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FinFET器件总剂量效应研究进展 被引量:1
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作者 张峰源 李博 +5 位作者 刘凡宇 杨灿 黄杨 张旭 罗家俊 韩郑生 《微电子学》 CAS 北大核心 2020年第6期875-884,共10页
全面综述鳍式场效应晶体管(FinFET)的总剂量效应,包括辐照期间外加偏置、器件的工艺参数、提高器件驱动能力的特殊工艺、源/漏掺杂类型以及不同栅介质材料和新沟道材料与FinFET总剂量效应的关系。对于小尺寸器件,绝缘体上硅(SOI)FinFET... 全面综述鳍式场效应晶体管(FinFET)的总剂量效应,包括辐照期间外加偏置、器件的工艺参数、提高器件驱动能力的特殊工艺、源/漏掺杂类型以及不同栅介质材料和新沟道材料与FinFET总剂量效应的关系。对于小尺寸器件,绝缘体上硅(SOI)FinFET比体硅FinFET具有更强的抗总剂量能力,更适合于高性能抗辐照的集成电路设计。此外,一些新的栅介质材料和一些新的沟道材料的引入,如HfO2和Ge,可以进一步提高FinFET器件的抗总剂量能力。 展开更多
关键词 总剂量效应 体硅finfet器件 soi finfet器件 新材料
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The Bipolar Field-Effect Transistor:XⅢ. Physical Realizations of the Transistor and Circuits(One-Two-MOS-Gates on Thin-Thick Pure-Impure Base)
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作者 薩支唐 揭斌斌 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期1-12,共12页
This paper reports the physical realization of the Bipolar Field-Effect Transistor (BiFET) and its onetransistor basic building block circuits. Examples are given for the one and two MOS gates on thin and thick, pur... This paper reports the physical realization of the Bipolar Field-Effect Transistor (BiFET) and its onetransistor basic building block circuits. Examples are given for the one and two MOS gates on thin and thick, pure and impure base, with electron and hole contacts, and the corresponding theoretical current-voltage characteristics previously computed by us, without generation-recombination-trapping-tunneling of electrons and holes. These examples include the one-MOS-gate on semi-infinite thick impure base transistor (the bulk transistor) and the impurethin-base Silicon-on-Insulator (SOI) transistor and the two-MOS-gates on thin base transistors (the FinFET and the Thin Film Transistor TFF). Figures are given with the cross-section views containing the electron and hole concentration and current density distributions and trajectories and the corresponding DC current-voltage characteristics. 展开更多
关键词 bipolar field-effect transistor theory electron and hole surface and volume channels electron and hole contacts bulk soi tft finfet one-transistor basic building block circuits
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