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266 nm纳秒固体激光在PS上打孔的工艺实验研究 被引量:1
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作者 齐立涛 李存涛 刘凤聪 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2023年第4期513-519,共7页
为了研究266 nm纳秒固体激光在聚苯乙烯(PS)上打孔的材料去除机理、工艺规律和优化工艺参数,采用了单因素实验法和正交实验法进行了单脉冲和多脉冲打孔的实验研究。分析了材料的去除机理,得到了脉冲数量、脉冲能量以及离焦量对微孔直径... 为了研究266 nm纳秒固体激光在聚苯乙烯(PS)上打孔的材料去除机理、工艺规律和优化工艺参数,采用了单因素实验法和正交实验法进行了单脉冲和多脉冲打孔的实验研究。分析了材料的去除机理,得到了脉冲数量、脉冲能量以及离焦量对微孔直径和深度的影响规律,获得了满足要求的工艺参数的优化组合。结果表明,单脉冲打孔条件下,脉冲能量为0.110 mJ时加工出的微孔形状规则、圆度较好以及重铸层宽度较小,脉冲能量为0.500 mJ时,加工出的微孔形状和圆度质量变差,重铸层宽度增大;多脉冲打孔条件下,脉冲能量为0.040 mJ时,加工出的通孔入口处无重铸层,去除机理以光化学作用为主,脉冲能量为0.390 mJ时,加工出的通孔入口处重铸层较为明显,且入口边缘出现过烧蚀现象,去除机理以光热作用为主;脉冲能量和离焦量对孔径影响较大,脉冲数量和正离焦量对孔深影响较大;正交实验得到的优化参数组合为脉冲数量50、脉冲能量0.021 mJ、离焦量0μm时,可以加工出质量较好的微孔。本研究为266 nm纳秒激光加工聚苯乙烯靶球提供了参考依据。 展开更多
关键词 激光技术 材料去除机理 工艺实验 266 nm纳秒激光 聚苯乙烯 微孔
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高功率266 nm全固态单频连续波激光器研究进展 被引量:2
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作者 王华行 毛佳佳 +7 位作者 叶帅 胡平 周雪 聂鸿坤 李涛 张百涛 何京良 杨克建 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第4期63-73,共11页
高功率单频连续波266 nm激光在大容量信息存储、高分辨光谱监测及高精度紫外光刻等领域具有重要应用价值,近年来已成为国内外紫外激光领域的研究热点之一。文中首先综合比较了用于产生高功率266 nm紫外激光的非线性光学晶体基本性能,并... 高功率单频连续波266 nm激光在大容量信息存储、高分辨光谱监测及高精度紫外光刻等领域具有重要应用价值,近年来已成为国内外紫外激光领域的研究热点之一。文中首先综合比较了用于产生高功率266 nm紫外激光的非线性光学晶体基本性能,并根据主要的激光器频率锁定方法,重点分析了H?nsch-Couillaud(H-C)频率锁定和Pound-Drever-Hall(PDH)频率锁定方法的优缺点以及连续波单频266 nm激光器发展现状,介绍了本课题组最新研究成果,即基于H-C频率锁定方法实现了功率1.1 W的单频连续波266 nm紫外激光稳定输出。最后,针对进一步提升全固态单频连续波266 nm激光器性能亟需解决的问题和可能解决路径进行了简要分析和展望。 展开更多
关键词 全固态单频连续波激光器 266 nm 共振增强 频率锁定
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单脉冲266 nm固体激光烧蚀蓝宝石的工艺和机理 被引量:2
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作者 齐立涛 李雪 刘亚升 《黑龙江科技大学学报》 CAS 2020年第4期416-421,464,共7页
为探讨266 nm纳秒固体激光单脉冲烧蚀蓝宝石的机理,通过改变激光能量研究烧蚀微孔的尺寸和质量,采用原子力显微镜表征烧蚀微孔,确定激光脉冲能量和微孔直径的关系,得到266 nm纳秒激光烧蚀蓝宝石的阈值,给出了微孔的直径和深度随激光能... 为探讨266 nm纳秒固体激光单脉冲烧蚀蓝宝石的机理,通过改变激光能量研究烧蚀微孔的尺寸和质量,采用原子力显微镜表征烧蚀微孔,确定激光脉冲能量和微孔直径的关系,得到266 nm纳秒激光烧蚀蓝宝石的阈值,给出了微孔的直径和深度随激光能量的变化关系。结果表明,微孔的直径和深度随激光能量密度的增加而增加。低能量密度烧蚀蓝宝石时,具有较高的烧蚀质量,随着能量密度的增加,烧蚀质量变差。低能量密度时以光化学作用为主,高能量密度时以光热作用为主,存在光化学和光热共同作用的过渡区域。 展开更多
关键词 266 nm纳秒固体激光 蓝宝石 烧蚀阈值 烧蚀机理 单脉冲
