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μc-Si∶H/a-Si∶H多层膜的周期性结构和量子尺寸效应 被引量:1
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作者 徐明 王洪涛 +5 位作者 冯良桓 周心明 蔡亚平 冯技文 徐宁 麦振洪 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期435-439,共5页
利用射频辉光放电法 ,通过周期性交替切换两种耦合电极的方式 ,制备了 μc- Si∶ H/a- Si∶ H多层膜 .低角度X射线衍射 (L AXRD)测试表明 ,这种多层膜具有良好的周期性结构 .观察了上述多层膜的光学性质及电导率与温度的关系 ,发现其吸... 利用射频辉光放电法 ,通过周期性交替切换两种耦合电极的方式 ,制备了 μc- Si∶ H/a- Si∶ H多层膜 .低角度X射线衍射 (L AXRD)测试表明 ,这种多层膜具有良好的周期性结构 .观察了上述多层膜的光学性质及电导率与温度的关系 ,发现其吸收边随着 a- Si∶ H层的减薄而蓝移 ,低温下的电导激活能 Ea 随着 a- Si∶ H层的减薄而减小 . 展开更多
关键词 射频辉光放电法 周期性结构 μc-si:h/a-si:h多层膜 量子尺寸效应 半导体
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μc-Si:H/a-Si:H多层膜的制备及性质 被引量:1
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作者 郑家贵 冯良桓 +4 位作者 蔡伟 黄天荃 蔡亚平 罗昭和 周心明 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第1期54-61,共8页
我们通过切换耦合电极的方法制备了μc-si:H/a-Si:H多层膜.这种多层膜的电导率呈各向异性,暗电导温度关系曲线可近似地看成由两条直线组成.随着 μc-Si:H亚层厚度的减小,喇曼谱中晶态峰降低,暗电导温度曲线的弯折点移向高温段.我们用纯... 我们通过切换耦合电极的方法制备了μc-si:H/a-Si:H多层膜.这种多层膜的电导率呈各向异性,暗电导温度关系曲线可近似地看成由两条直线组成.随着 μc-Si:H亚层厚度的减小,喇曼谱中晶态峰降低,暗电导温度曲线的弯折点移向高温段.我们用纯电阻模型和单量子阱模型进行了讨论. 展开更多
关键词 非晶硅 半导体 多层膜 制造 a-si:h
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An analytical model to explore open-circuit voltage of a-Si:H/c-Si heterojunction solar cells 被引量:1
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作者 钟春良 耿魁伟 +1 位作者 罗兰娥 杨迪武 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第3期598-603,共6页
The effect of the parameters on the open-circuit voltage, V_(OC) of a-Si:H/c-Si heterojunction solar cells was explored by an analytical model. The analytical results show that V_(OC) increases linearly with the logar... The effect of the parameters on the open-circuit voltage, V_(OC) of a-Si:H/c-Si heterojunction solar cells was explored by an analytical model. The analytical results show that V_(OC) increases linearly with the logarithm of illumination intensity under usual illumination. There are two critical values of the interface state density(D_(it)) for the open-circuit voltage(V_(OC)), D_(it)^(crit,1) and D_(it)crit,2(a few 1010 cm^(-2)·e V^(-1)). V_(OC) decreases remarkably when D_(it) is higher than D_(it)^(crit,1). To achieve high V_(OC), the interface states should reduce down to a few 1010 cm^(-2)·e V^(-1). Due to the difference between the effective density of states in the conduction and valence band edges of c-Si, the open-circuit voltage of a-Si:H/c-Si heterojunction cells fabricated on n-type c-Si wafers is about 22 mV higher than that fabricated on p-type c-Si wafers at the same case. V_(OC) decreases with decreasing the a-Si:H doping concentration at low doping level since the electric field over the c-Si depletion region is reduced at low doping level. Therefore, the a-Si:H layer should be doped higher than a critical value of 5×10^(18) cm^(-3) to achieve high V_(OC). 展开更多
