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A 4H-SiC merged P–I–N Schottky with floating back-to-back diode 被引量:1
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作者 陈伟中 秦海峰 +3 位作者 许峰 王礼祥 黄义 韩郑生 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第2期660-664,共5页
A novel 4 H-Si C merged P–I–N Schottky(MPS)with floating back-to-back diode(FBD),named FBD-MPS,is proposed and investigated by the Sentaurus technology computer-aided design(TCAD)and analytical model.The FBD feature... A novel 4 H-Si C merged P–I–N Schottky(MPS)with floating back-to-back diode(FBD),named FBD-MPS,is proposed and investigated by the Sentaurus technology computer-aided design(TCAD)and analytical model.The FBD features a trench oxide and floating P-shield,which is inserted between the P+/N-(PN)junction and Schottky junction to eliminate the shorted anode effect.The FBD is formed by the N-drift/P-shield/N-drift and it separates the PN and Schottky active region independently.The FBD reduces not only the Vturn to suppress the snapback effect but also the Von at bipolar operation.The results show that the snapback can be completely eliminated,and the maximum electric field(Emax)is shifted from the Schottky junction to the FBD in the breakdown state. 展开更多
关键词 4H-SIC merged P-I-N schottky(MPS) snapback effect turnover voltage floating back-to-back diode(FBD)
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Optimization of terahertz monolithic integrated frequency multiplier based on trap-assisted physics model of THz Schottky barrier varactor
2
作者 祁路伟 孟进 +5 位作者 刘晓宇 翁祎 刘志成 张德海 周静涛 金智 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第10期308-314,共7页
The optimization of high power terahertz monolithic integrated circuit (TMIC) is systemically studied based on the physical model of the Schottky barrier varactor (SBV) with interface defects and tunneling effect. An ... The optimization of high power terahertz monolithic integrated circuit (TMIC) is systemically studied based on the physical model of the Schottky barrier varactor (SBV) with interface defects and tunneling effect. An ultra-thin dielectric layer is added to describe the extra tunneling effect and the damping of thermionic emission current induced by the interface defects. Power consumption of the dielectric layer results in the decrease of capacitance modulation