Mechanism analysis of the affect the copper line surface roughness after FA/O alkaline barrier CMP

The surface roughness seriously affects the performance of devices after barrier CMP. Due to the high surface roughness of copper line, the local resistance of a device will be high when working, then the copper line will overheat prompting the generation of electro-migration and the circuit will lose efficacy. Reducing the surface roughness of the copper line in barrier CMP is still an important research topic. The main factors influencing the surface roughness of copper line in alkaline barrier slurry are analyzed in the paper. Aimed at influencing the law on the surface roughness of copper line, using a new type of alkaline barrier slurry with a different p H of the chelating agent and changing the content of non-ionic surfactant, we then analyze the influencing law both on the surface roughness of copper line, and the influence mechanism. The experimental results show that with a chelating agent with a low p H value in the barrier slurry, the surface roughness of the copper line is 1.03 nm and it is the lowest in all of the barrier slurries, and with the increase of non-ionic surfactant concentration, the surface roughness of copper line is reduced to 0.43 nm, meeting the demand of further development of integrated circuits.

阴极辊在线抛磨参数对电解铜箔性能的影响

[目的]阴极辊的表面状态会影响电解铜箔的品质,抛磨处理能够令阴极辊保持较佳的表面状态。[方法]通过对日常生产中阴极辊抛磨参数的跟踪与铜箔性能的分析,探究了电解铜箔生产中阴极辊在线抛磨对铜箔粗糙度、拉伸强度、延伸率等性能的影响。[结果]适当提升抛磨刷的摆动频率,降低抛磨刷与阴极辊间的接触压力,增大阴极辊抛磨长度,以及使用小粒度的抛磨刷均能降低铜箔的粗糙度,提高铜箔的常温拉伸强度,减小铜箔纵向与横向延伸率的差异,提高产品合格率。[结论]控制好阴极辊的在线抛磨参数有助于获得品质良好的电解铜箔。

铜挤压机模具状态在线智能检测技术开发

铜合金挤压可生产包括扁、棒、线、管以及异型材产品。在生产过程中,模具需要频繁清扫、检修并需检测模具使用状态、是否需更换模具;由于模孔形状多样、尺寸小,温度高(500℃~650℃),目前均为人工检测,效率、准确率较低。模具状态在线智能检测系统的开发,利用机器人代替人工作业,提高设备运行质量及效率,降低人员劳动强度及危险性、实现铜挤压生产线的高效、智能及无人化运行。

精密铜管生产线在线质量控制系统研究

精密铜管因其卓越的导热性和电导性,在众多工业领域中发挥着重要作用。随着工业需求的不断提高,精密铜管的质量控制显得尤为重要。文中通过分析精密铜管生产线的组成和工艺流程,探讨了精密铜管的应用领域及其质量要求,并着重介绍了在线质量控制系统的设计与实施。通过引入在线质量监测技术和质量数据分析处理,该系统能有效提高精密铜管的生产效率和产品质量。此外,文中还探讨了系统的设计原理、硬件配置与软件开发,并通过案例分析展示了实施效果,为精密铜管生产线的质量控制提供了新的思路。

铜冶炼厂阳极板转运及存储生产技术

铜冶炼厂阳极板出炉转运作业,普遍采用的叉车叉运与车辆输送相结合的方式,进行阳极板转运,阳极板质量把控采用人工挑选的方式进行检测,人员劳动强度大,运行费用高,不利于企业生产成本控制。本文介绍一种阳极板自动转运存储生产模式,通过对阳极板自动提取、清洗、检测、分挑、存储及转运作业,实现阳极板自动转运替代人工转运作业模式,有效降低人员劳动强度,减少生产运行成本。

铜合金与低碳钢异种材质焊接研究

将铝青铜粉末堆焊到低碳钢表面,调节不同焊接电流,利用金相、线扫描等方法对堆焊层金属的组织进行分析,并对堆焊层进行腐蚀试验。结果表明:铝青铜堆焊层在焊接电流为100~130A时,结合性良好;铝青铜堆焊层在3.5%NaCl溶液中具有良好的耐蚀性;当焊接电流为90A时,堆焊层金属耐蚀性最好,随着电流增大,耐蚀性逐渐变差。