关键词 solar cells a-si:h/c-si heterojunctions open-circuit voltage
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嵌入a-Si∶H薄层的μc-Si/c-Sipn异质结太阳能电池热平衡态特性的数值模拟分析
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作者 林鸿生 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第6期15-19,共5页
应用计算机数值模拟方法计算p+ (μc-Si∶H) /n (c-Si) 及p+ (μc-Si∶H) /i (a-Si∶H) /n (c-Si) 异质结太阳能电池中的电场强度分布, 说明μc-Si/c-Si异质结电池制造中μc-... 应用计算机数值模拟方法计算p+ (μc-Si∶H) /n (c-Si) 及p+ (μc-Si∶H) /i (a-Si∶H) /n (c-Si) 异质结太阳能电池中的电场强度分布, 说明μc-Si/c-Si异质结电池制造中μc-Si∶H 膜厚选择,进而对嵌入a-Si∶H 薄层的μc-Si/c-Si异质结太阳能电池设计进行分析, 包括a-Si∶H 薄层p 型掺杂效应及本底单晶硅的电阻率选择, 展开更多
关键词 热平衡态 异质结 太阳电池 μc-si:h 数值模拟
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钙钛矿/硅叠层太阳电池中平面a-Si:H/c-Si异质结底电池的钝化优化及性能提高 被引量:2
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作者 陈俊帆 任慧志 +7 位作者 侯福华 周忠信 任千尚 张德坤 魏长春 张晓丹 侯国付 赵颖 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期239-249,共11页
最近,旋涂法制备的钙钛矿/平面硅异质结高效叠层太阳电池引起人们广泛关注,主要原因是相比于绒面硅衬底制备的钙钛矿/硅叠层太阳电池,其制备工艺简单、制备成本低且效率高.对于平面a-Si:H/c-Si异质结电池, a-Si:H/c-Si界面的良好钝化是... 最近,旋涂法制备的钙钛矿/平面硅异质结高效叠层太阳电池引起人们广泛关注,主要原因是相比于绒面硅衬底制备的钙钛矿/硅叠层太阳电池,其制备工艺简单、制备成本低且效率高.对于平面a-Si:H/c-Si异质结电池, a-Si:H/c-Si界面的良好钝化是获得高转换效率的关键,进而决定了钙钛矿/硅异质结叠层太阳电池的性能.本文主要从硅片表面处理、a-Si:H钝化层和P型发射极等方面展开研究,通过对硅片表面的氢氟酸(HF)浸泡时间和氢等离子体预处理气体流量、a-Si:H钝化层沉积参数、钝化层与P型发射极(I/P)界面富氢等离子体处理的综合调控,获得了相应的优化工艺参数.对比研究了p-a-Si:H和p-nc-Si:H两种缓冲层材料对I/P界面的影响,其中高电导、宽带隙的p-nc-Si:H缓冲层既能够降低I/P界面的缺陷态,又可以增强P型发射层的暗电导率,提高了前表面场效应钝化效果.通过上述优化,制备出最佳的P-type emitter layer/aSi:H(i)/c-Si/a-Si:H(i)/N-type layer (inip)结构样品的少子寿命与implied-Voc分别达到2855μs和709 mV,表现出良好的钝化效果.应用于平面a-Si:H/c-Si异质结太阳电池,转换效率达到18.76%,其中开路电压达到681.5 mV,相对于未优化的电池提升了34.3 mV.将上述平面a-Si:H/c-Si异质结太阳电池作为底电池,对应的钙钛矿/硅异质结叠层太阳电池的开路电压达到1780 mV,转换效率达到21.24%,证明了上述工艺优化能够有效地改善叠层太阳电池中的硅异质结底电池的钝化及电池性能. 展开更多
关键词 a-si/c-si异质结 界面钝化 少子寿命 钙钛矿/硅异质结叠层太阳电池
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H_2稀释比对RF-PECVD制备a-Si:H/nc-Si:H薄膜的光电特性的影响 被引量:3
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作者 程自亮 蒋向东 +2 位作者 王继岷 刘韦颖 连雪艳 《电子器件》 CAS 北大核心 2015年第3期485-488,共4页
研究了H2稀释比对a-Si:H/nc-Si:H薄膜光电特性及微结构的影响。采用RF-PECVD法,以高纯Si H4及H2/Si H4混合气体为反应气源交替反应制备样品,并通过紫外-可见光分光光度计、椭偏仪及Keithley 4200、XRD对样品进行分析测试。实验表明:在... 研究了H2稀释比对a-Si:H/nc-Si:H薄膜光电特性及微结构的影响。采用RF-PECVD法,以高纯Si H4及H2/Si H4混合气体为反应气源交替反应制备样品,并通过紫外-可见光分光光度计、椭偏仪及Keithley 4200、XRD对样品进行分析测试。实验表明:在纳米级厚度的a-Si:H薄膜基础上,随着第二反应气H2/Si H4混合气中H2比率(99%、97%、95%、92%、80%)的升高,沉积速率持续下降,薄膜消光系数、禁带宽度以及电导率呈现先增大后减小的趋势。针对实验现象,结合薄膜生长机理对实验结果原因进行了分析。 展开更多
关键词 a-si:h/nc-si:h 氢稀释 RF-PECVD(射频等离子体化学气相沉积) 光电性能 生长机理
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温度对a-Si:H/c-Si异质结太阳能电池光伏特性的影响 被引量:1
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作者 曾喆方竹 钟春良 +2 位作者 隆雪燕 佘宏伟 杨迪武 《湖南工业大学学报》 2018年第2期43-48,共6页