ration (Cmax/Cmin), and thus leads to poor nonlinear C–V characteristics. The proposed Schottky metal-brim (SMB) terminal structure could improve the capacitance modulation ration by reducing the influence of the interface charge and eliminating the fringing capacitance effect. Finally, a 215 GHz tripler TMIC is fabricated based on the SMB terminal structure. The output power is above 5 mW at 210–218 GHz and the maximum could exceed 10 mW at 216 GHz, which could be widely used in terahertz imaging, radiometers, and so on. This paper also provides theoretical support for the SMB structure to optimize the TMIC performance. 展开更多
关键词 C-V characteristic physics-based model terahertz monolithic integrated circuit(TMIC) schottky barrier varactor
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M/P的Schottky结光伏吸收模型研究
3
作者 黄伟其 陈朝纲 《贵州教育学院学报》 2000年第2期47-48,共2页
报告了M/P的Schottky结光伏吸收特性,给出对应介层的原子团蔟新模型,较好地解释了实验结果。
关键词 原子团蔟 光伏吸收 肖特基结 M/结构 多孔硅金属膜结构
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A novel physical parameter extraction approach for Schottky diodes 被引量:1
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作者 王昊 陈星 +1 位作者 许光辉 黄卡玛 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第7期453-458,共6页
Parameter extraction is an important step for circuit simulation methods that are based on physical models of semiconductor devices. A novel physical parameter extraction approach for Schottky diodes is proposed in th... Parameter extraction is an important step for circuit simulation methods that are based on physical models of semiconductor devices. A novel physical parameter extraction approach for Schottky diodes is proposed in this paper. By employing a set of analytical formulas, this approach extracts all of the necessary physical parameters of the diode chip in a unique way. It then extracts the package parasitic parameters with a curve-fitting method. To validate the proposed approach, a model HSMS-282 c commercial Schottky diode is taken as an example. Its physical parameters are extracted and used to simulate the diode's electrical characteristics. The simulated results based on the extracted parameters are compared with the measurements and a good agreement is obtained, which verifies the feasibility and accuracy of the proposed approach. 展开更多
关键词 schottky diode parameter extraction device modeling
