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A Study on Structural, Optical, Electrical and Etching Characteristics of Pure and L-Alanine Doped Potassium Dihydrogen Phosphate Crystals
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作者 Ferdousi Akhtar Jiban Podder 《Journal of Crystallization Process and Technology》 2011年第3期55-62,共8页
Pure potassium dihydrogen phosphate (KDP) crystals and KDP doped with L-alanine have been grown by slow evaporation technique at room temperature. Grown crystals have been characterized using powder X-ray diffraction,... Pure potassium dihydrogen phosphate (KDP) crystals and KDP doped with L-alanine have been grown by slow evaporation technique at room temperature. Grown crystals have been characterized using powder X-ray diffraction, (XRD), Energy Dispersive X-ray spectroscopy (EDX) and Fourier Transform Infrared spectroscopy (FTIR). The presence of L-alanine into pure KDP crystal was confirmed by FTIR and EDX spectra. Crystal structure has been studied by XRD. Pure KDP and L-alanine doped KDP crystals both possessed tetragonal structure. The transparency is found to increase with the increase of doping concentrations of the grown crystals as observed by UV-Vis spectra. A.C. electrical conductivity of grown crystals along the growth axis was carried out at various temperatures ranging from 35?C - 400?C. Dielectric constant and dielectric losses are measured as a function of temperature and this study reveals the contribution of space charge polarization. Crystal defects and surface morphology are studied by dissolution solvent technique and reveals the step growth mechanism for both pure and doped crystals. 展开更多
关键词 Amino Acid KDP solution Growth FT-IR ELECTRICAL Conductivity etch PITS
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Fabrication of 3D structure by combining AFM and chemical etching on crystalline silicon surface
