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晶片氧化工艺高温炉动态温度巡踪仪设计 被引量：1
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作者 朱品昌 李传江 倪继锋 《机械与电子》 2007年第11期28-30,共3页
传统温差热电偶温度测控,存在着高温炉内温度均匀度差和动态温度一致性差,达不到高精度温度测控要求的问题,运用DS18B20单线数字温度传感器与AT89C2051单片机设计的高温炉动态温度巡踪仪,能实时精确监控高温炉内单点或多点的温度值,给... 传统温差热电偶温度测控,存在着高温炉内温度均匀度差和动态温度一致性差,达不到高精度温度测控要求的问题,运用DS18B20单线数字温度传感器与AT89C2051单片机设计的高温炉动态温度巡踪仪,能实时精确监控高温炉内单点或多点的温度值,给出了功能电路及程序流程,并作了实测结果分析. 展开更多
关键词 DS18820单线数字温度传感器 热风 循环高温炉 动态温度检测 温差热电偶
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