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题名静电微反射镜的发展与应用
被引量:2
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作者
任大海
杜杰
阎梅芝
尤政
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机构
清华大学精密仪器与机械学系
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出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期3-5,共3页
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文摘
本文从静电微反射镜结构、驱动方式、加工工艺等方面对目前静电微反射镜的原理和实现方法进行总结,分别讨论了它们的功能特点和应用方向,分析了不同应用领域的静电微反射镜的性能要求和结构方式,重点介绍了静电微反射镜在投影显示器和空间光通信等领域的应用,最后讨论了静电微反射镜在光学特性分析、驱动方式、工艺设计、动态特性和控制方法等方面的关键问题及发展方向。
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关键词
微光机电系统
静电微反射镜
静电驱动器
角锥棱镜
衍射
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Keywords
MOEMS
electrostatic micro reflective mirror
electrostatic driver
cube comer rectroreflector
diffraction
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分类号
TN43
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名高能激光器抗失调谐振腔的输出特性
- 2
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作者
李宏棋
程祖海
余文峰
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机构
华中科技大学激光技术与工程研究院
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出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第7期548-550,共3页
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文摘
在脉冲TEA CO2激光器中采用角隅反射镜作为全反镜,平行平面镜作为输出镜组成新型激光谐振腔。本文重点研究了角隅谐振腔气体激光器的抗失调特性,并与平凹腔气体激光器进行了对比。在平面输出镜失调角同为6角分时,实验结果表明若平凹腔激光器的单脉冲输出能量下降47%,角隅腔激光器的单脉冲输出能量仅下降8%,且近场光斑光强分布没有明显变化。当砷化镓输出镜透过率分别为71%、40%和30%时,角隅腔激光器的单脉冲输出能量分别为6.46 J、4.6 J和3.4 J。使用模式仪测量,其结果表明:角隅腔激光器近场光强分布均匀。
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关键词
激光谐振腔
角隅全反镜
抗失调稳定性
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Keywords
laser resonator
comer cube mirror
anti-misalignment stability
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分类号
TN248.2
[电子电信—物理电子学]
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题名柔性铰链支撑式动镜的误差分析
被引量:1
- 3
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作者
冯骏豪
曾立波
吴琼水
许贤泽
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机构
武汉大学电子信息学院
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2017年第5期35-39,共5页
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基金
国家科技支撑计划课题(2011BAF02B02)
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文摘
柔性铰链支撑式动镜系统广泛应用于便携式、工程在线测量的傅里叶变换红外光谱仪中。而在运动过程中,柔性铰链与动镜的微弱形变会给动镜引入不同程度的误差。通过建立数学模型,并结合调制度与初相位来分析系统存在的误差。结果表明:动镜的动态垂直度误差会严重影响信号干涉的质量,动镜行程、速度是其影响因素。可通过设计上的优化来减小其影响,对动镜的制作有借鉴意义。
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关键词
傅里叶变换红外光谱仪
动镜
立体角镜
柔性铰链
动态垂直度误差
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Keywords
Fourier transform infrared spectrometer
moving mirror
comer cube retroreflector
flexible hinge
dynamic perpendicularity error
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分类号
TH744
[机械工程—光学工程]
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