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作者 袁福龙 郭永峰 +3 位作者 梁迎春 李丽 朱宇君 王岩 《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》 EI CAS 2006年第6期667-670,共4页
AFM is used for forming silicon dioxide as a layer (mask) on the silicon wafer surface (100) during the cutting process in ambient atmosphere. The silicon dioxide is made through reaction of silicon and oxygen in the ... AFM is used for forming silicon dioxide as a layer (mask) on the silicon wafer surface (100) during the cutting process in ambient atmosphere. The silicon dioxide is made through reaction of silicon and oxygen in the atmosphere. As a result of the anisotropic behavior of single crystalline silicon, the etching rates in alkaline solution depend greatly on the various crystal orientations. The anisotropic etching behaviors in KOH solution and reasons of crystalline silicon are described. Effect of etching conditions such as etching temperature and KOH concentration of the alkaline solution on height of the micro-protuberances has been described. 展开更多
关键词 晶体 微晶结构 化学动力学 化学结构
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以酸洗废液为原料制备FeCl_(2)工艺研究
3
作者 邓炳林 陈金泉 +1 位作者 宋德生 肖晋宜 《再生资源与循环经济》 2024年第1期44-47,共4页
研究了不锈钢酸洗废液经除杂、蒸发浓缩、冷却结晶、高温焙烧的工艺,成功制得FeCl_(2)产品。其除杂最佳条件是:还原铁粉添加量1.1eq,p H3.5,结晶最佳温度是30℃;焙烧最佳条件是:草酸添加量为2%,焙烧温度250℃,焙烧时间2 h,在N_(2)气氛... 研究了不锈钢酸洗废液经除杂、蒸发浓缩、冷却结晶、高温焙烧的工艺,成功制得FeCl_(2)产品。其除杂最佳条件是:还原铁粉添加量1.1eq,p H3.5,结晶最佳温度是30℃;焙烧最佳条件是:草酸添加量为2%,焙烧温度250℃,焙烧时间2 h,在N_(2)气氛炉下焙烧即可得到纯度≥99%的FeCl_(2)产品,实现了酸洗废液资源化再生利用。 展开更多
关键词 酸洗废液 资源化 焙烧 氯化亚铁
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废磷酸系刻蚀液制备电池级磷酸铁 被引量:1
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作者 贾婧 王秋帏 +2 位作者 王小赫 胡馨尹 吴旭 《化工环保》 CAS CSCD 北大核心 2023年第4期484-491,共8页
以废磷酸系刻蚀液为原料、铁粉为铁源、H_(2)O_(2)为氧化剂,采用氧化沉淀法一步合成结晶态FePO4。考察了铁磷摩尔比、反应温度、H_(2)O_(2)投加量、pH、煅烧温度对FePO4制备的影响,利用XRD、SEM等手段表征了FePO4的形貌和晶体结构。实... 以废磷酸系刻蚀液为原料、铁粉为铁源、H_(2)O_(2)为氧化剂,采用氧化沉淀法一步合成结晶态FePO4。考察了铁磷摩尔比、反应温度、H_(2)O_(2)投加量、pH、煅烧温度对FePO4制备的影响,利用XRD、SEM等手段表征了FePO4的形貌和晶体结构。实验结果表明,在铁磷摩尔比1.000、反应温度90℃、n(H_(2)O_(2))∶n(H3PO4)1.05、pH 2.2~2.4、煅烧温度600℃的最佳工艺条件下,废刻蚀液中PO43-、NO3-、醋酸的去除率分别为87.70%、87.42%和90.25%,FePO4的产品转化率为77.99%,所制备的FePO4晶体结构规则,结晶度高,粒径为2.0~6.0μm,铁、磷质量分数和杂质元素含量等指标均能满足《电池用磷酸铁》(HG/T 4701—2021)的要求。 展开更多