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Short Pulse Width and High Peak Power 457 nm Deep Blue Laser with V-Type Cavity
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作者 Zhibin Zhao Cheng Cheng +5 位作者 Hao Chen Quan Li Yi Qu Guojun Liu Zhongliang Qiao Baoxue Bo 《Journal of Applied Mathematics and Physics》 2021年第11期2987-2994,共8页
<div style="text-align:justify;"> An intracavity frequency doubling acousto-optically Q-switched Neodymium-doped Yttrium Orthvanadate (Nd:YVO<sub>4</sub>) 457 nm blue laser by employing a t... <div style="text-align:justify;"> An intracavity frequency doubling acousto-optically Q-switched Neodymium-doped Yttrium Orthvanadate (Nd:YVO<sub>4</sub>) 457 nm blue laser by employing a three-mirror folded cavity was demonstrated. With the incident pump power of 40.4 W, the maximum average output power of 439 mW 457 nm laser, and the minimum pulse duration of 86.14 ns and the maximum peak power of 510 W were achieved at 10 kHz. The M<sup>2</sup> factors are 1.23 and 1.61 in X and Y directions, respectively. The power stability in two hours is better than 2%. </div> 展开更多
关键词 laser all-solid-state laser Pulse Wave Deep Blue laser 457 nm laser
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采用BBO晶体产生266 nm深紫外激光过程中的热特性研究
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作者 王子文 曹雪辰 +3 位作者 张艳林 程东林 靳丕铦 卢华东 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第14期26-34,共9页
基于近红外波段1064 nm激光的四倍频过程是产生深紫外激光的有效技术手段之一。然而,非线性晶体在产生深紫外激光的过程中,晶体内部严重的非线性吸收带来的热效应会破坏其相位匹配条件,进而制约深紫外激光功率的提升。为此,在利用偏硼酸... 基于近红外波段1064 nm激光的四倍频过程是产生深紫外激光的有效技术手段之一。然而,非线性晶体在产生深紫外激光的过程中,晶体内部严重的非线性吸收带来的热效应会破坏其相位匹配条件,进而制约深紫外激光功率的提升。为此,在利用偏硼酸钡(BBO)晶体作为1064 nm近红外光四倍频过程的非线性转化介质的基础上,通过对不同匹配温度下的晶体内部温升情况进行研究,发现提高晶体匹配温度可以有效减缓晶体内部由非线性吸收引起的热效应,改善深紫外激光功率输出。最终,在晶体匹配温度为180℃、绿光输入功率为16 W时,获得了重复频率为20 kHz、单脉冲宽度为4 ns、平均功率为2.56 W的266 nm深紫外激光。通过建立BBO晶体非线性吸收理论模型,进一步计算了不同匹配温度、不同紫外激光功率下的非线性吸收系数和归一化色心密度,结果显示,非线性吸收系数与紫外激光功率强度正相关,并且在紫外激光功率均为2.25 W时,相较于60℃,匹配温度为180℃的晶体其非线性吸收系数减小了近63%,色心密度也降低了57%,该研究结果对实现高功率的266 nm深紫外激光的输出具有重要意义。 展开更多
关键词 266 nm深紫外激光 非线性吸收 热效应 匹配温度 高功率 偏硼酸钡
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实用化全固态266nm激光器的研究 被引量:11
