彩色滤光片用光阻剂研究

彩色滤光片为液晶显示中的重要零组件,而光阻剂是彩色滤光片的关键材料,其性能好坏直接影响了彩色滤光片的性能,如色饱和度、色纯度、透过率和耐候性能。因此,光阻剂的制取技术是必须掌握的关键技术,而光阻剂的配方为其主要研究对象。本论文研究了光阻剂中分别增加环氧树脂和润湿剂对其性能的影响。

光刻胶成分优化对彩膜预烘烤工艺升华物的改善

随着彩膜产线几年的运营,预烘烤工艺升华物带来严重的设备和玻璃基板污染,容易造成曝光工序失败,导致成本浪费。为解决该问题,本文针对8.5世代线红、绿、蓝三条生产线,进行了预烘烤工艺升华物成分分析和改善。经分析,升华物来源于光刻胶中单体和光引发剂,通过将分子量在190~300之间的小分子结构的单体和光引发剂替换成分子量在380~600之间的大分子结构,得到改善型光刻胶,成功将红、绿、蓝3种光刻胶热升华物降低了91.8%,98.5%,93.1%。改善型光刻胶制成的产品光学、信赖性均满足要求,导入量产后,预烘烤升华物导致的玻璃基板曝光工序失败率由3500×10^(-6)降低为1600×10^(-6)。在此研究过程中,提出了一种红绿蓝光刻胶材料预烘烤升华物量化评价指标,可应用于后续光刻胶的开发和选用,对产线长期稳定运营具有参考借鉴意义。

我国液晶显示产业链上游产品的现状与发展趋势

液晶显示产业上游材料中涉及的化学品范围很宽．种类繁多，受篇幅限制不可能在一一例举。这里仅就重要的几种材料作一介绍。

聚乙烯吡咯烷酮杂化双色光敏激光直写光刻胶研究

有机高分子光刻胶是双色光敏激光直写技术实现微纳制造的介质和载体,直接影响了其所制造微纳结构的精度、真实度等性能.采用聚乙烯吡咯烷酮(PVP)作为杂化组分,引入到季戊四醇三丙烯酸酯(PETA)活性单体中,以调控光刻胶的黏度、力学强度、体积收缩率和聚合反应速度等.结果表明,PVP与PETA存在氢键相互作用,可作为交联位点,提高光刻胶的交联度.同时,PVP的引入使得体系黏度增加,可降低氧阻聚效应,有效地提升了光刻胶中PETA的光聚合单体转化率(30.1%),获得了更高的灵敏度和更低聚合阈值(6.5 mW,20 wt%PVP).此外,PVP的引入还使得光刻胶的体积收缩率由18%降为3%,大幅减少了所制造结构的内应力,改善了光刻精度和微纳结构的真实度.最终,由PVP杂化光刻胶加工的线条精度高达48 nm,且比无PVP光刻胶具有更高的均匀性和规整度.本研究对高精度及高质量微纳制造和多种应用都具有重要的意义.

彩色光刻胶用锌酞菁染料的设计、合成及其性质

彩色光刻胶是制作彩色滤光片的重要部分之一,是实现TFT-LCD色彩显示的重要材料.为了提高彩色滤光片的色纯度和色域,颜料染料化应运而生,但染料热稳定性较差,难以应用于工业生产过程中.为了研究不同取代基对染料溶解度和热稳定性的影响,本文设计、合成了一系列锌酞菁染料.实验表明,砜基修饰的含氯锌酞菁染料具有较好的颜色性质和热稳定性.这对设计高耐热的彩色光刻胶用分子水平锌酞菁染料具有重要意义.