运用开路电压解析模型和AMPS模拟分析温度对a-Si:H/c-Si异质结太阳能电池性能的影响及其机理。随着温度T的升高,热电压增大,开路电压V_(OC)减小。当T<270 K时,填充因子FF迅速增加;当T≥270 K时,FF保持不变,a-Si:H/c-Si异质结太阳能... 运用开路电压解析模型和AMPS模拟分析温度对a-Si:H/c-Si异质结太阳能电池性能的影响及其机理。随着温度T的升高,热电压增大,开路电压V_(OC)减小。当T<270 K时,填充因子FF迅速增加;当T≥270 K时,FF保持不变,a-Si:H/c-Si异质结太阳能电池的转化效率在T=270 K取得最佳值。低温工作时,空穴输运受到价带补偿界面势垒的限制,J-V曲线出现S-Shape现象,填充因子FF显著降低。 展开更多
关键词 太阳能电池 a-si:h/c-si异质结 温度 转换效率
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The study of a new n/p tunnel recombination junction and its application in a-Si:H/μc-Si:H tandem solar cells 被引量:6
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作者 李贵君 侯国付 +5 位作者 韩晓艳 袁育洁 魏长春 孙建 赵颖 耿新华 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第4期1674-1678,共5页
This paper reports that a double N layer (a-Si:H/μc-Si:H) is used to substitute the single microcrystalline silicon n layer (n-μc-Si:H) in n/p tunnel recombination junction between subcells in a-Si:H/μc-Si... This paper reports that a double N layer (a-Si:H/μc-Si:H) is used to substitute the single microcrystalline silicon n layer (n-μc-Si:H) in n/p tunnel recombination junction between subcells in a-Si:H/μc-Si:H tandem solar cells. The electrical transport and optical properties of these tunnel recombination junctions are investigated by current voltage measurement and transmission measurement. The new n/p tunnel recombination junction shows a better ohmic contact. In addition, the n/p interface is exposed to the air to examine the effect of oxidation on the tunnel recombination junction performance. The open circuit voltage and FF of a-Si:H/μc-Si:H tandem solar cell are all improved and the current leakage of the subcells can be effectively prevented efficiently when the new n/p junction is implemented as tunnel recombination junction. 展开更多
关键词 double N layer tunnel recombination junction oxidation interface a-si:h/μc-si:h tan-dem solar cell
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Plasma enhanced chemical vapor deposition of excellent a-Si:H passivation layers for a-Si:H/c-Si heterojunction solar cells at high pressure and high power 被引量:1
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作者 Lei ZHAO Wenbin ZHANG +3 位作者 Jingwei CHEN Hongwei DIAO Qi WANG Wenjing WANG 《Frontiers in Energy》 SCIE CSCD 2017年第1期85-91,共7页
The intrinsic a-Si:H passivation layer inserted between the doped a-Si:H layer and the c-Si substrate is very crucial for improving the performance of the a-Si:H/c- Si heterojunction (SHJ) solar cell. The passiva... The intrinsic a-Si:H passivation layer inserted between the doped a-Si:H layer and the c-Si substrate is very crucial for improving the performance of the a-Si:H/c- Si heterojunction (SHJ) solar cell. The passivation performance of the a-Si:H layer is strongly dependent on its microstructure. Usually, the compact a-Si:H deposited near the transition from