期刊文献+
共找到218篇文章
< 1 2 11 >
每页显示 20 50 100
Layout Planning Technology of Cellular Manufacturing System Based on Process Interconnection Analysis 被引量:2
1
作者 CHEN Huawei WANG Aimin +1 位作者 NING Ruxin SHAO Canxia 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第6期1035-1044,共10页
With sustaining change of production mode,layout planning is no longer a thing built once for all.Cellular layout(CL) is becoming a hotspot in the research field of manufacturing system layout.Traditional researches o... With sustaining change of production mode,layout planning is no longer a thing built once for all.Cellular layout(CL) is becoming a hotspot in the research field of manufacturing system layout.Traditional researches on layout planning are mainly concentrating on aspects of layout arithmetic,style and evaluation,etc.Relatively seldom efforts are paid to CL and its specific problems as cell formation(CF),equipment sharing and CL analysis.Through problem analyzing of layout in cellular manufacturing system(CMS),research approach of cell formation,interactive layout and layout analysis threaded with process interconnection relationship(PIR) is proposed.Typical key technologies in CL like CF technology based on similarity analysis of part processes,interactive visual layout technology,layout evaluation technology founded on PIR analysis and algorithm of cell equipment sharing are put forward.Against the background of one enterprise which encounters problems of low utility of key equipments and disperse material logistic,an example of four-cell layout is given.The CL adjustment and analysis results show that equipment with high level of sharing degree should be disposed around the boundary of its main cell,and be near to other sharing cells as possible; process route should be centralized by all means,so equipment adjustment is to be implemented along direction that route intersection can be decreased; giving consideration to the existence of discrete cell,logistic route and its density should be centralized to cells formed.The proposed research can help improve equipment utility and material logistic efficiency of CL,and can be popularized to other application availably. 展开更多
关键词 cellular manufacturing system layout planning process interconnection relationship cell formation equipment sharing interactive layout
下载PDF
FUNDAMENTAL COMMUNICATIONS THEORIES AND SIGNAL PROCESSING TECHNIQUES FOR AMORPHOUS CELLULAR SYSTEMS
2
作者 Shi Jin Feifei Gao +2 位作者 Kai Luo Yongming Huang Wei Peng 《China Communications》 SCIE CSCD 2016年第12期I0002-I0003,共2页
The rapid developing of the fourth generation(4G)wireless communications has aroused tremendous demands for high speed data transmission due to the dissemination of various types of the intelligent user terminals as w... The rapid developing of the fourth generation(4G)wireless communications has aroused tremendous demands for high speed data transmission due to the dissemination of various types of the intelligent user terminals as well as the wireless multi-media services.It is predicted that the network throughput will increase 展开更多
关键词 IEEE FBMC FUNDAMENTAL COMMUNICATIONS THEORIES AND SIGNAL processING TECHNIQUES FOR AMORPHOUS cellular SYSTEMS MIMO FIR
下载PDF
N6-甲基腺苷在疾病中的研究进展
3
作者 潘旺 周爱华 《中国药师》 CAS 2024年第8期1436-1444,共9页
N6-甲基腺苷(m6A)修饰是由甲基化酶和去甲基化酶调节,导致一个动态和可逆的过程。m6A水平的变化涉及广泛的细胞过程,包括核RNA输出、mRNA代谢、蛋白质翻译和RNA剪接,与各种疾病有很强的相关性。本文旨在归纳和总结mRNA中m6A表达水平的... N6-甲基腺苷(m6A)修饰是由甲基化酶和去甲基化酶调节,导致一个动态和可逆的过程。m6A水平的变化涉及广泛的细胞过程,包括核RNA输出、mRNA代谢、蛋白质翻译和RNA剪接,与各种疾病有很强的相关性。本文旨在归纳和总结mRNA中m6A表达水平的变化在常见三类疾病中的作用和机制,以及基于m6A在mRNA中水平变化作为药物干预靶点的研究趋势。 展开更多
关键词 N6-甲基腺苷 甲基化酶 去甲基化酶 细胞过程 肺癌 肺纤维化 肾癌 急性肾损伤 哮喘 阿尔兹海默症 研究进展
下载PDF
基于Q学习的蜂窝车联网边缘计算系统PC-5/Uu接口联合卸载策略
4
作者 冯伟杨 林思雨 +3 位作者 冯婧涛 李赟 孔繁鹏 艾渤 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期385-395,共11页