关键词 磷酸铁 磷酸系刻蚀液 锂离子电池 沉淀
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多孔硅制备及在太阳能电池中的应用研究进展
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作者 李浩杨 任永生 +5 位作者 马文会 詹曙 曾毅 刘国炎 王正省 王哲 《功能材料》 CAS CSCD 北大核心 2023年第12期12045-12055,共11页
多孔硅是通过对单晶硅片进行电化学腐蚀或适当的化学腐蚀而形成的一种纳米结构半导体材料。多孔硅纳米材料因其巨大的表面积、可调谐的光学性质和良好的相容性,被广泛应用于电子器件、生物传感、化学传感、药物传递、生物芯片等诸多领... 多孔硅是通过对单晶硅片进行电化学腐蚀或适当的化学腐蚀而形成的一种纳米结构半导体材料。多孔硅纳米材料因其巨大的表面积、可调谐的光学性质和良好的相容性,被广泛应用于电子器件、生物传感、化学传感、药物传递、生物芯片等诸多领域。当前研究的挑战主要在于开发更简单高效的多孔硅纳米材料合成方法以及提高其在实际应用中的表现。综述了多孔硅纳米材料的制备方法及其光致发光在太阳能电池领域中的应用。 展开更多
关键词 多孔硅制备 化学刻蚀 MACE 电化学腐蚀 溶液合成 光致发光 多孔硅光波转换结构
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基于膜吸收法处理实际高浓度蚀刻废液的研究 被引量:1
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作者 刘华光 任亚涛 +3 位作者 赵子龙 王宏杰 董文艺 侯惠惠 《工业水处理》 CAS CSCD 北大核心 2023年第2期111-117,共7页
为实现对印刷线路板生产领域高浓度蚀刻废液的高效处理,建立了“膜吸收+Na_(2)S破络+PAC混凝沉淀”工艺,考察其对实际高氨氮蚀刻废液的脱氨除铜效能,并优化了工艺条件。通过单因素实验探究了料液pH和流速、吸收液浓度和流速、膜组件级... 为实现对印刷线路板生产领域高浓度蚀刻废液的高效处理,建立了“膜吸收+Na_(2)S破络+PAC混凝沉淀”工艺,考察其对实际高氨氮蚀刻废液的脱氨除铜效能,并优化了工艺条件。通过单因素实验探究了料液pH和流速、吸收液浓度和流速、膜组件级数与温度等因素对NH4+-N去除率、传质系数和过膜通量的影响,并确定了最佳运行参数:料液pH=10.5、流速3.6 cm/s,吸收液浓度2.0 mol/L、流速1.1 cm/s,膜组件级数为18级,温度为40℃。在该最佳运行条件下,蚀刻废液NH_(4)^(+)-N可由82000 mg/L降至100 mg/L左右,去除率保持在99.8%以上,膜传质系数为3.38×10^(-6)m/s,过膜通量为40.7 mg/(m^(2)·s)。同时对Na_(2)S破络及混凝沉淀工艺条件进行了优化,以n(S^(2-))/n(Cu^(2+))=1.4投加Na_(2)S对铜氨络合物进行破络,并投加150 mg/L PAC进行混凝沉淀,可将出水铜质量浓度控制在0.5 mg/L以下。重复实验结果表明,膜吸收法长期运行效能稳定,对印刷线路板高氨氮生产废水处理具有很好的适用性,是解决高浓度蚀刻废液污染问题的有效技术途径之一。 展开更多
关键词 蚀刻废液 膜吸收法 高氨氮 参数优化
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铜蚀刻液蚀刻工艺的研究 被引量:1
7
作者 章学春 聂航 李玉兴 《上海化工》 CAS 2023年第4期33-36,共4页
