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含InGaAsP的InP DHBT复合式集电区结构设计
被引量:
3
1
作者
程伟
金智
+1 位作者
于进勇
刘新宇
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期943-946,共4页
为了降低InPDHBT的B-C之间的导带势垒,抑制电流阻挡效应,采用了一种含InGaAsP的复合式集电区结构.第一次从理论上分析了此种类型的复合式集电区各个参数对于DHBT性能的影响并给出了优化方案,为此类型的复合式集电区结构的设计提供了理...
为了降低InPDHBT的B-C之间的导带势垒,抑制电流阻挡效应,采用了一种含InGaAsP的复合式集电区结构.第一次从理论上分析了此种类型的复合式集电区各个参数对于DHBT性能的影响并给出了优化方案,为此类型的复合式集电区结构的设计提供了理论指导和设计参考.基于文中所述的理论,对文献中的数据进行了分析,得到了令人满意的结果.
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关键词
INP/INGAAS
HBT
复合式集电区
势垒尖峰
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职称材料
带有复合掺杂层集电区的InP/InGaAs/InP DHBT直流特性分析
被引量:
1
2
作者
孙浩
齐鸣
+5 位作者
徐安怀
艾立鹍
苏树兵
刘新宇
刘训春
钱鹤
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第8期1431-1435,共5页
设计了一种新结构InP/InGaAs/InP双异质结双极晶体管(DHBT),在集电区与基区之间插入n+-InP层,以降低集电结的导带势垒尖峰,克服电流阻挡效应.采用基于热场发射和连续性方程的发射透射模型,计算了n+-InP插入层掺杂浓度和厚度对InP/InGaAs...
设计了一种新结构InP/InGaAs/InP双异质结双极晶体管(DHBT),在集电区与基区之间插入n+-InP层,以降低集电结的导带势垒尖峰,克服电流阻挡效应.采用基于热场发射和连续性方程的发射透射模型,计算了n+-InP插入层掺杂浓度和厚度对InP/InGaAs/InPDHBT集电结导带有效势垒高度和I-V特性的影响.结果表明,当n+-InP插入层掺杂浓度为3×1019cm-3、厚度为3nm时,可以获得较好的器件特性.采用气态源分子束外延(GSMBE)技术成功地生长出InP/InGaAs/InPDHBT结构材料.器件研制结果表明,所设计的DHBT材料结构能有效降低集电结的导带势垒尖峰,显著改善器件的输出特性.
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关键词
INP/INGAAS
异质结双极晶体管
复合集电区
掺杂
势垒尖峰
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职称材料
带复合掺杂层的InP基HBT新结构
3
作者
江琳琳
李轶群
+3 位作者
崔海林
黄辉
黄永清
任晓敏
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期220-222,共3页
对用于光电集成(OEIC)的InP基异质结双极性晶体管(HBT)进行了分析,提出了一种新的集电区外延结构,该结构在集电极区和次集电区之间插入一层特定厚度的p-InGaAs和两层特定厚度但不同掺杂浓度的n-InP层,从仿真结果出发对各种不同结构做出...
对用于光电集成(OEIC)的InP基异质结双极性晶体管(HBT)进行了分析,提出了一种新的集电区外延结构,该结构在集电极区和次集电区之间插入一层特定厚度的p-InGaAs和两层特定厚度但不同掺杂浓度的n-InP层,从仿真结果出发对各种不同结构做出分析,发现这种新结构克服了双异质结双极晶体管的电流阻挡效应,同时很好地解决了传统的双HBT(DHBT)的电子堆积效应和SHBT反向击穿电压低的问题。
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关键词
异质结双极晶体管
复合集电区
势垒尖峰
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职称材料
BCD工艺中的NMOS管结漏电问题的研究
被引量:
1
4
作者
陈志勇
黄其煜
龚大卫
《电子与封装》
2006年第7期39-43,共5页
针对BCD工艺中出现的NMOS管结漏电问题进行研究,通过失效分析的方法发现有结穿刺现象,怀疑为金属阻挡层工艺窗口较小。为进一步调查金属阻挡层的工艺容宽,尝试采用了苛刻的多次合金的方法对当前使用的阻挡层进行考察,发现经过多次合金...