智能驾驶等智能交通服务对时延要求高,在车辆本身算力不足的情况下,车辆需要周围车辆和路旁边缘计算单元帮助其一起完成任务的计算处理.本文在既有车联网边缘计算卸载策略基础上,考虑了蜂窝车联网系统5G-NR接口与PC-5接口链路的特征差异... 智能驾驶等智能交通服务对时延要求高,在车辆本身算力不足的情况下,车辆需要周围车辆和路旁边缘计算单元帮助其一起完成任务的计算处理.本文在既有车联网边缘计算卸载策略基础上,考虑了蜂窝车联网系统5G-NR接口与PC-5接口链路的特征差异,提出了一种基于Q学习的PC-5/Uu接口联合边缘计算卸载策略.在对蜂窝车联网PC-5链路传输成功率进行建模的基础上,推导了PC-5链路的传输速率表征方法.以最小化蜂窝车联网任务处理时延为目标,以任务车辆发射功率与边缘计算车辆的计算能量损耗为约束,构建了系统时延最小化的有约束马尔科夫决策过程.通过拉格朗日方法,将有约束马尔科夫决策过程问题转化为一个等价的极小极大的无约束马尔科夫决策过程,引入Q学习设计卸载策略,进而提出基于Q学习的蜂窝车联网边缘计算系统卸载策略.仿真结果表明,与其他基线方案相比,本文提出的算法可以降低系统时延27.3%以上. 展开更多
关键词 蜂窝车联网 边缘计算 有约束马尔科夫过程 计算迁移 Q学习
下载PDF
蜂窝物联网空口寻呼接入技术研究
5
作者 吴航 吴承英 《通信与信息技术》 2024年第4期28-32,共5页
针对在物联网和智慧城市应用中发现的大连接接入问题,利用蜂窝移动网络中的寻呼(Paging)技术解决终端海量准实时响应平台接入物联网问题,有效地降低终端的功耗并提高空口效率。寻呼是4G、5G、6G大连接重要技术之一。介绍如何采用寻呼技... 针对在物联网和智慧城市应用中发现的大连接接入问题,利用蜂窝移动网络中的寻呼(Paging)技术解决终端海量准实时响应平台接入物联网问题,有效地降低终端的功耗并提高空口效率。寻呼是4G、5G、6G大连接重要技术之一。介绍如何采用寻呼技术系统满足平台与物联网终端实时通信需求。 展开更多
关键词 Paging蜂窝无线寻呼并发处理技术 4G 5G R17RedCap IOT
下载PDF
Effect of process variables on grain growth in simulating solidification microstructure of Ti-45% Al alloy ingot by stochastic model 被引量:1
6
作者 吴士平 刘东戎 +1 位作者 郭景杰 傅恒志 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2005年第5期1096-1102,共7页
A comprehensive stochastic model for simulating microstructure formation of Ti-45%Al(mole fraction) alloy ingot during solidification process was developed, based on a finite differential method(FDM) for macroscopic h... A comprehensive stochastic model for simulating microstructure formation of Ti-45%Al(mole fraction) alloy ingot during solidification process was developed, based on a finite differential method(FDM) for macroscopic heat flow calculation and a cellular automaton(CA) technique for microscopic modeling of nucleation and growth. The formation of a shrinkage cavity at the top of ingot was taken into account. The effects of process variables such as pouring temperature and mold-preheated temperature on the microstructure formation were investigated. The calculated results indicate that the columnar zone is expanded with increasing pouring temperature in the nonlinear way and the volume fraction of equiaxed zone only slightly varies with the mold-preheated temperature. 展开更多
关键词 钛铝合金 颗粒组成 凝固特点 微观结构 随机模型 铸造工艺 金属加工
下载PDF
A Parallel Implementation of Multiple Secret Image Sharing Based on Cellular Automata
7
作者 Adrian Hernandez-Becerril Mariko Nakano-Miyatake +1 位作者 Marco Ramirez-Tachiquin Hector Perez-Meana 《通讯和计算机(中英文版)》 2013年第5期649-660,共12页
关键词 元胞自动机 并行实现 秘密共享方案 时间复杂度 影像 多机 彩色图像 顺序算法
下载PDF
Combining cellular automata and Monte Carlo algorithm to simulate three-dimensional grain growth
8
作者 WANG Wei CHEN Ju-hua +1 位作者 GUO Pei-quan ZHAO Ping 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2006年第A02期104-106,共3页
关键词 晶粒生长 三维模拟 细胞自动机 蒙特卡洛算法 显微结构
下载PDF
Computational analysis of(MAP_1,MAP_2)/(PH_1,PH_2)/N queues with finite buffer in wireless cellular networks
9
作者 Zonghao Zhou Yijun Zhu 《Journal of Systems Engineering and Electronics》 SCIE EI CSCD 2011年第5期739-748,共10页
This paper studies a queueing model with the finite buffer of capacity K in wireless cellular networks, which has two types of arriving calls--handoff and originating calls, both of which follow the Markov arriving pr... This paper studies a queueing model with the finite buffer of capacity K in wireless cellular networks, which has two types of arriving calls--handoff and originating calls, both of which follow the Markov arriving process with different rates. The channel holding times of the two types of calls follow different phase-type distributions. Firstly, the joint distribution of two queue lengths is derived, and then the dropping and blocking probabilities, the mean queue length and the mean waiting time from the joint distribution are gotten. Finally, numerical examples show the impact of different call arrival rates on the performance measures. 展开更多
关键词 wireless cellular network queue Markov arriving process (MAP) phase-type (PH) distribution handoff call originating call.