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Pb/PbSe Schottky 势垒结研究
5
作者 方龙森 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第1期81-86,共6页
本文对形成Ⅳ-Ⅵ族PbSe 金属-半导体肖特基势垒结之工艺和为了提高该器件的R_0A 值,将氯化物作为Pb/PbSe 界面的机理作了研究.本文还研究了具有PbCl_x 界面的PbSe 肖特基势垒结的特性模型化,同时给出了R_0,n,R_(SH),和Φ_B 等模型参数... 本文对形成Ⅳ-Ⅵ族PbSe 金属-半导体肖特基势垒结之工艺和为了提高该器件的R_0A 值,将氯化物作为Pb/PbSe 界面的机理作了研究.本文还研究了具有PbCl_x 界面的PbSe 肖特基势垒结的特性模型化,同时给出了R_0,n,R_(SH),和Φ_B 等模型参数的提取方法.测量表明具有界面层的Pb/PbSe势垒结显示了良好的电学性能. 展开更多
关键词 界面层 肖特基势垒结 PB PBSE
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Analytical Model for GaAs MESFET with High Pinchoff Voltage
6
作者 Chahrazed Kaddour Cherifa Azizi Saade Edine Khemissi Mourad Zaabat Yasemina Saidi 《材料科学与工程(中英文A版)》 2013年第12期853-858,共6页
关键词 MESFET器件 夹断电压 GAAS 金属半导体场效应晶体管 解析模型 移动特性 电子电路 静态模型
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高效170GHz平衡式肖特基二极管倍频器 被引量:12
7
作者 何月 蒋均 +3 位作者 陆彬 陈鹏 黄昆 黄维 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第1期210-217,共8页
太赫兹源的输出功率是限制太赫兹技术远距离应用的重要参数。为了实现高效的太赫兹倍频器,基于高频特性下肖特基二极管的有源区电气模型建模方法,利用指标参数不同的两种肖特基二极管,研制出了两种170 GHz平衡式倍频器。所采用的肖特基... 太赫兹源的输出功率是限制太赫兹技术远距离应用的重要参数。为了实现高效的太赫兹倍频器,基于高频特性下肖特基二极管的有源区电气模型建模方法,利用指标参数不同的两种肖特基二极管,研制出了两种170 GHz平衡式倍频器。所采用的肖特基二极管有源结区模型完善地考虑了二极管IV特性,载流子饱和速率限制,直流串联电阻以及趋肤效应等特性。通过对两种倍频器仿真结果进行对比,完备地分析了二极管主要指标参数对倍频器性能的影响。最后测试结果显示两种平衡式170 GHz倍频器在155~178 GHz工作带宽内的最高倍频效率分别大于11%和24%,最高输出功率分别大于15 m W和25 m W。从仿真和测试结果表示,采用的肖特基二极管建模方法和平衡式倍频器结构适用于研制高效的太赫兹倍频器。 展开更多
关键词 太赫兹 肖特基二极管模型 倍频器 平衡结构
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250GHz太赫兹谐波混频器设计 被引量:7
8
作者 何月 黄昆 +2 位作者 缪丽 邓贤进 钟伟 《微波学报》 CSCD 北大核心 2015年第S1期69-72,共4页
太赫兹变频组件是实现太赫兹成像和通信应用的关键器件。本文中介绍了基于hammer-head滤波器紧凑结构,结合肖特结二极管的三维模型和电气模型,设计低变频损耗250GHz太赫兹谐波混频器的方法。在高倍光学显微镜的精准测量下,建立尺寸可以... 太赫兹变频组件是实现太赫兹成像和通信应用的关键器件。本文中介绍了基于hammer-head滤波器紧凑结构,结合肖特结二极管的三维模型和电气模型,设计低变频损耗250GHz太赫兹谐波混频器的方法。在高倍光学显微镜的精准测量下,建立尺寸可以跟信号波长相比拟的二极管三维模型,准确模拟二极管的高频特性以提高电磁仿真精度。为了进一步降低太赫兹混频器的变频损耗,文中除了采用紧凑型的hammer-head滤波器结构外,同时通过波导探针直接实现与二极管阻抗的匹配,简化了混频器的结构降低谐波信号传输线损,从而降低太赫兹谐波混频器的变频损耗。最终仿真结果表明,250GHz谐波混频器在3d Bm的本振功率驱动下,在230~270GHz射频范围内,变频损耗(SSB)均小于6.8d B,最低变频小于6.2d B,中频带宽大于20GHz。 展开更多
关键词 太赫兹 谐波分析 肖特基二极管 器件建模
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340 GHz基于肖特基二极管未匹配电路倍频源(英文) 被引量:8
9
作者 蒋均 张健 +4 位作者 邓贤进 缪丽 康小克 张香波 黄维 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第12期4028-4034,共7页
