,分布均匀,有效抑制和消除了裂纹的形成;复合涂层硬度和耐磨性能显著提高,Fe+30%Cr_3C_2+1%CeO_2涂层截面显微硬度提高105HV,增幅达到15.4%,且涂层沿深度方向硬度分布均匀性得到明显改善。 展开更多
关键词 纳米CEO2 激光熔覆 fE基合金 CR3C2 复合涂层 组织 耐磨性
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IMA、IL-6与缺血性脑卒中脑梗死体积的相关研究 被引量:10
10
作者 陈家强 龚道元 +6 位作者 李炜煊 潘晓芬 吴志刚 杨宇 伏红霞 彭艳 王晓娟 《医学检验与临床》 2010年第4期43-45,共3页
目的 研究急性缺血性脑卒中病人血清中IMA和IL-6含量与脑梗死体积的关系.方法 30例急性缺血性脑卒中病人来自佛山市第三人民医院,均于出现症状24小时内入组.在入院第1,2,3,4,7天各留取血液标本一次,血清IMA和IL-6水平均采用ELISA方法测... 目的 研究急性缺血性脑卒中病人血清中IMA和IL-6含量与脑梗死体积的关系.方法 30例急性缺血性脑卒中病人来自佛山市第三人民医院,均于出现症状24小时内入组.在入院第1,2,3,4,7天各留取血液标本一次,血清IMA和IL-6水平均采用ELISA方法测定.梗死体积为第7元CT经软件测得.结果 (1)病例组入院第1天,IL-6即开始明显升高,第3天达到最高,第7天仍很高,与对照组相比,有显著性差异(p【0.01);(2)IMA水平从第3天才开始升高,第4天达到最高,与对照组相比,有显著性差异(P【0.01);(3)IMA和IL-6含量之间呈明显正相关;(4)所有病人梗死体积与IMA和IL-6之同有密切相关.结论 血清中IL-6水平可作为急性缺血性脑卒中早期敏感的诊断指标;血清中IMA水平可作为急性缺血性脑卒中进展期标志;IMA和IL-6能反映卒中时梗死体积,对临床评估缺血性脑卒中脑组织的损害程度有一定意义. 展开更多
关键词 缺血性脑卒中 缺血修饰白蛋白 白介素-6
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先进型F级燃气-蒸汽联合循环供热工程应用 被引量:3
11
作者 董奎 艾松 《热力透平》 2013年第4期302-307,共6页
介绍了东方先进型F级燃气-蒸汽联合循环供热机组成功应用于北京热电厂这一工程项目的设计特点和基本参数,对机组运行模式进行了简要描述,机组的性能试验结果明显优于合同保证值,验证了东方先进型F级燃气-蒸汽联合循环供热机组大容量、... 介绍了东方先进型F级燃气-蒸汽联合循环供热机组成功应用于北京热电厂这一工程项目的设计特点和基本参数,对机组运行模式进行了简要描述,机组的性能试验结果明显优于合同保证值,验证了东方先进型F级燃气-蒸汽联合循环供热机组大容量、高效率、低污染和稳定可靠等特点。 展开更多
关键词 m701f4燃气轮机 高效率 低污染 3s离合器
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SL(2,R)上离散项消失的反演公式 被引量:1
12
作者 王信松 李红 《淮北煤师院学报(自然科学版)》 2001年第4期1-7,共7页
利用(m,n)-球函数的反演公式和逼近论的方法,给出了SL(2,R)上函数的反演公式中离散项消失的一个充分条件,并给出满足该条件的一类函数.
关键词 (n m)-球函数 迹类算子 反演公式 逼近论 离散项消失 函数 sL(2 R)
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基本FFET的试制和性能研究
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作者 于军 周文利 +1 位作者 曹广军 谢基凡 《华中理工大学学报》 CSCD 北大核心 1996年第3期68-70,共3页
论述了铁电场效应晶体管(FFET)的基本工作原理,给出了其设计方案.采用SOL-GEL法制备了基本的MFS-FET和MFOS-FET,对其电性能进行了测试分析.测试结果表明:MFOS结构的FFET具有极化存储特性.