下载PDF
Interference Mitigation Techniques Using Receiver Processing and Resource Allocation 被引量:1
10
作者 Jesvin Veancy Boaz Yogesh Palanichamy 《Circuits and Systems》 2016年第10期2893-2903,共12页
Heterogeneous network consists of the pico cells overlaid over the macro cell coverage area in a wireless cellular network. The pico cells are deployed to increase the capacity of the homogeneous network by reusing th... Heterogeneous network consists of the pico cells overlaid over the macro cell coverage area in a wireless cellular network. The pico cells are deployed to increase the capacity of the homogeneous network by reusing the spectrum further. However, more users will tend to be associated to the macro cell due to the fact that the transmit power of the pico cell is low. In order to increase the number of users associated to the pico cell, range extension techniques like biased association are used. This will cause severe interference to cell edge users of the pico cell from the macro cell causing degradation in throughput performance in the cell range extension area. In this paper, interference mitigation using receiver processing along with different scheduling techniques is proposed to improve the throughput, average delay, and the packet delivery ratio performance of the system. The performance comparison of the round robin, proportional fair and modified largest weighted delay first (MLWDF) algorithm for resource allocation using interference suppressing receiver is done, and analyzed. It is shown that the MLWDF algorithm achieves the highest throughput with minimum average delay of packets with the best delivery ratio. 展开更多
关键词 cellular Network Orthogonal Frequency Division Multiplexing INTERFERENCE SCHEDULING Post processing Signal to Noise Ratio
下载PDF
基于元胞自动机的实时降雨下流域洪水淹没过程分析 被引量:3
11
