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消光椭偏仪测量中的四区域法平均
被引量：
1
1
作者
廖清君
王植恒
+3 位作者
王磊
周传宏
赖成军
刘细成
《四川大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第S1期96-102,共7页
作者讨论了如何用四区域法平均对椭偏仪测量数据进行处理的问题 ,通过分析认为 ,该法可以消除由起偏器、补偿器、检偏器引起的方位角误差 .并用该法规范椭偏测量角Ψ和Δ ,使Ψ∈(0°,90°)和Δ∈(0°,36 0°) ,实验所...
作者讨论了如何用四区域法平均对椭偏仪测量数据进行处理的问题 ,通过分析认为 ,该法可以消除由起偏器、补偿器、检偏器引起的方位角误差 .并用该法规范椭偏测量角Ψ和Δ ,使Ψ∈(0°,90°)和Δ∈(0°,36 0°) ,实验所得结果与理论计算值符合得很好 .
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关键词
椭偏义
四区域法平均
方位角误差
椭偏测量角
下载PDF
职称材料
题名
消光椭偏仪测量中的四区域法平均
被引量：
1
1
作者
廖清君
王植恒
王磊
周传宏
赖成军
刘细成
机构
四川大学物理系
出处
《四川大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第S1期96-102,共7页
基金
国家自然科学基金 ( 698880 0 2 )
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室开放课题基金
文摘
作者讨论了如何用四区域法平均对椭偏仪测量数据进行处理的问题 ,通过分析认为 ,该法可以消除由起偏器、补偿器、检偏器引起的方位角误差 .并用该法规范椭偏测量角Ψ和Δ ,使Ψ∈(0°,90°)和Δ∈(0°,36 0°) ,实验所得结果与理论计算值符合得很好 .
关键词
椭偏义
四区域法平均
方位角误差
椭偏测量角
Keywords
collipsometer
four-gone averages
agimuth-angle errors ellipsometric angle
分类号
TH744 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
消光椭偏仪测量中的四区域法平均
廖清君
王植恒
王磊
周传宏
赖成军
刘细成
《四川大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2001
1
下载PDF
职称材料
已选择
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引用分析
参考文献
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