一种具有较小位移耦合度的二维微动平台新结构

分析了二维微动平台由于机构原因产生的两向间位移耦合现象,提出了一种采用线切割方式加工、具有对称式复合柔性四杆机构的微动平台结构形式,并使Y向平台完全镶嵌在X向平台内。通过理论分析和实验测试,其结果理想,为较好地解决二维微动平台两向间位移耦合问题提供了有效方法。