作者 蔡木良 支欢乐 +4 位作者 李文欢 黄河 刘贤 蒋水华 张秀平 《中国农村水利水电》 北大核心 2023年第7期35-40,47,共7页
目前实时降雨下流域洪水淹没过程分析复杂,难以满足实际工程应用要求。虽然目前推广性较强的无源淹没分析方法计算简便,但是其实际物理意义不强。为此,基于实时降雨预报和地理信息系统(GIS)技术,建立了基于元胞自动机的洪水淹没分析模型... 目前实时降雨下流域洪水淹没过程分析复杂,难以满足实际工程应用要求。虽然目前推广性较强的无源淹没分析方法计算简便,但是其实际物理意义不强。为此,基于实时降雨预报和地理信息系统(GIS)技术,建立了基于元胞自动机的洪水淹没分析模型,借助GIS技术生成数字高程模型格网数据,并结合流域下垫面条件求解洪水淹没范围及淹没水深。最后,以江西省宜春市袁州流域为例,考虑植被截留量和土壤下渗量这两种降雨损耗,利用径流系数表示降雨产生径流的损耗过程,进而采用建立的元胞自动机洪水淹没分析模型计算得到4个不同时刻(10 min、30 min、1 h和2 h)的袁州流域洪水淹没数据。同时,利用无源淹没分析方法和基于MIKE SHE的坡面流模型计算结果验证了建立的元胞自动机洪水淹没分析模型的有效性。结果表明:相比于无源淹没分析方法和基于MIKE SHE的坡面流模型,本文建立的模型可以充分考虑流域下垫面条件以及降雨产汇流过程的影响,更加合理地模拟洪水淹没过程,并能够动态输出不同时刻洪水淹没数据。所建模型具有应用推广性强、实际物理意义明确、计算过程较为简便,并且可准确地显示实时降雨下洪水淹没过程等特点。研究成果可为强降雨作用下洪水灾害风险评估、防汛抢险决策方案的制定提供理论参考。 展开更多
关键词 流域洪水 淹没过程分析 元胞自动机 实时降雨 水动力学
下载PDF
深圳河流域城市洪涝风险分析 被引量:11
12
作者 唐清竹 徐宗学 +2 位作者 王京晶 陈浩 杨芳 《水力发电学报》 CSCD 北大核心 2023年第6期13-22,共10页
日益严峻的城市洪涝灾害严重威胁着城市安全和可持续发展,准确评估城市洪涝风险对于保护人民群众生命财产安全至关重要。本研究基于元胞自动机洪水模拟模型构建深圳河流域洪涝仿真模型,采用综合主观层次分析法和客观权重赋权法的博弈论... 日益严峻的城市洪涝灾害严重威胁着城市安全和可持续发展,准确评估城市洪涝风险对于保护人民群众生命财产安全至关重要。本研究基于元胞自动机洪水模拟模型构建深圳河流域洪涝仿真模型,采用综合主观层次分析法和客观权重赋权法的博弈论组合赋权法对各指标赋权,评估和预测不同降雨情景下深圳河流域城市洪涝风险。结果表明:深圳河流域城市洪涝高风险区存在典型的时空差异,随着暴雨重现期的增加,面积占比从2年一遇的0.20%增加到100年一遇的0.82%;中低风险区面积占比从2年一遇的67.4%减少到100年一遇的64.7%。研究结果可有效识别深圳河流域洪涝风险分布,为完善深圳河流域洪涝综合防治体系,提升城市洪涝防御能力和韧性提供借鉴与参考。 展开更多
关键词 暴雨洪水 洪涝风险 元胞自动机洪水模拟模型 层次分析法 客观权重赋权法 博弈论组合赋权 深圳河
下载PDF
水工钢闸门局部腐蚀演化特征分析
13
作者 蔡一平 杨良泽 +2 位作者 许旭东 袁周致远 吉伯海 《江苏水利》 2023年第10期56-60,共5页
为研究水工钢闸门局部腐蚀的演化特征,通过检测构件表面腐蚀概况,采用盐雾试验对镀锌钢板进行试验观察,研究局部腐蚀的形貌特征,建立二维元胞自动机模型,并通过确定相关参数,对局部腐蚀的反应过程进行演化。研究结果表明,局部腐蚀坑会... 为研究水工钢闸门局部腐蚀的演化特征,通过检测构件表面腐蚀概况,采用盐雾试验对镀锌钢板进行试验观察,研究局部腐蚀的形貌特征,建立二维元胞自动机模型,并通过确定相关参数,对局部腐蚀的反应过程进行演化。研究结果表明,局部腐蚀坑会造成钢闸门构件表面穿透或厚度削减,蚀坑内部分产物在孔边堆积,抑制蚀坑在宽度方向上的扩展,蚀坑附近会产生新的点蚀坑洞,但蚀坑深度相对较浅,腐蚀速率缓慢。元胞自动机模型能够模拟腐蚀病害从坑洞萌生到厚坑洞穿透的整个演化过程。 展开更多
关键词 水工钢闸门 局部腐蚀 演化过程 元胞自动机模型 盐雾试验
下载PDF
基于蜂窝模型中继台最小极值问题研究
14
作者 岳梦楚 刘喜勋 《系统仿真技术》 2023年第1期50-54,共5页