研究了以过氧化氢为主成分的铜蚀刻液。采用小试蚀刻机模拟产线测试条件,考察铜离子质量浓度、铜络合剂的种类与质量分数、过氧化氢质量分数、蚀刻温度以及蚀刻压力对铜蚀刻速率的影响。得到的最佳蚀刻条件为:铜离子质量浓度为3 g/L,铜... 研究了以过氧化氢为主成分的铜蚀刻液。采用小试蚀刻机模拟产线测试条件,考察铜离子质量浓度、铜络合剂的种类与质量分数、过氧化氢质量分数、蚀刻温度以及蚀刻压力对铜蚀刻速率的影响。得到的最佳蚀刻条件为:铜离子质量浓度为3 g/L,铜络合剂选用亚氨基二乙酸且质量分数为1.5%,过氧化氢质量分数为20%,温度为30~45℃,压力为0.2 MPa。 展开更多
关键词 过氧化氢 蚀刻液
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莫尔法测定单液型酸性蚀刻液中氯含量 被引量:1
8
作者 梁芬香 《广东化工》 CAS 2023年第1期194-195,164,共3页
介绍使用莫尔法方法测定单液型酸性蚀刻液中氯含量,最佳测定的条件:在有大量NH_(4)^(+)离子存在情况下,用铬酸钾作为指示剂,K_(2)CrO_(4)浓度控制约为5.3×10^(-3)mol/L,酸度控制p H值在6.5~7.0之间。方法是加入50.0 g/L铬酸钾指示... 介绍使用莫尔法方法测定单液型酸性蚀刻液中氯含量,最佳测定的条件:在有大量NH_(4)^(+)离子存在情况下,用铬酸钾作为指示剂,K_(2)CrO_(4)浓度控制约为5.3×10^(-3)mol/L,酸度控制p H值在6.5~7.0之间。方法是加入50.0 g/L铬酸钾指示剂1.00 mL,滴加氢氧化钠溶液至溶液的颜色由深黄色变成黄色。该方法的优点是操作方便且简单、容易控制酸度在规定的范围内、测定速度快、结果符合工业生产的分析要求。缺点是需使用到价格相对比较昂贵的硝酸银试剂,同时滴定废液易造成废水中含有对环境有害的重金属银、铬元素,可以通过专门收集回收进行处理解决。 展开更多
关键词 莫尔法 测定 单液型 酸性蚀刻液
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TC4钛合金HF-HNO_(3)化学抛光的表面质量和元素机理分析
9
作者 高发 李文辉 +3 位作者 郭策 杨胜强 李秀红 刘竞 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2023年第4期103-109,共7页
为了提升电火花线切割(Wire cut Electric Discharge Machining,WEDM)加工后的TC4钛合金表面质量,减少表面重熔层厚度,采用不同浓度配比(1∶4、1∶6和1∶8)的HF-HNO_(3)酸蚀溶液对钛合金试件进行化学抛光处理。实验结果表明,HF-HNO_(3)... 为了提升电火花线切割(Wire cut Electric Discharge Machining,WEDM)加工后的TC4钛合金表面质量,减少表面重熔层厚度,采用不同浓度配比(1∶4、1∶6和1∶8)的HF-HNO_(3)酸蚀溶液对钛合金试件进行化学抛光处理。实验结果表明,HF-HNO_(3)酸蚀溶液能使钛合金重熔层得到显著去除,表面微裂纹得到有效控制;当HF-HNO_(3)酸蚀溶液的浓度配比为1:6时,试件能获得最低的表面粗糙度和最大的表面粗糙度下降率,并且抛光前后钛合金表面元素含量发生了不同程度的变化,Ti、Al和V元素质量分数分别提高了21.5%、41.3%和13.2%,而O、C元素质量分数分别降低了82.5%和33.6%;HF-HNO_(3)酸蚀溶液可显著改善TC4钛合金试件电火花线切割加工后的表面缺陷。钛合金重熔层结构的主要成分与化学抛光后氧化膜的主要成分相似,但与氧化膜的结构不同,这对TC4钛合金试件表面质量提升具有重要意义。 展开更多
关键词 HF-HNO_(3)酸蚀溶液 化学抛光 重熔层 TC4钛合金 电火花线切割
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废铝蚀刻液中硝酸、磷酸和醋酸浓度的电位滴定法连续测定研究
10
作者 陈荔英 许椐洋 +5 位作者 余丰毅 侯海丽 王志巍 陈嘉宾 黄丽英 曾广志 《再生资源与循环经济》 2023年第1期35-38,共4页
废铝刻蚀液是由硝酸、磷酸和醋酸组成的一种混酸,把握混酸中各酸的含量是该工业废液回收利用的重要前提。以乙醇/乙二醇共混物为溶剂,以氢氧化钠/乙醇溶液为滴定剂,采用一步法连续电位滴定对铝蚀刻液混酸中各单酸浓度进行分析,优化了滴... 废铝刻蚀液是由硝酸、磷酸和醋酸组成的一种混酸,把握混酸中各酸的含量是该工业废液回收利用的重要前提。以乙醇/乙二醇共混物为溶剂,以氢氧化钠/乙醇溶液为滴定剂,采用一步法连续电位滴定对铝蚀刻液混酸中各单酸浓度进行分析,优化了滴定条件并进行了实验验证。结果表明,在最优滴定条件下,混酸中各酸的测定值与实际值的偏差均较小。可满足现实生产中废混酸回收利用的分析要求,有望获得实际应用。 展开更多