太赫兹技术是一个新兴的交叉研究领域。在过去20年,太赫兹技术有了巨大的发展。倍频器是太赫兹差分接收机重要技术,主要运用在天文、大气和行星科学射频前端。太赫兹空白的存在主要因素是缺少高效太赫兹源和探测器。通过倍频器技术和放... 太赫兹技术是一个新兴的交叉研究领域。在过去20年,太赫兹技术有了巨大的发展。倍频器是太赫兹差分接收机重要技术,主要运用在天文、大气和行星科学射频前端。太赫兹空白的存在主要因素是缺少高效太赫兹源和探测器。通过倍频器技术和放大技术,可以得到高稳定低相噪的倍频源。340 GHz是太赫兹大气传输窗口之一,所以340 GHz倍频源能够运用在各种通信成像系统中。肖特基二极管倍频源可以工作在常温和低温下。倍频器是倍频链路最关键的部分。通过理论分析和3D电磁仿真设计了一个340 GHz倍频器。实验得到最大输出功率为4.8dBm,最大效率为3%,在331-354.5GHz输出功率大于0dBm。实验结果证明电路仿真和建模的可行性。 展开更多
关键词 太赫兹技术 倍频 仿真模型 倍频效率 倍频源 肖特基二极管 平衡倍频器
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L1_2-Al_3Li金属间化合物点缺陷浓度的第一原理计算 被引量:8
10
作者 孙顺平 李小平 +4 位作者 于赟 卢雅琳 臧冰 易丹青 江勇 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期370-378,共9页
运用第一原理平面波赝势方法计算L12-Al3Li金属间化合物点缺陷的形成焓,并结合Wagner–Schottky模型,研究L12-Al3Li金属间化合物在523、673、823和1 000 K时点缺陷浓度与成分之间的关系。结果表明:在这4个温度下,L12-Al3Li金属间化合物... 运用第一原理平面波赝势方法计算L12-Al3Li金属间化合物点缺陷的形成焓,并结合Wagner–Schottky模型,研究L12-Al3Li金属间化合物在523、673、823和1 000 K时点缺陷浓度与成分之间的关系。结果表明:在这4个温度下,L12-Al3Li金属间化合物中Al空位浓度最小,Li空位浓度次之,Al反位和Li反位的缺陷浓度较大。Al反位和Li反位缺陷浓度在理想金属间化合物Al3Li化学计量比成分处基本相同,不过两种反位的缺陷浓度随着合金成分相对于化学计量比成分的偏离而变化显著,在富Al端Al反位缺陷浓度较大,在富Li端Li反位缺陷浓度较大。运用Arrhenius方程计算点缺陷的有效形成焓,结果显示Al反位和Li反位的有效形成焓较小且基本相同,Li空位次之,Al空位最大。 展开更多
关键词 Al3Li金属间化合物 第一原理计算 点缺陷浓度 形成焓 Wagner–schottky模型
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金属与半导体肖特基接触势垒模型及其载流子传输机制的研究进展 被引量:4
11
作者 李亚鹏 李颖峰 +3 位作者 贺志荣 郭从盛 闫群民 徐峰 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期57-62,共6页
肖特基结具有整流特性,在整流器和光电检测等电子元器件制造中有极其重要的应用,重点介绍了相关研究人员在金属与半导体肖特基接触势垒的形成机理、相关数学模型及其影响因素等方面的研究进展。有研究表明,肖特基势垒的形成主要是由于... 肖特基结具有整流特性,在整流器和光电检测等电子元器件制造中有极其重要的应用,重点介绍了相关研究人员在金属与半导体肖特基接触势垒的形成机理、相关数学模型及其影响因素等方面的研究进展。有研究表明,肖特基势垒的形成主要是由于费米能级的钉扎,而费米能级钉扎则源于界面新相的形成或界面极化键的存在。同时,在肖特基势垒的相关模型中,热电子激发模型是目前应用最为广泛的、用于解释界面载流子传输机制的肖特基接触势垒模型。随着对接触界面载流子传输机制的深入研究,热发射-扩散、热场发射等载流子传输机制模型相继被研究者提出。另外,相关研究表明,快速退火处理可导致肖特基接触界面处的原子扩散、重排、新相生成等现象,对肖特基接触的稳定性产生重要影响。 展开更多
关键词 肖特基结 势垒模型 载流子传输机制 接触界面 快速退火
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金属间化合物L1_0-TiAl点缺陷浓度的第一原理 被引量:5
12
作者 陶辉锦 孙顺平 +3 位作者 张铖铖 陈图 罗伟 江勇 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期2789-2797,共9页
采用第一原理平面波赝势方法,结合Wagner-Schottky缺陷热力学模型,研究金属间化合物L10-TiAl中各种空位和反位点缺陷的形成焓、热力学平衡浓度及其相互作用等。结果表明:这些缺陷的热力学平衡浓度均随温度的升高而增大,其中反位缺陷浓... 采用第一原理平面波赝势方法,结合Wagner-Schottky缺陷热力学模型,研究金属间化合物L10-TiAl中各种空位和反位点缺陷的形成焓、热力学平衡浓度及其相互作用等。结果表明:这些缺陷的热力学平衡浓度均随温度的升高而增大,其中反位缺陷浓度均高于空位缺陷浓度,Ti空位浓度高于Al空位浓度。在理想化学计量比成分下,Ti反位缺陷的浓度与Al反位缺陷的基本相当;在略偏离计量比的富Ti成分端,Ti反位缺陷的浓度高于Al反位缺陷的;在富Al成分端则相反。不同点缺陷之间均普遍存在相互排斥性,难以聚集,将倾向于向基体中分散和扩散。 展开更多