基于蜂窝模型解决在圆形区域内满足一定量用户同时在线时中继台的极值问题。分别考虑用户均匀分布和非均匀分布的情况,结合145~148 MHz的频率,假定在线用户量分别为1000和10000,利用Egli模型计算每个中继台的覆盖半径,以此作为蜂窝通信... 基于蜂窝模型解决在圆形区域内满足一定量用户同时在线时中继台的极值问题。分别考虑用户均匀分布和非均匀分布的情况,结合145~148 MHz的频率,假定在线用户量分别为1000和10000,利用Egli模型计算每个中继台的覆盖半径,以此作为蜂窝通信模型基圆半径。再采用离散数值处理方法,使该圆形区域在蜂窝网络上任意移动,直至找到完全覆盖该区域所需中继台的最小数量。在山区地形下,中继台最小极值通过在Egli模型中加入地形校正因子得到修正。仿真结果表明,本文所提出的方法十分有效,可以较为准确地预估出中继台的最小极值。 展开更多
关键词 蜂窝模型 中继台 Egli模型 离散数值处理 地形校正因子
下载PDF
人椎间盘髓核细胞突起的形态学特征 被引量:5
15
作者 刘小云 杨述华 +2 位作者 熊涛 吴强 傅德皓 《解剖学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期466-469,共4页
目的探讨成人腰椎间盘髓核细胞突起的形态学特征。方法取8例成人腰椎间盘髓核组织标本(ThompsonⅠ-Ⅱ),分别行冰冻切片和电镜切片,同时进行髓核细胞的分离和单层培养,利用光镜、激光扫描共焦显微镜和透射电镜,从组织、细胞和超微结构水... 目的探讨成人腰椎间盘髓核细胞突起的形态学特征。方法取8例成人腰椎间盘髓核组织标本(ThompsonⅠ-Ⅱ),分别行冰冻切片和电镜切片,同时进行髓核细胞的分离和单层培养,利用光镜、激光扫描共焦显微镜和透射电镜,从组织、细胞和超微结构水平观察细胞突起的形态学特征。结果所有的髓核细胞均具有明显的突起结构,相邻的细胞突起间可见缝隙连接。在体状态下均呈类圆形的髓核细胞进行离体培养时却呈现梭形和类圆形两种不同的形态,梭形细胞与类圆形细胞的比例约为2.3∶1。梭形细胞的突起顺着细胞体长轴发出,未见二级突起。类圆形细胞的突起从细胞体四周发出,突起呈树枝状,可见多级突起。结论突起是椎间盘髓核细胞的形态学特征之一,对突起功能的深入研究将有助于加深对椎间盘退变病理机制的认识。 展开更多
关键词 椎间盘 髓核细胞 细胞突起 细胞培养 激光扫描共焦显微镜
下载PDF
基于CA-Markov模型的黄土丘陵区土地利用变化 被引量:63
16
作者 刘淑燕 余新晓 +2 位作者 李庆云 李洪禹 雷凤燕 《农业工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期297-303,共7页
为探讨黄土丘陵区的土地利用变化规律以及驱动机制,以罗玉沟流域作为典型流域,基于1986、2001年的TM影像为数据源,对土地利用格局分布进行分析,并运用CA-Markov模型,以2001年的土地利用格局为基础,预测了2016年流域的土地利用的空间格... 为探讨黄土丘陵区的土地利用变化规律以及驱动机制,以罗玉沟流域作为典型流域,基于1986、2001年的TM影像为数据源,对土地利用格局分布进行分析,并运用CA-Markov模型,以2001年的土地利用格局为基础,预测了2016年流域的土地利用的空间格局分布。结果表明,罗玉沟流域土地利用格局在1986年以前,以坡耕地为主,面积占59.67%,其次为梯田、草地和林地。从1986年到2001年林地和梯田的面积均有显著增加,坡耕地面积则显著减少,其余土地利用类型面积变化不大。从单一土地利用类型动态度来看,面积增加大的土地类型同时具有较高的动态度,梯田的动态度最大达到了15.09,林地的动态度次之。CA-Markov模型预测结果表明2001-2016年期间土地利用变化继续保持1986-2001年间的变化趋势,总体上表现为坡耕地减少,林地和梯田增加,但坡耕地的减少速率却明显小于1986-2001年,这主要是由于剩余的坡耕地受立地条件、政策措施等一系列的因素的影响。其他土地类型之间的相互转化,面积较小,基本处于比较稳定的动态变化之中。根据模拟结果可调整各类土地利用/覆被格局,为该区土地利用规划、管理和生态恢复提供科学依据。 展开更多