关键词 废铝刻蚀液 电位滴定 硝酸 磷酸 醋酸
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从废蚀刻液中回收资源的应用研究 被引量:32
11
作者 汪晓军 何花 +1 位作者 万小芳 崔晓飞 《环境工程》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期75-77,共3页
从电路板蚀刻液回收硫酸铜及制作再生蚀刻液进行了工艺探索 ,得出中和法可从蚀刻液中脱除约 90 %的铜 ,沉淀氢氧化铜的最佳pH值为 5 6~ 6 0。采用水合肼还原法与硫化钠沉淀法可进一步脱除蚀刻液中的铜。研究结果表明 ,水合肼还原法... 从电路板蚀刻液回收硫酸铜及制作再生蚀刻液进行了工艺探索 ,得出中和法可从蚀刻液中脱除约 90 %的铜 ,沉淀氢氧化铜的最佳pH值为 5 6~ 6 0。采用水合肼还原法与硫化钠沉淀法可进一步脱除蚀刻液中的铜。研究结果表明 ,水合肼还原法回收海绵铜 ,在pH值为 6 0 ,反应温度 4 0℃ ,水合肼的投加浓度为 3%时 ,铜的回收率达到了 98%以上。而硫化钠沉淀法可取得 99%以上脱除废液中的铜效果 ,且具有适应范围广 ,操作成本低的优势。 展开更多
关键词 废蚀刻液 回收率 资源 电路板 硫酸铜 水合肼
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三氯化铁溶液中影响铁镍合金蚀刻速率的因素 被引量:7
12
作者 刘飘 堵永国 +3 位作者 张为军 芦玉峰 杨娟 马占东 《腐蚀与防护》 CAS 北大核心 2007年第5期238-241,共4页
采用浸渍蚀刻的方法,研究了影响Fex(x=56-59)Ni1-x合金箔在三氯化铁溶液中蚀刻速率的几个因素,并对蚀刻液的有效蚀刻能力及失效蚀刻液的除镍和再生进行了初步的研究。研究结果表明:氧化还原电位随蚀刻液浓度的增大而升高,氧化还原电位越... 采用浸渍蚀刻的方法,研究了影响Fex(x=56-59)Ni1-x合金箔在三氯化铁溶液中蚀刻速率的几个因素,并对蚀刻液的有效蚀刻能力及失效蚀刻液的除镍和再生进行了初步的研究。研究结果表明:氧化还原电位随蚀刻液浓度的增大而升高,氧化还原电位越高,蚀刻反应趋势越大;蚀刻速率随浓度的增加先增大,再下降,且在浓度为40%左右出现极大值;蚀刻液温度越高、pH值越小,蚀刻速率越大;除镍后的失效蚀刻液经再生后能达到新鲜蚀刻液的90%以上,基本达到再生利用的要求。 展开更多
关键词 FE-NI合金 蚀刻速率 再生 FECL3 蚀刻废液
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印刷线路板精细蚀刻的影响因素 被引量:18
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作者 魏静 罗韦因 +1 位作者 徐金来 罗海兵 《表面技术》 EI CAS CSCD 2005年第2期49-50,55,共3页
 为了研究印刷线路板(PCB)精细蚀刻,并初步确定蚀刻的工艺。采用静态蚀刻的方法,通过研究印刷线路板铜箔在酸性CuCl2溶液中影响蚀刻速度的几个因素,得出了蚀刻速度随蚀刻时间的变化规律,并给出了初步的解释;同时得到了蚀刻液中几种不...  为了研究印刷线路板(PCB)精细蚀刻,并初步确定蚀刻的工艺。采用静态蚀刻的方法,通过研究印刷线路板铜箔在酸性CuCl2溶液中影响蚀刻速度的几个因素,得出了蚀刻速度随蚀刻时间的变化规律,并给出了初步的解释;同时得到了蚀刻液中几种不同氯化物添加剂对蚀刻速度的影响,结果表明阴离子不是影响蚀刻速度的唯一因素,阳离子也有一定的影响。 展开更多
关键词 印刷线路板 蚀刻 酸性CuCl2溶液 钝化
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FeCl_3蚀刻液的再生研究 被引量:6
14
作者 刘飘 堵永国 +3 位作者 张为军 吴剑锋 杨光 俞洁 《电镀与环保》 CAS CSCD 2006年第6期36-39,共4页
