钟罩式硅烷反应器内流动与传热的数值模拟

针对硅烷热分解生产多晶硅的过程,建立了基于动量、质量、能量同时传递并耦合硅烷热分解反应的硅烷-氢气化学气相沉积模型,采用计算流体力学方法分析了传统钟罩式硅烷反应器内的流场、温度场和浓度场。针对普通反应器内存在的死区以及沉积速率不均匀的问题,提出了新型的带出气筒的反应器结构,并对结构进行了数值模拟。计算结果表明,与普通钟罩式硅烷反应器相比,新型反应器的流场、温度场以及硅烷浓度分布更加合理,有效减小了反应器内的漩涡,缓解了气体在进出口间的"短路"现象,使硅棒表面的沉积速率更加均匀。

异丙醇反应器钟罩撕裂的原因分析

异丙醇反应器钟罩堵塞,造成钟罩内外压差过大,导致钟罩撕裂。利用现有的分析手段对堵塞物进行分析,确定堵塞物的主要成分是砷化铜。原料丙烯中所含的砷化氢与铜质钟罩在特定条件下形成了砷化铜。