关键词 L10-TiAl金属间化合物 点缺陷浓度 形成焓 第一原理 Wagner-schottky模型
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脉冲激光沉积技术制备的钪型阴极的发射性能 被引量:4
13
作者 彭真 阴生毅 +3 位作者 郑强 王欣欣 王宇 李阳 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2014年第3期754-757,共4页
为提高阴极的发射性能以满足新型器件的需求,该文利用脉冲激光沉积技术制备了一种覆W+BaOSc2O3-SrO薄膜的浸渍扩散阴极。实验测得了该阴极在不同温度下的伏安特性曲线,并探讨了发射机制。结果表明,在1100?C工作温度下,该阴极的零场发射... 为提高阴极的发射性能以满足新型器件的需求,该文利用脉冲激光沉积技术制备了一种覆W+BaOSc2O3-SrO薄膜的浸渍扩散阴极。实验测得了该阴极在不同温度下的伏安特性曲线,并探讨了发射机制。结果表明,在1100?C工作温度下,该阴极的零场发射电流密度达到305.5 A/cm2;阴极表面形成的Ba-Sc-Sr-O活性层是阴极获得高发射性能的主要原因。文章还利用半导体模型解释了该阴极的非正常肖特基效应。 展开更多
关键词 钪型阴极 半导体模型 脉冲激光沉积 非正常肖特基效应
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基于分立器件和石英基片的0.68 THz和1.00 THz三倍频器(英文) 被引量:1
14
作者 蒋均 陈鹏 +4 位作者 何月 田遥岭 郝海龙 成彬彬 林长星 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期154-159,共6页
介绍了基于反向平衡式二极管和石英基片完成,而非集成电路的0. 68 THz和1. 00 THz频段平衡式三倍频.此项工作提高了二极管等效电路模型,该二极管模型不仅包括I/V和C/V,同时还加入了等离子体共振和趋肤效应,将薄膜电路减薄至15μm,机械... 介绍了基于反向平衡式二极管和石英基片完成,而非集成电路的0. 68 THz和1. 00 THz频段平衡式三倍频.此项工作提高了二极管等效电路模型,该二极管模型不仅包括I/V和C/V,同时还加入了等离子体共振和趋肤效应,将薄膜电路减薄至15μm,机械加工精度提高至3μm内,使工作频率提高至1. 2 THz.通过场路协同仿真,利用高精度太赫兹装配工艺,最终实现工作频率为0. 68 THz和倍频效率为1%的三倍频器,工作频率为1. 00 THz和倍频效率为0. 6%的三倍频器,输出相对带宽均大于10%. 展开更多
关键词 太赫兹 平衡式三倍频 肖特基二极管 LEC模型 反向平衡二极管 石英基片
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基于肖特基阻性二极管的140 GHz二倍频器 被引量:1
15
作者 王成 蒋均 +1 位作者 缪丽 邓贤进 《太赫兹科学与电子信息学报》 2013年第6期842-846,852,共6页
介绍了一种基于肖特基阻性二极管的140 GHz二倍频器,该倍频器采用矩形波导内嵌石英基片微带电路,通过四肖特基结正向并联结构提高驱动功率承受能力。倍频设计中应用了自建精确二极管三维电磁模型、宽带电磁耦合结构和宽带阻抗匹配结构,... 介绍了一种基于肖特基阻性二极管的140 GHz二倍频器,该倍频器采用矩形波导内嵌石英基片微带电路,通过四肖特基结正向并联结构提高驱动功率承受能力。倍频设计中应用了自建精确二极管三维电磁模型、宽带电磁耦合结构和宽带阻抗匹配结构,以提高仿真结果和实际器件的吻合度。测试结果表明:在频率为65 GHz^75 GHz,功率为20 dBm的驱动信号激励下,二倍频器输出频率为130 GHz^150 GHz,输出功率为3.3 dBm^8.0 dBm,倍频损耗为11.7 dB^16.3 dB。在23 dBm^24 dBm的最大驱动功率激励下,倍频器最大输出功率达11.2 dBm/136 GHz,基本达到了成像雷达的应用性能指标。 展开更多
关键词 太赫兹 二倍频器 肖特基二极管 阻性管 器件建模
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220GHz GaAs单片集成分谐波混频器 被引量:1
16
作者 杨大宝 赵向阳 +2 位作者 刘波 邢东 冯志红 《半导体技术》 CAS 北大核心 2022年第11期886-890,共5页
基于在30μm厚的GaAs衬底上开发的平面肖特基二极管,设计了220 GHz GaAs单片集成分谐波混频器。考虑了二极管外形结构对电磁波传输的影响,采用场路结合联合仿真的经典方法建立二极管模型来仿真其电性能,并利用这一模型在非线性电路仿真... 基于在30μm厚的GaAs衬底上开发的平面肖特基二极管,设计了220 GHz GaAs单片集成分谐波混频器。考虑了二极管外形结构对电磁波传输的影响,采用场路结合联合仿真的经典方法建立二极管模型来仿真其电性能,并利用这一模型在非线性电路仿真软件中对混频器的性能进行仿真和优化。制作的220 GHz分谐波混频器模块在本振频率为110 GHz、输入功率为6 dBm的条件下进行测试。结果表明,在射频频率210~220 GHz内,混频器模块的单边带变频损耗小于11 dB,在220 GHz处具有最小变频损耗,为7.2 dB。 展开更多