针对BCD工艺中出现的NMOS管结漏电问题进行研究,通过失效分析的方法发现有结穿刺现象,怀疑为金属阻挡层工艺窗口较小。为进一步调查金属阻挡层的工艺容宽,尝试采用了苛刻的多次合金的方法对当前使用的阻挡层进行考察,发现经过多次合金处理的产品成品率大幅下降,从而确认金属阻挡层的工艺容宽较小。为了改进工艺进行准直溅射阻挡层、不同的金属阻挡层厚度、RTP、小应力阻挡层等试验,并结合多次合金的方法对阻挡层进行了考核。实验结果表明,应力过大是NMOS管漏电的根本原因。最后研发出一种优化的小应力阻挡层菜单,并成功应用于BCD工艺量产中。
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关键词
结穿刺
结漏电
阻挡层
应力
可靠性
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职称材料
新γ-氨基丁酸拟似剂抗癫痫效应的实验研究
5
作者
彭亮
多耀祥
+1 位作者
朱子桥
刘培毅
《天津医科大学学报》
1998年第4期317-319,共3页
目的:研制一种能通过血脑屏障的抗癫痫新药。方法:向兔癫痫模型耳缘静脉内注射4mlBDEGABA(新γ氨基丁酸拟似剂β2乙基γ氨基丁酸)生理溶液后,观察疗效。结果:BDEGABA可明显抑制癫痫动物模型的癫痫发作...
目的:研制一种能通过血脑屏障的抗癫痫新药。方法:向兔癫痫模型耳缘静脉内注射4mlBDEGABA(新γ氨基丁酸拟似剂β2乙基γ氨基丁酸)生理溶液后,观察疗效。结果:BDEGABA可明显抑制癫痫动物模型的癫痫发作和脑电图的癫样棘状波的振幅和频率(与对照组比较在统计学上有显著性差异)。结论:BDEGABA可通过血脑屏障,发挥明显的抗癫痫作用。
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关键词
抗癫痫作用
Γ-氨基丁酸
血脑屏障
拟似剂
新药
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职称材料
题名
含InGaAsP的InP DHBT复合式集电区结构设计
被引量:
3
1
作者
程伟
金智
于进勇
刘新宇
机构
中国科学院微电子研究所
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期943-946,共4页
文摘
为了降低InPDHBT的B-C之间的导带势垒,抑制电流阻挡效应,采用了一种含InGaAsP的复合式集电区结构.第一次从理论上分析了此种类型的复合式集电区各个参数对于DHBT性能的影响并给出了优化方案,为此类型的复合式集电区结构的设计提供了理论指导和设计参考.基于文中所述的理论,对文献中的数据进行了分析,得到了令人满意的结果.
关键词
INP/INGAAS
HBT
复合式集电区
势垒尖峰
Keywords
InP/InGaAs
HBT
composite collector
barrier spike
分类号
TN322.8 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
带有复合掺杂层集电区的InP/InGaAs/InP DHBT直流特性分析
被引量:
1
2
作者
孙浩
齐鸣
徐安怀
艾立鹍
苏树兵
刘新宇
刘训春
钱鹤
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室
中国科学院微电子研究所
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第8期1431-1435,共5页
基金
国家重点基础研究发展规划资助项目(批准号:2002CB311902)~~
文摘
设计了一种新结构InP/InGaAs/InP双异质结双极晶体管(DHBT),在集电区与基区之间插入n+-InP层,以降低集电结的导带势垒尖峰,克服电流阻挡效应.采用基于热场发射和连续性方程的发射透射模型,计算了n+-InP插入层掺杂浓度和厚度对InP/InGaAs/InPDHBT集电结导带有效势垒高度和I-V特性的影响.结果表明,当n+-InP插入层掺杂浓度为3×1019cm-3、厚度为3nm时,可以获得较好的器件特性.采用气态源分子束外延(GSMBE)技术成功地生长出InP/InGaAs/InPDHBT结构材料.器件研制结果表明,所设计的DHBT材料结构能有效降低集电结的导带势垒尖峰,显著改善器件的输出特性.