通过测定腐蚀液的氧化还原电位的变化,研究了FeCl3腐蚀液的失效规律,并以还原铁粉为置换剂,去除含镍的FeCl3腐蚀液中的镍组分。系统研究了铁镍比、反应温度、反应时间、溶液pH值等因素对FeCl3腐蚀废液再生恢复效果的影响。结果表明,随... 通过测定腐蚀液的氧化还原电位的变化,研究了FeCl3腐蚀液的失效规律,并以还原铁粉为置换剂,去除含镍的FeCl3腐蚀液中的镍组分。系统研究了铁镍比、反应温度、反应时间、溶液pH值等因素对FeCl3腐蚀废液再生恢复效果的影响。结果表明,随着腐蚀过程的进行,氧化还原电位在开始的10 min内迅速下降190 mV;当腐蚀液中所溶Fe-Ni合金的质量浓度达到65 g/L时,基本失去腐蚀能力;而加入高表面活性的铁粉,在n(Fe)/n(Ni)=3、提高反应温度、反应时间约为60 min、pH≈4的条件下,腐蚀液的氧化还原电位恢复到新鲜腐蚀液的95%以上,达到了FeCl3腐蚀液再生利用的要求。 展开更多
关键词 FECL3 腐蚀废液 氧化还原电位 腐蚀 置换反应
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循环经济与PCB行业废弃物循环利用 被引量:8
15
作者 刘远彬 左玉辉 程志光 《城市环境与城市生态》 CAS CSSCI CSCD 北大核心 2003年第6期121-122,共2页
从不同角度阐述了循环经济的内涵,认为循环经济是一种"三赢"经济,是工业可持续发展的必然选择。并针对我国印制电路板(PCB)行业快速发展过程中产生大量有回收利用价值的PCB废弃物的现状,将循环经济发展模式运用于PCB行业废弃... 从不同角度阐述了循环经济的内涵,认为循环经济是一种"三赢"经济,是工业可持续发展的必然选择。并针对我国印制电路板(PCB)行业快速发展过程中产生大量有回收利用价值的PCB废弃物的现状,将循环经济发展模式运用于PCB行业废弃物的回收处理,探讨了PCB废弃物处理模式从"单向非闭合型"向"循环闭合型"转变的途径,进而实现PCB行业的可持续发展。 展开更多
关键词 循环经济 印制电路板 PCB 废弃物处理 循环利用 可持续发展
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利用(110)硅片制作体硅微光开关的工艺研究 被引量:5
16
作者 张龙 董玮 +3 位作者 张歆东 刘彩霞 陈维友 徐宝琨 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期99-103,共5页
采用基于湿法腐蚀工艺的体硅微机械加工方法 ,利用 (110 )硅片结晶学特性 ,通过光刻、反应离子刻蚀和湿法刻蚀等工艺 ,在硅片上同时制作出微光开关的微反射镜结构、悬臂梁结构、扭臂梁结构和光纤定位槽结构 ,器件的一致性好 ,制作工艺简... 采用基于湿法腐蚀工艺的体硅微机械加工方法 ,利用 (110 )硅片结晶学特性 ,通过光刻、反应离子刻蚀和湿法刻蚀等工艺 ,在硅片上同时制作出微光开关的微反射镜结构、悬臂梁结构、扭臂梁结构和光纤定位槽结构 ,器件的一致性好 ,制作工艺简单 .利用扇形定位区域 ,精确地沿 (110 )硅片的 { 111}面进行定向腐蚀 ,可使微反射镜镜面垂直度达到 90± 0 .3°,经测量表面粗糙度低于 6 nm. 展开更多
关键词 微反射镜 {111}面 湿法腐蚀 粗糙度 氢氧化钾溶液
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电沉积种子层化学控制生长氧化锌纳米棒和纳米管 被引量:6
17
作者 刘志锋 雅菁 鄂磊 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2009年第6期995-999,共5页
采用水溶液法在电沉积的ZnO种子层上制备了高度取向的ZnO纳米棒阵列,并通过碱溶液化学腐蚀法获得了ZnO纳米管。对ZnO纳米棒和纳米管的溶液生长和腐蚀过程进行了分析。结果表明,种子层的结构和性能对ZnO纳米棒有着重要的影响,在-700mV电... 采用水溶液法在电沉积的ZnO种子层上制备了高度取向的ZnO纳米棒阵列,并通过碱溶液化学腐蚀法获得了ZnO纳米管。对ZnO纳米棒和纳米管的溶液生长和腐蚀过程进行了分析。结果表明,种子层的结构和性能对ZnO纳米棒有着重要的影响,在-700mV电位下沉积的种子层薄膜均匀性好,生长的纳米棒密度大、与基底垂直性好;碱溶液对纳米棒的腐蚀具有选择性,通过控制腐蚀液的浓度和时间,可获得中空的ZnO纳米管。 展开更多
关键词 ZnO 纳米棒 纳米管 水溶液法 腐蚀
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FeCl_3蚀刻废液的除镍研究 被引量:10
18