the amorphous phase to the nanocrystalline phase by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) can provide excellent passivation. However, at the low deposition pressure and low deposition power, such an a-Si:H layer can be only prepared in a narrow region. The deposition condition must be controlled very carefully. In this paper, intrinsic a- Si:H layers were prepared on n-type Cz c-Si substrates by 27.12 MHz PECVD at a high deposition pressure and high deposition power. The corresponding passivation perfor- mance on c-Si was investigated by minority carrier lifetime measurement. It was found that an excellent a-Si:H passivation layer could be obtained in a very wide deposition pressure and power region. Such wide process window would be very beneficial for improving the uniformity and the yield for the solar cell fabrication. The a-Si:H layer microstructure was further investigated by Raman and Fourier transform infrared (FTIR) spectro-scopy characterization. The correlation between the microstructure and the passivation performance was revealed. According to the above findings, the a-Si:H passivation performance was optimized more elaborately. Finally, a large-area SHJ solar cell with an efficiency of 22.25% was fabricated on the commercial 156 mm pseudo-square n-type Cz c-Si substrate with the opencircuit voltage (Voc) of up to 0.732 V. 展开更多
关键词 PECVD high pressure and high power a-si:h microstructure PASSIVATION heterojunction solar cell
原文传递
Simulation of a-Si:H/c-Si heterojunction solar cells: From planar junction to local junction
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作者 Haibin Huang Lang Zhou +1 位作者 Jiren Yuan Zhijue Quan 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第12期370-377,共8页
In order to obtain higher conversion efficiency and to reduce production cost for hydrogenated amorphous silicon/crystalline silicon(a-Si:H/c-Si) based heterojunction solar cells, an a-Si:H/c-Si heterojunction with lo... In order to obtain higher conversion efficiency and to reduce production cost for hydrogenated amorphous silicon/crystalline silicon(a-Si:H/c-Si) based heterojunction solar cells, an a-Si:H/c-Si heterojunction with localized p–n structure(HACL) is designed. A numerical simulation is performed with the ATLAS program. The effect of the a-Si:H layer on the performance of the HIT(heterojunction with intrinsic thin film) solar cell is investigated. The performance improvement mechanism for the HACL cell is explored. The potential performance of the HACL solar cell is compared with those of the HIT and HACD(heterojunction of amorphous silicon and crystalline silicon with diffused junction) solar cells.The simulated results indicate that the a-Si:H layer can bring about much absorption loss. The conversion efficiency