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各向异性腐蚀技术研究与分析
被引量:
8
1
作者
沈桂芬
吴春瑜
+4 位作者
姚朋军
杨学昌
刘兴辉
吕品
高嵩
《传感技术学报》
CAS
CSCD
2001年第2期140-146,共7页
本文详细分析了用各向异性腐蚀技术形成的压阻式压力传感器硅杯的几种腐蚀方法 ,根据实验提出了它们的优缺点 ,介绍了几种各向异性蚀的自致停止法和腐蚀中削角的补偿方法 ,对制造微量程、高灵敏度的压力传感器有一定的指导意义 .
关键词
各向异性腐蚀
自致停止技术
压力传感器
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职称材料
M701F型燃气轮机并网后叶片通道温度变化趋势大自动停机原因分析及解决方法
2
作者
姜建
蔡青春
陈愈
《热力发电》
CAS
北大核心
2009年第6期68-70,74,共4页
针对M701F型燃气轮机并网后频繁出现叶片通道温度变化趋势大自动停机事故,对燃气轮机的燃料控制逻辑进行了分析,认为造成自动停机的主要原因是燃料控制逻辑设计不合理。提出了优化运行操作和修改DCS控制逻辑的解决方法,实施后避免了此...
针对M701F型燃气轮机并网后频繁出现叶片通道温度变化趋势大自动停机事故,对燃气轮机的燃料控制逻辑进行了分析,认为造成自动停机的主要原因是燃料控制逻辑设计不合理。提出了优化运行操作和修改DCS控制逻辑的解决方法,实施后避免了此类事件的再次发生。
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关键词
M701F型燃气轮机
叶片通道温度
自动停机
燃料量
控制逻辑
下载PDF
职称材料
码头车鞍座升降定位逻辑电路的设计
3
作者
王磊
《汽车电器》
2012年第8期13-14,17,共3页
介绍码头车鞍座升降定位部分的工作原理,以及相关逻辑电路的设计。
关键词
码头车
鞍座
自动停止
倾角传感器
逻辑电路
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职称材料
题名
各向异性腐蚀技术研究与分析
被引量:
8
1
作者
沈桂芬
吴春瑜
姚朋军
杨学昌
刘兴辉
吕品
高嵩
机构
辽宁大学物理系
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
2001年第2期140-146,共7页
文摘
本文详细分析了用各向异性腐蚀技术形成的压阻式压力传感器硅杯的几种腐蚀方法 ,根据实验提出了它们的优缺点 ,介绍了几种各向异性蚀的自致停止法和腐蚀中削角的补偿方法 ,对制造微量程、高灵敏度的压力传感器有一定的指导意义 .
关键词
各向异性腐蚀
自致停止技术
压力传感器
Keywords
anisotropic etching
\ silicon cup
\
autostop
technology
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
M701F型燃气轮机并网后叶片通道温度变化趋势大自动停机原因分析及解决方法
2
作者
姜建
蔡青春
陈愈
机构
广东惠州天然气发电有限公司
出处
《热力发电》
CAS
北大核心
2009年第6期68-70,74,共4页
文摘
针对M701F型燃气轮机并网后频繁出现叶片通道温度变化趋势大自动停机事故,对燃气轮机的燃料控制逻辑进行了分析,认为造成自动停机的主要原因是燃料控制逻辑设计不合理。提出了优化运行操作和修改DCS控制逻辑的解决方法,实施后避免了此类事件的再次发生。
关键词
M701F型燃气轮机
叶片通道温度
自动停机
燃料量
控制逻辑
Keywords
M701 F type gas turbine blade path temperature
autostop
fuel feed control logic
分类号
TK39 [动力工程及工程热物理—热能工程]
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职称材料
题名
码头车鞍座升降定位逻辑电路的设计
3
作者
王磊
机构
陕西重型汽车有限公司
出处
《汽车电器》
2012年第8期13-14,17,共3页
文摘
介绍码头车鞍座升降定位部分的工作原理,以及相关逻辑电路的设计。
关键词
码头车
鞍座
自动停止
倾角传感器
逻辑电路
Keywords
terminal truck
saddle
autostop
inclinometer
logic circuit
分类号
U463.83 [机械工程—车辆工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
各向异性腐蚀技术研究与分析
沈桂芬
吴春瑜
姚朋军
杨学昌
刘兴辉
吕品
高嵩
《传感技术学报》
CAS
CSCD
2001
8
下载PDF
职称材料
2
M701F型燃气轮机并网后叶片通道温度变化趋势大自动停机原因分析及解决方法
姜建
蔡青春
陈愈
《热力发电》
CAS
北大核心
2009
0
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职称材料
3
码头车鞍座升降定位逻辑电路的设计
王磊
《汽车电器》
2012
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
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引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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