作者 杨云霞 王燕 张蕾 《华东理工大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期320-322,共3页
以铁粉为置换剂 ,去除含镍 Fe Cl3 蚀刻废液中的镍组分 ,达到 Fe Cl3 蚀刻液再生利用的要求。研究了铁粉种类、铁镍比、反应温度、反应时间、溶液酸度等因素对 Fe Cl3 蚀刻废液中镍置换率的影响。结果表明 ,具有高表面活性的铁粉 ,在提... 以铁粉为置换剂 ,去除含镍 Fe Cl3 蚀刻废液中的镍组分 ,达到 Fe Cl3 蚀刻液再生利用的要求。研究了铁粉种类、铁镍比、反应温度、反应时间、溶液酸度等因素对 Fe Cl3 蚀刻废液中镍置换率的影响。结果表明 ,具有高表面活性的铁粉 ,在提高反应温度 ,Fe/Ni=1~ 3( m/m) ,反应时间约为 1 h,p H≈ 4的条件下 ,镍的置换率达 展开更多
关键词 铁粉 置换率 置换反应 氯化铁蚀刻废液 反应温度
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单晶硅各向异性湿法刻蚀的形貌控制 被引量:6
19
作者 姚明秋 唐彬 苏伟 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期350-357,共8页
针对摆式微加速度计的制作,对利用两种添加剂共同修饰的TMAH刻蚀液的单晶硅湿法刻蚀技术及其相关刻蚀特性进行了研究。分析了两种添加剂之间的作用机理及对单晶硅湿法刻蚀的影响,选择合适的添加剂刻蚀液配比,实现了稳定的刻蚀形貌控制... 针对摆式微加速度计的制作,对利用两种添加剂共同修饰的TMAH刻蚀液的单晶硅湿法刻蚀技术及其相关刻蚀特性进行了研究。分析了两种添加剂之间的作用机理及对单晶硅湿法刻蚀的影响,选择合适的添加剂刻蚀液配比,实现了稳定的刻蚀形貌控制。通过两种添加剂的共同作用,获得了具有光滑刻蚀表面(粗糙度约为1nm)和良好凸角保护(凸角侧蚀比率小于0.8)的刻蚀形貌。实验结果表明,在三重溶液(TMAH+Triton-X-100+IPA)下的刻蚀形貌具有明显优势。最后,基于添加剂对疏水性单晶硅材料的作用机理及表面张力调节,表面活性剂和酒精类添加剂之间的相互作用分析了刻蚀形貌发生变化的原因。以典型悬臂梁-质量块的制作为例,验证了采用该单晶硅刻蚀形貌控制方法可以获得微加速度计光滑的悬臂梁表面和无需凸角补偿的完整质量块。相比于其它制作工艺,该方法简单、易操作,有利于提高微机电器件的性能。 展开更多
关键词 单晶硅 湿法刻蚀 形貌控制 三重溶液 表面粗糙度 凸角
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电路板蚀刻废液及其回收铜盐产品中PCBs污染特征 被引量:4
20
作者 王璞 梁勇 +3 位作者 许世爱 高仁富 李英明 张庆华 《环境科学研究》 EI CAS CSSCI CSCD 北大核心 2015年第3期460-465,共6页
POPs(持久性有机污染物)是近年来广受关注的一类环境污染物.为研究工业过程中POPs的运转迁移,针对电路板蚀刻废液及其回收后生产的铜盐产品中7种指示性PCBs(多氯联苯)及CB-209进行分析.结果表明,PCBs在碱性废液和微蚀废液中未检出,... POPs(持久性有机污染物)是近年来广受关注的一类环境污染物.为研究工业过程中POPs的运转迁移,针对电路板蚀刻废液及其回收后生产的铜盐产品中7种指示性PCBs(多氯联苯)及CB-209进行分析.结果表明,PCBs在碱性废液和微蚀废液中未检出,而在酸性废液中有不同程度检出,ρ(∑8PCBs)在0.41~60.80 ng/L之间,其中ρ(∑7指示性PCBs)在0.24~58.00 ng/L之间.3种铜盐产品〔Cu Cl2、Cu2(OH)3Cl和Cu SO4〕中,Cu SO4中w(∑8PCBs)相对较高,在2.75~284.00 ng/kg之间;而Cu Cl2中w(∑8PCBs)在6.95~31.50 ng/kg之间;Cu2(OH)3Cl中w(∑8PCBs)在7.31~9.42 ng/kg之间.污染物指纹特征表明,酸性蚀刻废液及其铜盐产品中的PCBs具有十分相似的分布特征,CB-28是最主要的检出单体,并且w(CB-209)相对较高,表明铜盐产品中的PCBs主要来源于生产原料(酸性蚀刻废液)的携带,而酸性蚀刻废液中污染物来源须待进一步分析研究. 展开更多
关键词 多氯联苯 蚀刻废液 铜盐产品 污染物来源
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