关键词 单片集成电路 分谐波混频器 肖特基二极管 建模 变频损耗
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SiC肖特基二极管的物理模型参数提取 被引量:2
17
作者 方春恩 吕柔睿 +2 位作者 张彼德 李伟 刘曦 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2017年第6期441-447,共7页
碳化硅(SiC)作为新型材料,在高温、高频和大功率等领域中具有很大的潜力。SiC功率半导体器件在电力电子电路中应用广泛,提取精确的物理模型参数对电力电子电路设计尤为重要。在对SiC肖特基二极管动态特性及其物理模型的分析基础上,确定... 碳化硅(SiC)作为新型材料,在高温、高频和大功率等领域中具有很大的潜力。SiC功率半导体器件在电力电子电路中应用广泛,提取精确的物理模型参数对电力电子电路设计尤为重要。在对SiC肖特基二极管动态特性及其物理模型的分析基础上,确定了其关键的模型参数。结合Matlab和Saber仿真软件,对仿真波形和实验波形进行了对比,并以仿真波形和实验波形的相关系数及迭代次数为目标函数来改进粒子群算法,以改进粒子群优化(IPSO)算法对SiC肖特基二极管内部关键模型参数进行优化辨识。最后,针对IDW30G65C5型号的整流二极管,提取了精确的模型参数,并验证了其有效性。 展开更多
关键词 SIC 肖特基二极管 参数提取 物理模型 改进粒子群算法(IPSO)
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基于MATLAB的SiC肖特基二极管气体传感器模拟
18
作者 钟德刚 徐静平 +3 位作者 张旭 喻骞宇 刘志波 于军 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期6-8,共3页
提出了SiC-SBD气体传感器器件分析模型,利用当前流行的MATLAB强大的计算编程功能,模拟了SiC-SBD气体传感器的电流-电压特性,结果与实验数据吻合很好,较好地解释了Pd-SiC肖特基二极管比较灵敏的原因,并根据模拟结果提出了提高传感器灵敏... 提出了SiC-SBD气体传感器器件分析模型,利用当前流行的MATLAB强大的计算编程功能,模拟了SiC-SBD气体传感器的电流-电压特性,结果与实验数据吻合很好,较好地解释了Pd-SiC肖特基二极管比较灵敏的原因,并根据模拟结果提出了提高传感器灵敏度的方法。 展开更多
关键词 碳化硅 肖特基二极管 气体传感器 MATLAB 模型
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基底对染料敏化太阳电池J-U特性的影响 被引量:2
19
作者 倪萌 LEUNG Michael 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第8期668-671,共4页
根据肖特基理论和电子在半导体中的扩散理论,建立了模拟染料敏化太阳电池(DSSC)J-U特性的理论模型,分析了透明导电氧化物(TCO)基底材料的选择对J-U特性的影响。研究表明,TCO与TiO2界面形成的肖特基结对DSSC开路电压(UOC)和短路电流密度(... 根据肖特基理论和电子在半导体中的扩散理论,建立了模拟染料敏化太阳电池(DSSC)J-U特性的理论模型,分析了透明导电氧化物(TCO)基底材料的选择对J-U特性的影响。研究表明,TCO与TiO2界面形成的肖特基结对DSSC开路电压(UOC)和短路电流密度(JSC)没有影响,但对填充因子(Fillfactor)有较大影响。当TiO2/TCO的肖特基势垒(Eb)大于0.6eV时,DSSC的最大功率输出值随Eb的增大而明显降低。模型结果与文献报道的实验结果一致。该模型研究为DSSC基底材料的选取提供了理论依据,并适用于除TiO2之外的其他半导体材料。 展开更多
关键词 染料敏化太阳电池(DSSC) 基底 肖特基势垒 理论模型 填充因子 最大功率输出点
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4H-SiC MESFET肖特基栅接触的界面参数提取(英文)
20
作者 吕红亮 张义门 +2 位作者 张玉明 车勇 孙明 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期458-460,共3页
研究了界面态对4H-SiCMESFET的肖特基栅接触的影响.栅接触工艺主要采用Ti/Pt/Au蒸发,经过剥离后形成.基于热电子理论提出了一种参数提取方法,得到界面态密度和界面电容分别为4.386×1013cm-2.eV-1和6.394×10-6F/cm2,这与测量... 研究了界面态对4H-SiCMESFET的肖特基栅接触的影响.栅接触工艺主要采用Ti/Pt/Au蒸发,经过剥离后形成.基于热电子理论提出了一种参数提取方法,得到界面态密度和界面电容分别为4.386×1013cm-2.eV-1和6.394×10-6F/cm2,这与测量得到的器件端特性一致. 展开更多
关键词 碳化硅 肖特基接触 表面态 器件模型
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