关键词 mfOs结构 ffET 场效应晶体管 铁电场效应器件
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FPGA在无线图像采集传输系统中的应用设计 被引量:1
14
作者 方惠蓉 《青岛大学学报(自然科学版)》 CAS 2018年第1期123-127,共5页
针对传统的无线图像传输系统处理功能简单、采用分立元件,可靠性差、不宜调试,以及而且图像算法软件的灵活性低,处理较为耗时等不足,将FPGA(现场可编程门阵列)应用到图像采集与传输硬件系统中,以实现高速的图像采集传输工作和各种图像... 针对传统的无线图像传输系统处理功能简单、采用分立元件,可靠性差、不宜调试,以及而且图像算法软件的灵活性低,处理较为耗时等不足,将FPGA(现场可编程门阵列)应用到图像采集与传输硬件系统中,以实现高速的图像采集传输工作和各种图像处理工作。通过在FPGA上实现接口模块来控制外围器件作为图像采集与传输的硬件系统,并在接收端进行图像数字化采样和处理。实际应用表明,FPGA其具备的并行处理能力在系统中得到充分发挥,特别是在图像采集系统严格要求实时性时,FPGA尤其适用。 展开更多
关键词 图像采集 无线传输 fPGA实现 系统设计
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基于DSP和Zigbee技术的无线充电系统 被引量:1
15
作者 田成林 田迪 李建良 《装备制造技术》 2017年第8期241-242,268,共3页
本文阐述以D SP高速处理器T M S320F2812和Z igbee物联网技术相结合的无线充电系统。无线充电系统由一次侧和二次侧两部分组成,一次侧连接电源通过谐振线圈将电能传送到二次侧,二次侧连接电池实现电池充电。为了把二次侧电池的输出电压... 本文阐述以D SP高速处理器T M S320F2812和Z igbee物联网技术相结合的无线充电系统。无线充电系统由一次侧和二次侧两部分组成,一次侧连接电源通过谐振线圈将电能传送到二次侧,二次侧连接电池实现电池充电。为了把二次侧电池的输出电压、输出电流和实时温度的数据反馈给一次侧的控制器,现以T M S320F2812分别作为一次侧和二次的处理器,用支持Z igbee技术的C C 2530芯片作为两侧无线收发模块。电动汽车电池管理系统的温度传感器、电压传感器、电流传感器的信息通过C A N总线收集到二次侧的T M S320F2812处理器,处理器通过I/O接口传到二次的C C 2530芯片,芯片无线R F模块完成数据发送。一次侧C C 2530芯片无线R F模块完成数据接受,一次侧控制器处接收到C C 2530的数据并判断电池充电状态,随后通过PW M来改变一次侧的输入功率实现电池的充电。 展开更多
关键词 无线充电 Z igbee技术 T m s320f2812
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Correlation of zeros of automorphic L-functions 被引量:2
16
作者 LIU JianYa1 & YE YangBo1,2 1 School of Mathematics,Shandong University,Jinan 250100, China 2Department of Mathematics,The University of Iowa,Iowa City,IA 52242-1419,USA 《Science China Mathematics》 SCIE 2008年第7期1147-1166,共20页
We compute the n-level correlation of normalized nontrivial zeros of a product of Lfunctions: L(s, π1) … L(s, π k ), where πj, j = 1, …, k, are automorphic cuspidal representations of GL mj (?A). Here the sizes o... We compute the n-level correlation of normalized nontrivial zeros of a product of Lfunctions: L(s, π1) … L(s, π k ), where πj, j = 1, …, k, are automorphic cuspidal representations of GL mj (?A). Here the sizes of the groups GL mj (?A) are not necessarily the same. When these L(s, π j ) are distinct, we prove that their nontrivial zeros are uncorrelated, as predicted by random matrix theory and verified numerically. When L(s, π j ) are not necessarily distinct, our results will lead to a proof that the n-level correlation of normalized nontrivial zeros of the product L-function follows the superposition of Gaussian Unitary Ensemble (GUE) models of individual L-functions and products of lower rank GUEs. The results are unconditional when m 1, …, m k ? 4, but are under Hypothesis H in other cases. 展开更多
关键词 automorphic L-function zero correlation selberg’s orthogonality conjecture 11f70 11m26 11m41
