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超精密加工实验室的环境建设 被引量:2
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作者 张同治 张晖 《实验室研究与探索》 CAS 2004年第6期81-82,共2页
由于超精密加工精度极高,所以它除了需要其必备的工艺系统、测量仪器以及技术人员的专业水平外,对外部支撑环境要求也极严。该环境包括空气环境、热环境、振动环境、声环境、光环境和静电环境等。所以在建立相关实验室时一定要充分考虑... 由于超精密加工精度极高,所以它除了需要其必备的工艺系统、测量仪器以及技术人员的专业水平外,对外部支撑环境要求也极严。该环境包括空气环境、热环境、振动环境、声环境、光环境和静电环境等。所以在建立相关实验室时一定要充分考虑它的环境建设。 展开更多
关键词 超精密加工 洁净度 恒温 恒湿
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