关键词
INP/INGAAS
异质结双极晶体管
复合集电区
掺杂
势垒尖峰
Keywords
InP/InGaAs
heterojunction bipolar transistor
composite collector
doping
barrier spike
分类号
TN322.8 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
带复合掺杂层的InP基HBT新结构
3
作者
江琳琳
李轶群
崔海林
黄辉
黄永清
任晓敏
机构
北京邮电大学光通信与光波技术教育部重点实验室
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期220-222,共3页
基金
国家973项目(2003CB314901)
国家自然基金重点项目(90601002)
+1 种基金
国家高等学校学科创新引智计划项目(B07005)
北京市教育委员会共建项目(XK100130637)
文摘
对用于光电集成(OEIC)的InP基异质结双极性晶体管(HBT)进行了分析,提出了一种新的集电区外延结构,该结构在集电极区和次集电区之间插入一层特定厚度的p-InGaAs和两层特定厚度但不同掺杂浓度的n-InP层,从仿真结果出发对各种不同结构做出分析,发现这种新结构克服了双异质结双极晶体管的电流阻挡效应,同时很好地解决了传统的双HBT(DHBT)的电子堆积效应和SHBT反向击穿电压低的问题。
关键词
异质结双极晶体管
复合集电区
势垒尖峰
Keywords
heterojunction bipolar transistor (HBT)
composite collector
barrier spike
分类号
TN306.3 [电子电信—物理电子学]
TN385 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
BCD工艺中的NMOS管结漏电问题的研究
被引量:
1
4
作者
陈志勇
黄其煜
龚大卫
机构
上海交通大学微电子学院
上海先进半导体制造股份有限公司
出处
《电子与封装》
2006年第7期39-43,共5页
文摘
针对BCD工艺中出现的NMOS管结漏电问题进行研究,通过失效分析的方法发现有结穿刺现象,怀疑为金属阻挡层工艺窗口较小。为进一步调查金属阻挡层的工艺容宽,尝试采用了苛刻的多次合金的方法对当前使用的阻挡层进行考察,发现经过多次合金处理的产品成品率大幅下降,从而确认金属阻挡层的工艺容宽较小。为了改进工艺进行准直溅射阻挡层、不同的金属阻挡层厚度、RTP、小应力阻挡层等试验,并结合多次合金的方法对阻挡层进行了考核。实验结果表明,应力过大是NMOS管漏电的根本原因。最后研发出一种优化的小应力阻挡层菜单,并成功应用于BCD工艺量产中。
关键词
结穿刺
结漏电
阻挡层
应力
可靠性
Keywords
junction spiking
junction leakage
barrier
layer
stress
reliability
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
新γ-氨基丁酸拟似剂抗癫痫效应的实验研究
5
作者
彭亮
多耀祥
朱子桥
刘培毅
机构
天津医科大学生理教研室
天津医科大学有机化学教研室
出处
《天津医科大学学报》
1998年第4期317-319,共3页
基金
天津市教委资助课题
文摘
目的:研制一种能通过血脑屏障的抗癫痫新药。方法:向兔癫痫模型耳缘静脉内注射4mlBDEGABA(新γ氨基丁酸拟似剂β2乙基γ氨基丁酸)生理溶液后,观察疗效。结果:BDEGABA可明显抑制癫痫动物模型的癫痫发作和脑电图的癫样棘状波的振幅和频率(与对照组比较在统计学上有显著性差异)。结论:BDEGABA可通过血脑屏障,发挥明显的抗癫痫作用。
关键词
抗癫痫作用
Γ-氨基丁酸
血脑屏障
拟似剂
新药
Keywords
Epilepsy
β diethyl γ aminobutyric acid(BDEGABA)
Epilepsylike
spike
s
Blood brain
barrier
分类号
R971.6 [医药卫生—药品]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
含InGaAsP的InP DHBT复合式集电区结构设计
程伟
金智
于进勇
刘新宇
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
3
下载PDF
职称材料
2
带有复合掺杂层集电区的InP/InGaAs/InP DHBT直流特性分析
孙浩
齐鸣
徐安怀
艾立鹍
苏树兵
刘新宇
刘训春
钱鹤
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
下载PDF
职称材料
3
带复合掺杂层的InP基HBT新结构
江琳琳
李轶群
崔海林
黄辉
黄永清
任晓敏
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008
0
下载PDF
职称材料
4
BCD工艺中的NMOS管结漏电问题的研究
陈志勇
黄其煜
龚大卫
《电子与封装》
2006
1
下载PDF
职称材料
5
新γ-氨基丁酸拟似剂抗癫痫效应的实验研究
彭亮
多耀祥
朱子桥
刘培毅
《天津医科大学学报》
1998
0
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职称材料
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