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作者 耿爱丛 张鸿博 +4 位作者 王桂玲 薄勇 许祖彦 王晓青 沈德忠 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期767-769,共3页
报道了W级实用化全固态266nm紫外激光器的设计和应用。在简单紧凑的平平直腔内,使用声光Q进行调制,通过LD端面抽运Nd:YVO4激光晶体产生平均功率8W的1064nm近红外光。采用Ⅱ类临界相位匹配的KTP晶体进行腔内倍频,产生平均功率5W的532nm... 报道了W级实用化全固态266nm紫外激光器的设计和应用。在简单紧凑的平平直腔内,使用声光Q进行调制,通过LD端面抽运Nd:YVO4激光晶体产生平均功率8W的1064nm近红外光。采用Ⅱ类临界相位匹配的KTP晶体进行腔内倍频,产生平均功率5W的532nm绿光。然后,采用Ⅰ类临界相位匹配CsLiB6O10(CLBO)晶体进行腔外四倍频,产生平均功率1.3W、脉宽约11ns和重复频率20kHz的266nm紫外激光。用该紫外激光器清洗发光二极管(LED)基板,结果表明:激光器性能稳定,清洗效果良好。 展开更多
关键词 激光技术 全固态266nm激光器 四倍频 ND:YVO4 CsLiB6O10(CLBO) 紫外光
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全固态连续单频266nm深紫外激光器 被引量:2
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作者 赵彪 秦玮霞 +1 位作者 李凤琴 卢华东 《量子光学学报》 北大核心 2020年第2期194-201,共8页
采用I类角度匹配的BBO晶体外腔倍频全固态连续单频532 nm绿光激光器,设计了紧凑稳定的四镜环形倍频腔结构,利用腔外偏振锁腔的方式,实现了高光束质量、高转换效率的全固态连续单频266 nm深紫外激光器。泵浦功率为3 W、输出镜在532 nm处... 采用I类角度匹配的BBO晶体外腔倍频全固态连续单频532 nm绿光激光器,设计了紧凑稳定的四镜环形倍频腔结构,利用腔外偏振锁腔的方式,实现了高光束质量、高转换效率的全固态连续单频266 nm深紫外激光器。泵浦功率为3 W、输出镜在532 nm处定点透射率为2.5%时,获得了最大输出功率810 mW的紫外激光输出,当输出功率稳定在730 mW时,长期功率稳定性三小时内优于±1.5%,光束质量因子M^2<1.5。 展开更多
关键词 全固态 266nm深紫外激光器 单频 连续波
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Two-photon Dissociation Study of Carbon Disulfide in Acetonitrile at 266 nm
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作者 房豪杰 张仁熙 +3 位作者 欧阳彬 朱承驻 董文博 侯惠奇 《Chinese Journal of Chemistry》 SCIE CAS CSCD 2006年第1期146-148,共3页
Using laser flash photolysis/transient absorption technique for the study of two photon photodissociation of carbon disulfide in acetonitrile solution at 266 nm, the transient UV-Vis absorption spectrum of Rydberg sta... Using laser flash photolysis/transient absorption technique for the study of two photon photodissociation of carbon disulfide in acetonitrile solution at 266 nm, the transient UV-Vis absorption spectrum of Rydberg state CS2 (6sσg) within 240-370 nm and subsequent dissociation product CS (α^3П) with the maximum absorption at 260 nm were directly observed. The lifetime of CS (α^3П) in the nitrogen and oxygen saturated solution is also studied in our experiment. 展开更多
关键词 two-photon dissociation 266 nm laser flash photolysis/transient absorption carbon monosulfide
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