and the short-circuit current density of the HACL cell can reach 28.18% and 43.06 m A/cm^2, respectively, and are higher than those of the HIT and HACD solar cells. The great improvement are attributed to(1) decrease of optical absorption loss of a-Si:H and(2) decrease of photocarrier recombination for the HACL cell. The double-side local junction is very suitable for the bifacial solar cells. For an HACL cell with n-type or p-type c-Si base, all n-type or p-type c-Si passivating layers are feasible for convenience of the double-side diffusion process. Moreover, the HACL structure can reduce the consumption of rare materials since the transparent conductive oxide(TCO) can be free in this structure. It is concluded that the HACL solar cell is a promising structure for high efficiency and low cost. 展开更多
关键词 silicon solar cell a-si:h/c-si heterojunction short-circuit current local junction
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a-Si/c-Si heterojunction solar cells on SiSiC ceramic substrates
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作者 LI Xudong XU Ying CHE Xiaoqi 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第z1期186-189,共4页
Silicon thin-film solar cells are considered to be one of the most promising cells in the future for their potential advantages, such as low cost, high efficiency, great stability, simple processing, and none-pollutio... Silicon thin-film solar cells are considered to be one of the most promising cells in the future for their potential advantages, such as low cost, high efficiency, great stability, simple processing, and none-pollution. In this paper, latest progress on poly-crystalline silicon solar cells on ceramic substrates achieved by our group was reported. Rapid thermal chemical vapor deposition (RTCVD) was used to deposited poly-crystalline silicon thin films, and the grains of as-grown film were enlarged by Zone-melting Recrystallization (ZMR). As a great change in cell′s structure, traditional diffused pn homojunction was replaced by a-Si/c-Si heterojunction, which lead is to distinct improvement in cell′s efficiency. A conversion efficiency of 3.42% has been achieved on 1 cm2 a-Si/c-Si heterojunction solar cell (Isc=16.93 mA, Voc=310.9 mV, FF=0.6493, AM=1.5 G, 24 ℃), while the cell with diffused homojunction only got an efficiency of 0.6%. It indicates that a-Si emitter formed at low temperature might be more suitable for thin film cell on ceramics. 展开更多
关键词 a-si/c-si heterojunction thin film solar cell ceramic substrate
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基于沉积温度优化和后退火工艺改善a-Si∶H/c-Si界面钝化质量的研究
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作者 王楠 梁芮 周玉琴 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2019年第7期1287-1292,1313,共7页