关键词 元胞自动机 马尔柯夫过程 土地变化 黄土丘陵区
下载PDF
Ⅰ型酪蛋白激酶的研究进展 被引量:4
17
作者 刘炜 毕玉平 李臻 《西北植物学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期425-432,共8页
Ⅰ型酪蛋白激酶(CKI)属丝氨酸/苏氨酸蛋白激酶,在真核生物中广泛存在,结构高度保守。在生物生长发育过程中CKI参与多种细胞功能及发育过程的调节,具有非常重要的作用。本文从CKI的结构、生理功能、调节机制以及近年来CKI在哺乳动物、酵... Ⅰ型酪蛋白激酶(CKI)属丝氨酸/苏氨酸蛋白激酶,在真核生物中广泛存在,结构高度保守。在生物生长发育过程中CKI参与多种细胞功能及发育过程的调节,具有非常重要的作用。本文从CKI的结构、生理功能、调节机制以及近年来CKI在哺乳动物、酵母和植物中的分类与功能等方面进行综述,为进一步研究其在代谢及信号转导中的作用,明确其在生长发育等调控网络中的地位提供理论指导。 展开更多
关键词 Ⅰ型酪蛋白激酶 细胞进程 生长发育 调节 功能
下载PDF
元胞自动机的地理过程模拟机制及扩展 被引量:24
18
作者 罗平 耿继进 +1 位作者 李满春 李森 《地理科学》 CSCD 北大核心 2005年第6期724-730,共7页
地理空间、地理梯度、地理流和空间关系是经典地理学进行地理过程分析常用的4个基本概念,元胞自动机(CA)作为复杂空间系统研究的重要工具。分析表明,其与经典地理过程分析理论具有类似地表达机制,因而能有效地进行地理过程模拟。但由于... 地理空间、地理梯度、地理流和空间关系是经典地理学进行地理过程分析常用的4个基本概念,元胞自动机(CA)作为复杂空间系统研究的重要工具。分析表明,其与经典地理过程分析理论具有类似地表达机制,因而能有效地进行地理过程模拟。但由于标准CA是一种更广泛抽象的空间模型,其对地理特征的描述存在一定局限,限制了其更真实地模拟地理过程的能力。论文提出了基于地理特征的CA概念模型,深圳特区土地利用演化的实证研究表明,地理特征CA概念模型具有极大的应用价值。 展开更多
关键词 元胞自动机 地理过程 地理特征 模拟机制
下载PDF
基于形态学和坐标变换的二维CA图像处理技术研究 被引量:7
19
作者 汪海明 郭仕德 余道衡 《计算机应用研究》 CSCD 北大核心 2004年第1期243-245,共3页
深入研究了一类二维细胞自动机(CA),提出了一种用于二值和多值图像处理的二维CA实现方法。对于二值图像,提出了类似于数学形态学腐蚀、膨胀的CA布尔逻辑规则;对于多值图像,采用坐标逻辑运算把图像分解成多个二值图像后用CA并行处理。所... 深入研究了一类二维细胞自动机(CA),提出了一种用于二值和多值图像处理的二维CA实现方法。对于二值图像,提出了类似于数学形态学腐蚀、膨胀的CA布尔逻辑规则;对于多值图像,采用坐标逻辑运算把图像分解成多个二值图像后用CA并行处理。所有的CA规则都可以用细胞神经网络(CNN)实现。最后,将这种方法用于图像滤波,获得了很好的实验结果。 展开更多
关键词 细胞自动机 图像处理 数学形态学 细胞神经网络
下载PDF
用于光刻胶刻蚀过程模拟的二维动态CA模型 被引量:2
20
作者 周再发 黄庆安 +1 位作者 李伟华 卢伟 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期906-910,共5页
针对光刻工艺模拟,首次建立了光刻胶刻蚀过程模拟的2-D动态元胞自动机(CA)模型,通过制定规则来确定模拟过程中不断更新的表面元胞,使得模拟只需要计算表面元胞的刻蚀过程.模型既有稳定性好的优点,又有运算速度快的优点.采用一些公认的... 针对光刻工艺模拟,首次建立了光刻胶刻蚀过程模拟的2-D动态元胞自动机(CA)模型,通过制定规则来确定模拟过程中不断更新的表面元胞,使得模拟只需要计算表面元胞的刻蚀过程.模型既有稳定性好的优点,又有运算速度快的优点.采用一些公认的光刻速率分布测试函数非常有效地模拟了光刻过程,模型在刻蚀速率变化非常大的区域也非常稳定. 展开更多
关键词 元胞自动机 工艺模拟 光刻模拟 工艺模型
下载PDF
上一页 1 2 11 下一页 到第
使用帮助 返回顶部