废铅酸蓄电池侧吹浸没燃烧处理技术与装备

在铅供需两端的双重压力下,当前再生铅企业亟需先进成熟的技术与装备。富氧侧吹熔池熔炼工艺处理铅膏,已被我国大部分的新建再生铅厂采用,其中侧吹浸没燃烧熔池熔炼技术相继在锌、铅、锑、铜等金属的冶炼和固体废物处置领域获得成功应用。通过对侧吹浸没燃烧技术处理铅膏的反应机理、作业制度、炉内分区、炉体结构、喷枪、DCS系统的全面研究分析,并与瓦纽科夫炉技术对比,指出了该技术和装备具有熔炼强度高、能耗低、安全可靠、环保效果好等优点,其应用前景乐观,对我国再生铅冶炼技术水平的提高起到积极的推动作用。

某企业HPT500多缸液压圆锥破碎机典型故障分析及对策研究

某企业为预防和快速处理细碎设备HPT500多缸液压圆锥破碎机在实际生产中经常出现的典型设备故障,减少设备故障影响,降低生产经济损失,针对该设备出现的润滑系统回油量低、破碎壁松动、偏心套烧套等典型故障,从设备结构及运行原理上进行分析研究,制定了有效的预防措施及故障解决方案,可为其他矿山企业提供经验借鉴,有效预防设备故障,提高设备作业率及企业经济效益。

Conform连续挤压原理与铜线挤压加工的影响因素

介绍了Conform连续挤压法的工艺原理及其优越性,分析研究了影响铜线连续挤压加工的各种工艺因素。根据铜线挤压生产的实际情况,开发了适应铜线连续挤压生产需要的挤压模具及工艺流程。

变压器铁耗及铜耗在线测试方法研究

首先介绍了变压器损耗产生原理,通过与传统变压器损耗测试方法比较,提出了以电流、电压求和法测量变压器铁耗、铜耗的新方法,并详细阐述了用该方法在线测试变压器铁耗和铜耗的实现原理。选用三相自耦式变压器,纯电阻负载为对象进行模拟实验。以一相为例说明其模拟实验接线图,得到铁耗及铜耗在线测试数据,并对数据进行了误差分析。验证了在线测试变压器铁耗及铜耗原理的正确性。

大口径带铜衬气动内对口器的设计及前景展望

管道气动内对口器是管道施工中实现管口组对的一种专用机具,可为施工现场提供快速、准确的管口组对。目前应用的对口器不适合自动焊打底焊(易穿丝),严重制约了自动焊效率的发挥。介绍了一种新型对口器———大口径带铜衬气动内对口器,并对该对口器的工作原理、结构和技术要点进行了较详细的叙述。现场应用表明焊缝内成型美观,焊缝合格率为96%。

SPC技术在铜管生产线质量管理中的应用

统计过程控制(SPC)是现代企业质量管理中的一种重要手段,结合网络数据库技术可以实现生产过程中各关键工序产品质量的在线监控与离线分析,加速企业质量管理信息化进程。本文以铜管生产线质量管理为模板,系统地论述了SPC技术在铜管生产线质量管理中的应用,阐述了质量管理系统的流程以及关键技术。

自蔓延高温合成陶瓷内衬复合铜管的研究

结合自蔓延高温合成与离心铸造技术 ,开发陶瓷内衬复合铜管技术。用铝热法在铜管内表面涂敷耐磨性和耐蚀性优良的陶瓷涂层 ,在铝热剂中加入SiO2 ,CrO3,陶瓷涂层的致密度提高 ,加入Na2 B4 O7,结合强度提高 ,加入ZrO2 ,断裂韧性提高。陶瓷内衬复合铜管应用于管坯结晶器 ,使用寿命提高 2 5～ 3

铜材料在输电线路防雷接地中的应用

针对处于沿海盐碱地质等地区的输电线路接地电阻易受腐蚀的问题,提出采用一种新型镀铜接地装置作为输电线路接地电阻的新方法,并应用于生产实际中。通过分析新材料在接地系统中应用的各项效益指标,并与之前传统的接地电阻进行对比,可知利用镀铜作为接地电阻材料,能有效地减少由于雷击而接地电阻不满足要求造成输电线路跳闸的故障,为电力系统的安全稳定运行提供可靠保障。

