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碳化硼球面薄膜及空心微球的制备
被引量:
5
1
作者
于小河
卢铁城
+3 位作者
林涛
王自磊
陶勇
廖志君
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第12期1325-1330,共6页
采用电子束蒸发镀膜技术,结合磁控滚动方法在φ1 mm的钢球基底上制备碳化硼球面膜层,通过退火、打孔及腐蚀获得碳化硼空心微球.主要研究了球面膜层的宏观形貌、微观结构、成分及初步探讨了不同退火温度(800~1100℃)对核膜结构空心化...
采用电子束蒸发镀膜技术,结合磁控滚动方法在φ1 mm的钢球基底上制备碳化硼球面膜层,通过退火、打孔及腐蚀获得碳化硼空心微球.主要研究了球面膜层的宏观形貌、微观结构、成分及初步探讨了不同退火温度(800~1100℃)对核膜结构空心化的影响.利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱分析(XPS)、原子力显微镜(AFM)对球面薄膜表面形态和薄膜元素组成进行了分析.结果表明:磁控滚动模式制备的球面膜层表面平整,没有裂纹和孔洞,元素分布均匀.核膜结构(镀膜时间在5~70 h)经900℃以上温度退火,空心化后的球面膜层可实现自支撑,900℃退火的微球表面形貌最好,壁厚可达10μm以上.
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关键词
电子束真空蒸发
磁控滚动方法
碳化硼球面薄膜
碳化硼空心微球
下载PDF
职称材料
题名
碳化硼球面薄膜及空心微球的制备
被引量:
5
1
作者
于小河
卢铁城
林涛
王自磊
陶勇
廖志君
机构
四川大学物理系辐射物理及技术教育部重点实验室
中国科学院国际材料物理中心
四川大学高能量密度与物理技术教育部重点实验室
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第12期1325-1330,共6页
文摘
采用电子束蒸发镀膜技术,结合磁控滚动方法在φ1 mm的钢球基底上制备碳化硼球面膜层,通过退火、打孔及腐蚀获得碳化硼空心微球.主要研究了球面膜层的宏观形貌、微观结构、成分及初步探讨了不同退火温度(800~1100℃)对核膜结构空心化的影响.利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱分析(XPS)、原子力显微镜(AFM)对球面薄膜表面形态和薄膜元素组成进行了分析.结果表明:磁控滚动模式制备的球面膜层表面平整,没有裂纹和孔洞,元素分布均匀.核膜结构(镀膜时间在5~70 h)经900℃以上温度退火,空心化后的球面膜层可实现自支撑,900℃退火的微球表面形貌最好,壁厚可达10μm以上.
关键词
电子束真空蒸发
磁控滚动方法
碳化硼球面薄膜
碳化硼空心微球
Keywords
electron beam vacuum evaporation
magnetron rolling method
boron carbide spherical films
boroncarbide hollow micro-shells
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
碳化硼球面薄膜及空心微球的制备
于小河
卢铁城
林涛
王自磊
陶勇
廖志君
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
5
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职称材料
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