a-Si∶H薄膜作为钝化层,在提高硅异质结太阳能电池效率方面发挥关键作用,工业化生产中通常采用PECVD法制备制备a-Si∶H薄膜。在本文中,首先对关键工艺参数如沉积温度进行了优化,并在160℃下获得了最佳的钝化效果。接着,通过傅里叶变换... a-Si∶H薄膜作为钝化层,在提高硅异质结太阳能电池效率方面发挥关键作用,工业化生产中通常采用PECVD法制备制备a-Si∶H薄膜。在本文中,首先对关键工艺参数如沉积温度进行了优化,并在160℃下获得了最佳的钝化效果。接着,通过傅里叶变换红外光谱法对a-Si∶H薄膜的微结构进行表征,以探索其钝化机理:低温下制备的a-Si∶H薄膜氢浓度高并有微空洞,从而影响钝化效果;高温下制备的a-Si∶H薄膜消除了微空洞而明显改善钝化质量。但是,过高的沉积温度又会导致a-Si∶H薄膜中微空位的产生从而影响钝化效果。此外,对比了两种典型后退火工艺对钝化效果的影响:一种是基于200℃退火10min,一种是基于450℃退火30s,并对相关钝化机理进行了研究。结果表明,第二种退火方式明显改善样品的钝化效果,主要原因是该退火消除了低温沉积样品中的微空洞和高温沉积样品中的微空位。最后,通过透射电镜研究了退火后的a-Si∶H/c-Si界面微结构,并未观察到影响钝化效果的外延生长。 展开更多
关键词 氢化非晶硅 a-sih/c-si界面钝化 后退火处理 钝化机理
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气压对VHF-PECVD制备的μc-Si∶H薄膜特性影响的研究 被引量:14
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作者 张晓丹 朱锋 +8 位作者 赵颖 侯国付 魏长春 孙建 张德坤 任慧志 薛俊明 耿新华 熊绍珍 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期414-418,共5页
本文主要研究了用VHF PECVD方法制备的不同工作气压的微晶硅薄膜样品。结果表明 :沉积速率随反应气压的增大而逐渐增大 ;光敏性 (光电导 /暗电导 )和激活能测试结果给出了相同的变化规律 ;傅立叶红外测试、X射线衍射和室温微区喇曼谱的... 本文主要研究了用VHF PECVD方法制备的不同工作气压的微晶硅薄膜样品。结果表明 :沉积速率随反应气压的增大而逐渐增大 ;光敏性 (光电导 /暗电导 )和激活能测试结果给出了相同的变化规律 ;傅立叶红外测试、X射线衍射和室温微区喇曼谱的结果都表明了样品的晶化特性 ; 展开更多
关键词 VhF-PECVD 制备方法 气压 μc-si:h 薄膜 微晶硅材料 太阳能电池 光致衰退效应 SWE
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功率密度对VHF-PECVD制备μc-Si:H的影响 被引量:3
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作者 郭学军 卢景霄 +4 位作者 文书堂 杨根 陈永生 张庆丰 谷锦华 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1160-1163,共4页
在不同功率密度下用甚高频化学气相沉积(VHF-PECVD)法制备了一系列微晶硅(μc-Si:H)薄膜,并对薄膜的微观结构进行了研究.重点研究了在较低的功率密度下,功率密度的改变对薄膜沉积速率和结晶状况的影响.结果表明,随着功率密度的提高,沉... 在不同功率密度下用甚高频化学气相沉积(VHF-PECVD)法制备了一系列微晶硅(μc-Si:H)薄膜,并对薄膜的微观结构进行了研究.重点研究了在较低的功率密度下,功率密度的改变对薄膜沉积速率和结晶状况的影响.结果表明,随着功率密度的提高,沉积速率逐渐加大,进一步提高功率密度时,沉积速率趋于饱和;与此同时,薄膜的孵化层厚度和形核密度随功率密度而变化. 展开更多
关键词 μc-si:h VhF-PECVD 功率密度 孵化层 成核密度
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掺铒a-Si∶H,O薄膜1.54μm光致发光和微结构 被引量:6
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作者 陈维德 梁建军 王永谦 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第10期988-992,共5页
采用等离子化学气相淀积方法 ,改变 Si H4 和 N2 O的流量比制备含有不同氧浓度的 a- Si∶ H,O薄膜 .用离子注入方法掺入铒 ,经 30 0— 935℃快速热退火 ,在波长 1 .54μm处观察到很强的室温光致发光 .氧的加入可以大大提高铒离子的发光... 采用等离子化学气相淀积方法 ,改变 Si H4 和 N2 O的流量比制备含有不同氧浓度的 a- Si∶ H,O薄膜 .用离子注入方法掺入铒 ,经 30 0— 935℃快速热退火 ,在波长 1 .54μm处观察到很强的室温光致发光 .氧的加入可以大大提高铒离子的发光强度 ,并且发光强度随氧含量的变化有一个类似于高斯曲线的分布关系 ,不是单调地随氧含量的增加而增强 .研究了掺铒 a- Si∶ H,O薄膜和微结构 ,讨论了发光强度与薄膜微结构的关系 . 展开更多
关键词 掺铒 a-si:h O薄膜 光致发光 微结构 半导体
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用椭偏法研究掺磷a-Si∶H薄膜的光学特性 被引量:5
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作者 匡跃军 李伟 +4 位作者 廖乃镘 蒋亚东 宋震 黄清海 祁康成 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期829-832,共4页
用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备了磷掺杂氢化非晶硅(a—Si:H)薄膜。分别以50°和70°为入射角,测试了样品在300-1000nm波长的椭偏光谱,得到了其膜厚和光学常数谱(折射率和消光系数随波长变化谱),并应用T... 用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备了磷掺杂氢化非晶硅(a—Si:H)薄膜。分别以50°和70°为入射角,测试了样品在300-1000nm波长的椭偏光谱,得到了其膜厚和光学常数谱(折射率和消光系数随波长变化谱),并应用Tauc作图法推算出了薄膜的光学带隙。 展开更多