激光诱导击穿铜特征谱线自吸收特性研究

应用Nd∶YAG脉冲激光器(532nm)作为光源,诱导激发TU0Cu样品。以光栅光谱仪和ICCD为谱线分离与探测器件,在30~110mJ激光能量范围和触发后211~230μs时间范围内对Cu(Ⅰ)特征谱线324.754,327.396,510.554,515.324和521.320nm的自吸收特性进行比较研究。研究表明,特征谱线自吸现象随时间增加逐渐减弱,经过5~20μs逐步消失;在50~100mJ能量范围内,随着激光能量的增大,谱线的自吸收程度增加,持续时间变长。同时特征谱线的自吸收特性因谱线跃迁能级状态不同而存在差异,具有相同原子组态的324.754,327.396nm和515.324,521.320nm两组谱线的自吸收程度随时间和激光能量的演变以及自吸持续时间随能量的变化都分别表现出相似的特征,且总角动量J较大(324.754nm,1/2-3/2;521.320nm,3/2-5/2)的谱线自吸收程度相对明显,持续时间较长,受能量变化影响敏感,自吸收程度随能量变化幅度也较大。谱线510.554nm(3d^(10)4p-3d^94s^2)在能量小于80mJ时自吸程度较低,持续时间较短;能量在80~100mJ范围内时自吸程度加大,持续时间变长。

离子印迹聚合物在线分离富集-流动注射-化学发光法测定铜

研究了以铜（Ⅱ）离子作为模板离子,合成了铜（Ⅱ）离子印迹聚合物并将其做成固相萃取柱,直接安装在流动注射系统上,对样品中的铜（Ⅱ）离子进行在线分离富集;经H2SO4＋乙醇混合溶液洗脱液在线洗脱后。在H2SO4介质中,铜（Ⅱ）离子催化高锰酸钾氧化桑色素发生化学发光反应。据此建立了灵敏简单流动注射化学发光法测定铜的新方法。在最佳实验条件下,测定铜的线性范围为0.1~10μg.mL-1,相关系数r=0.996 8,方法检出限为0.001 2μg.mL-1,对4.0μg.mL-1铜进行9次测定的相对标准偏差小于3%,加标回收率在95%~105%之间,方法用于样品中铜的测定,结果满意。

在线感应退火对TP2铜管力学性能的影响

通过对四种规格的TP2铜管进行在线感应退火试验,分析了TP2铜管的力学性能及其影响因素。结果表明,经过在线感应退火后的TP2铜管各部分的组织和性能稳定一致;TP2铜管的力学性能不仅与晶粒度和几何因素等内因有关,还与环境温度等外因有关。

流动注射在线分离富集光度法测定铜

本文提出痕量铜的在线流动注射离子交换树脂分离富集的吸光光度测定方法,以显色液(3,5-diBr-PADAP-乳化剂OP-乙醇-H_3PO_4)作为淋洗液,直接洗脱D401螯合树脂上富集的铜,与此同时显色剂与铜(Ⅱ)生成有色络合物,在 632 nm处测定铜.对显色体系及流路系统的实验条件进行了考察,在选定的条件下,铜含量在0～120μg/L范围内符合比尔定律,富集倍率达12.8倍,分析速度14样/h,检出限(3σ)达1.85μg/L,浓度为10μg/L铜时,测定精度为3.9％(n=11),测定了铝合金标样(By2125)中铜。

基于介电非线性机制的微带电路无源互调效应研究

微带电路无源互调产生机制尚无定论并且缺乏可靠的理论预测方法,本文基于等效受控源模型,建立了基于介电非线性机制的微带线无源互调的解析计算模型,同时,通过对比测试聚四氟乙烯玻纤布介质微带线和空气介质微带线的三阶互调规律验证了介质非线性是微带电路无源互调的一种主要非线性来源,并提取了非线性参数.实验结果显示聚四氟乙烯玻纤布介质微带线比空气介质微带线的传输互调高了约20dB,反射互调高了约15dB,表明介质非线性是聚四氟乙烯玻纤布介质微带线互调的主要来源.同时,根据本文建立的微带线互调计算解析模型,提取聚四氟乙烯玻纤布介质基板的三阶非线性相对介电常数.本文研究方法可以进一步用于其它微带电路无源互调规律计算研究.

三相不对称工况下配电变压器附加损耗特性分析

配电网络三相不对称会造成配电变压器产生附加损耗,对造成配电变压器附加损耗的相关影响因素进行分析有利于合理降损。基于电路理论对配电变压器在三相对称工况及三相不对称工况下的基本特性进行了分析,探究不对称电力网络对变压器铜耗、中性线损耗以及电动机有功出力和用电设备的影响,并对由于系统不对称造成的配电网络额外损耗量进行精确计算;最后,基于MATLAB仿真软件,验证配电变压器处于不同负载不对称类型及程度下附加损耗的相关变化特性,该研究成果对降低不对称工况下的网损具有重要的指导意义。