回转内圆柱面的非拼接干涉测量方法

介绍了一个特殊结构的干涉测试方法和系统,基于Fizeau(菲索)干涉原理,通过一高精度直角圆锥镜来实现圆柱坐标系与直角坐标的转换。该系统可以用来测量360°回转圆柱的表面形貌,并且无需图像拼接,可一次性获取整周的面形数据。通过对系统主成分误差的计算分析,及Matlab软件数值仿真,建立了圆柱坐标系下的误差校正矩阵。并针对一环形样品进行实际测量,测试结果经过主成分误差校正后,与Taylor Hobson接触式圆柱度仪的测量结果一致,通过最小二乘圆(LSC)的圆度评定方法计算得到的圆度误差值十分接近。实验结果表明:该测量方法可有效地实现圆柱体整周表面形貌的测量,解决了目前回转光学元件的测量难度大、测试效率低等问题。

用锥面镜制作环形全息光栅

本文提出一种新的制作环形全息光栅的方法———即利用圆锥面镜反射波干涉获得等间距环形干涉条纹 ,并给出了圆锥面镜反射光干涉场的强度分布及环形全息光栅记录方法 ,这种环形全息光栅制作方法在光学测试、光通信器件等方面有潜在的应用前景。