关键词 椭偏法 掺磷a-si:h薄膜 光学常数
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HWCVD工艺参数对a-Si∶H薄膜结构及其对单晶硅片钝化效果的影响研究 被引量:5
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作者 何玉平 黄海宾 +3 位作者 周浪 宁武涛 袁吉仁 李丹 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第22期22067-22070,22073,共5页
采用HWCVD法双面沉积a-Si∶H膜钝化n-Cz-Si片表面,利用光谱型椭偏测试仪和傅里叶红外光谱仪研究沉积气压、电流和热丝衬底间距对a-Si∶H薄膜结构及钝化性能的影响。结果表明,(1)薄膜中SiH2键相对SiH键含量随气压升高逐渐减少,随电流增... 采用HWCVD法双面沉积a-Si∶H膜钝化n-Cz-Si片表面,利用光谱型椭偏测试仪和傅里叶红外光谱仪研究沉积气压、电流和热丝衬底间距对a-Si∶H薄膜结构及钝化性能的影响。结果表明,(1)薄膜中SiH2键相对SiH键含量随气压升高逐渐减少,随电流增大先减少后增大;(2)热丝衬底间距4.0cm相比7.5cm沉积的a-Si∶H薄膜微观结构中,SiH2键相比SiH键的比例更高,钝化效果也更好;(3)本文范围内,工艺参数分别为热丝衬底间距4.0cm时气压1.5Pa,沉积电流21.5A情况下钝化效果最优,钝化后硅片的表面复合速率为2.9cm/s。 展开更多
关键词 hWCVD a-sih 钝化 ε_(2) FT-IR Sih_(n) 微观结构参数R^(*)
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Al诱导a-Si:H薄膜的晶化 被引量:9
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作者 祁菁 金晶 +1 位作者 胡海龙 贺德衍 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期57-60,共4页
采用等离子体化学气相沉积方法在镀Al玻璃及单晶Si衬底上制备了氢化非晶硅 (a Si:H)薄膜 ,研究了样品在不同的热处理过程中Al对其晶化过程的影响。X射线衍射测量发现 ,由于Al的存在使a Si:H的晶化温度大幅度降低 ,并得到了有强烈 (111)... 采用等离子体化学气相沉积方法在镀Al玻璃及单晶Si衬底上制备了氢化非晶硅 (a Si:H)薄膜 ,研究了样品在不同的热处理过程中Al对其晶化过程的影响。X射线衍射测量发现 ,由于Al的存在使a Si:H的晶化温度大幅度降低 ,并得到了有强烈 (111)结晶取向的多晶Si薄膜。X射线光电子能谱分析表明 ,热处理过程中Al向Si薄膜表面的扩散降低了Si的成核温度。 展开更多
关键词 a-si:h薄膜 SI衬底 非晶硅 幅度 等离子体化学气相沉积 晶化 单晶 结晶取向 热处理过程 成核
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Al/a-Si∶H复合薄膜的电导性能 被引量:4
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作者 王瑞春 杜丕一 +1 位作者 翁文剑 韩高荣 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第10期1067-1072,共6页
采用真空热蒸发与PECVD方法 ,在经特殊设计的“单反应室双沉积”设备中沉积了Al/a Si∶H复合薄膜 ,并利用扫描电子显微镜、X射线衍射、Raman及X射线光电子谱等方法对复合薄膜在不同Al层厚度和不同温度退火后的晶化及电导行为进行了研究 ... 采用真空热蒸发与PECVD方法 ,在经特殊设计的“单反应室双沉积”设备中沉积了Al/a Si∶H复合薄膜 ,并利用扫描电子显微镜、X射线衍射、Raman及X射线光电子谱等方法对复合薄膜在不同Al层厚度和不同温度退火后的晶化及电导行为进行了研究 .结果表明 ,Al/a Si∶H复合薄膜在不高于 2 5 0℃的退火条件下即开始出现硅的晶体相 .退火温度越高 ,Al层越厚 ,形成多晶硅的量越多 .Al/a Si∶H复合薄膜的电导率受Al原子在a Si∶H中掺杂效应的影响 ,比纯a Si∶H薄膜的大 .随着硅晶体相在复合薄膜中的生成 ,复合薄膜的电导率受晶相比控制 ,晶相比增加 ,电导率增大 . 展开更多
关键词 Al/a-si:h复合薄膜 Al诱导晶化 多晶硅 晶相比 电导率
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H_2流量对直流磁控溅射制备a-Si∶H薄膜微观结构及光学性能的影响 被引量:2
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作者 乔泳彭 蒋百灵 +2 位作者 鲁媛媛 牛毅 张岩 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期2280-2287,共8页
采用直流磁控溅射法在不同H2流量的条件下制备了a-Si∶H薄膜,研究了H2流量对薄膜微观结构以及光学性能的影响。结果表明:随H2流量的增加,a-Si∶H薄膜的沉积速率有所下降,但其原子排列的有序度上升,并出现了细小的纳米晶粒,使得薄膜的无... 采用直流磁控溅射法在不同H2流量的条件下制备了a-Si∶H薄膜,研究了H2流量对薄膜微观结构以及光学性能的影响。结果表明:随H2流量的增加,a-Si∶H薄膜的沉积速率有所下降,但其原子排列的有序度上升,并出现了细小的纳米晶粒,使得薄膜的无序结构得到了一定改善。同时,薄膜的光学性能也表现出明显变化,其中透过率持续上升,而光学带隙则呈现出先增大后减小的趋势。最终得到制备a-Si∶H薄膜的最优H2流量为15 sccm。 展开更多
关键词 直流磁控溅射 h 流量 a-si h薄膜 光学性能
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