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基于翻转课堂教学模式下的大学数学微课教学 被引量:48
17
作者 舒畅 闵兰 万会芳 《西南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2017年第9期196-200,共5页
2012年,教育部颁布了《教育信息化十年发展规划》,明确提出:借助信息技术能够推动教育现代化发展,并化解我国教育发展中遇到的各种问题,更好把握时代机遇.在当前新时代背景下,以往老套的教学方式已经难以贴合现代教学需求,因此需要及时... 2012年,教育部颁布了《教育信息化十年发展规划》,明确提出:借助信息技术能够推动教育现代化发展,并化解我国教育发展中遇到的各种问题,更好把握时代机遇.在当前新时代背景下,以往老套的教学方式已经难以贴合现代教学需求,因此需要及时融入新方法、新技术.而信息技术的进步和发展造就了翻转课堂教学模式,并且逐渐让传统的课堂教学发展成网络教学或者或家庭教学体系,学生不仅仅可以在课堂中获取知识,借助计算机网络也可以对知识学习.而基于翻转课堂教学模式的微课教学,主要是将微课作为教学资源,教学模式为课前学生自主学习和课中知识强化,充分体现了学生的主导地位,顺应了我国信息化教学改革的方向.本文以大学数学为例,就基于翻转课堂教学模式下的大学微课教学进行简单研究. 展开更多
关键词 大学数学 翻转课堂 微课教学
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改进了有价连接性指数及其应用实例——δ_i^-和δ~v在结构/性质相关中的比较研究 被引量:26
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作者 杨锋 颜肖慈 +3 位作者 欧阳礼 王利亚 罗明道 屈松生 《Chinese Journal of Chemical Physics》 CSCD 1998年第3期221-226,共6页
对价连接性值δv实行了改造,重新定义了价连性值δ-i,认为分子中某一原子的特征数值δ-i与某原子的价电子数、成键电子数、价电子层的最高主量子数有关。对于碳氢体系,顶点的连接度、δv、δ-i具有相同的数值。对于含杂原子... 对价连接性值δv实行了改造,重新定义了价连性值δ-i,认为分子中某一原子的特征数值δ-i与某原子的价电子数、成键电子数、价电子层的最高主量子数有关。对于碳氢体系,顶点的连接度、δv、δ-i具有相同的数值。对于含杂原子体系,δ-i具有更大的适用范围,给出两个例子论证之。同时,δv、δ-i具有相似的定义形式,所以由δv构成的各级价连接性指数mXvt的方法可以完全移植过程,由δ-i构成的拓扑指数记为mX-i。作为检验,用1X-研究了36种卤代苯的水溶解度和辛醇/水分配系数,结果1X-比1Xv有显著改善。 展开更多
关键词 分子 价连接性指数 价连接性值 δ^v δi^-
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飞艇主气囊结构湿模态分析与试验研究 被引量:7
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作者 邱振宇 陈务军 +2 位作者 赵兵 高成军 余征跃 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2017年第12期61-67,82,共8页
为研究飞艇主气囊结构模态特性,将飞艇内、外气体假设为势流体,基于流固耦合理论和势流理论,建立薄膜与内外空气流场共同作用的理论模型。建立充气膜结构数值分析方法,在内、外流场的单面耦合和内、外流场的双面耦合三种情况下,对薄膜... 为研究飞艇主气囊结构模态特性,将飞艇内、外气体假设为势流体,基于流固耦合理论和势流理论,建立薄膜与内外空气流场共同作用的理论模型。建立充气膜结构数值分析方法,在内、外流场的单面耦合和内、外流场的双面耦合三种情况下,对薄膜充气管和模型飞艇进行湿模态分析,对比分析单面和双面气固耦合的分析结果,并通过模态试验对分析方法进行验证,结果表明采用双面耦合分析方法分析充气膜结构湿模态最合理;采用此方法对艇长5 m、25 m、50m和100 m以及长细比为1∶3、1∶3.5和1∶4的双轴椭球外形飞艇主气囊在多种内压条件下进行湿模态分析,表明固有频率与艇长成反比,而长细比与内压对固有频率影响小。分析结果可以为飞艇的结构设计以及复杂充气膜结构模态分析提供参考。 展开更多
关键词 飞艇主气囊 模态分析 势流体 湿模态 流固耦合
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负偏压功率对溅射沉积钛、铜薄膜电阻的影响 被引量:3
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作者 付学成 王英 +2 位作者 沈赟靓 李进喜 权雪玲 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第11期980-984,共5页
为了研究负偏压功率对直流溅射沉积铜、钛两种金属薄膜电阻率的影响,在采用相同的工艺条件溅射沉积两种金属薄膜的同时分别加上0、50、150 W的负偏压功率,发现随着偏压功率由0增加到150 W,制备的钛薄膜厚度下降了25%,电阻率下降到原来的... 为了研究负偏压功率对直流溅射沉积铜、钛两种金属薄膜电阻率的影响,在采用相同的工艺条件溅射沉积两种金属薄膜的同时分别加上0、50、150 W的负偏压功率,发现随着偏压功率由0增加到150 W,制备的钛薄膜厚度下降了25%,电阻率下降到原来的18%,而对于铜薄膜随着偏压功率由0增加150 W,厚度下降了5%,电阻率却增加到原来的4倍。用原子力显微镜和X射线衍射仪器分析了不同负偏压功率下制备的两种金属薄膜的表面粗糙度和两种金属薄膜的结晶情况,并用Fuchs-Sondheimer理论和Mayadas-Shatzkes理论解释偏压功率引起两种金属电阻变化的原因。这为教学实验、真空镀膜工艺和集成电路生产领域沉积不同结构及电阻的金属薄膜提供参考。 展开更多
关键词 负偏压功率 磁控溅射 钛薄膜 铜薄膜 电阻率 f-s&m-s理论
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