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Practical 2.45-GHz microwave-driven Cs-free Hˉ ion source developed at Peking University 被引量:2
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作者 张滔 彭士香 +8 位作者 武文斌 任海涛 张景丰 温佳美 马腾昊 蒋耀湘 孙江 郭之虞 陈佳洱 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第10期477-483,共7页
A practical 2.45-GHz microwave-driven Cs-free H^- source was improved based on the experimental H^- source at Peking University(PKU). Several structural improvements were implemented to meet the practical requiremen... A practical 2.45-GHz microwave-driven Cs-free H^- source was improved based on the experimental H^- source at Peking University(PKU). Several structural improvements were implemented to meet the practical requirements of Xi'an Proton Application Facility(XiPaf). Firstly, the plasma chamber size was optimized to enhance the plasma intensity and stability. Secondly, the filter magnetic field and electron deflecting magnetic field were enhanced to reduce co-extracted electrons. Thirdly, a new two-electrode extraction system with farther electrode gap and enhanced water cooling ability to diminish spark and sputter during beam extraction was applied. At last, the direct H^- current measuring method was adopted by the arrangement of a new pair of bending magnets before Faraday cup(FC) to remove residual electrons. With these improvements, electron cyclotron resonance(ECR) magnetic field optimization experiments and operation parameter variation experiments were carried out on the H^- ion source and a maximum 8.5-mA pure H^- beam was extracted at 50 kV with the time structure of 100 Hz/0.3 ms. The root-mean-square(RMS) emittance of the beam is 0.25 Π·mm·mrad. This improved H^- source and extraction system were maintenance-free for more than 200 hours in operation. 展开更多
关键词 electron cyclotron resonance (ECR) ion source hydrogen plasma negative ion beam plasma application
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电子回旋共振离子推力器研究与应用综述 被引量:1
2
作者 杨涓 牟浩 +1 位作者 耿海 吴先明 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第6期68-81,共14页
电子回旋共振离子推力器(ECRIT)以电子的无碰撞加热机制产生等离子体,具有推力范围宽、下限低、可精确控制的特点。本文从原理和工作过程出发,分析了ECRIT对当今空间飞行任务的适用性。围绕这些适用范围,综述了当前原理可行的10cm低推力... 电子回旋共振离子推力器(ECRIT)以电子的无碰撞加热机制产生等离子体,具有推力范围宽、下限低、可精确控制的特点。本文从原理和工作过程出发,分析了ECRIT对当今空间飞行任务的适用性。围绕这些适用范围,综述了当前原理可行的10cm低推力、2cm微推力ECRIT在不同工质驱动下的研究和应用现状,总结了这些推力器性能的重要特征,分析了制约推力器进一步发展的关键问题。结果表明,ECRIT因为独特的原理和物理过程以及成功的飞行实例,被证明适用于当今深空与近地小行星及引力波探测、微小卫星控制以及地球极低轨道飞行器的阻力补偿。 展开更多
关键词 电子回旋共振离子推力器 应用分析 束流引出 PIC模拟 吸气式电推进系统 综述
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EAST上离子回旋波与中性束注入协同加热产生的高能粒子分布及输运研究
3
作者 张伟 张新军 +6 位作者 刘鲁南 朱光辉 杨桦 张华朋 郑艺峰 何开洋 黄娟 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第21期46-55,共10页
在磁约束聚变等离子体中,离子回旋共振加热(ICRF)与中性束注入(NBI)是两种主要的加热方法.它们的协同加热一直都是聚变领域研究的重点.本文首先阐明了ICRF高次谐波加热以及ICRF与NBI协同加热的基本原理.通过EAST托卡马克上实验和相应的T... 在磁约束聚变等离子体中,离子回旋共振加热(ICRF)与中性束注入(NBI)是两种主要的加热方法.它们的协同加热一直都是聚变领域研究的重点.本文首先阐明了ICRF高次谐波加热以及ICRF与NBI协同加热的基本原理.通过EAST托卡马克上实验和相应的TRANSP模拟,发现了ICRF与NBI的协同加热不仅可以显著提高等离子体参数(极向比压、等离子体储能、离子温度、中子产额等),而且能产生大量高能粒子,形成高能粒子尾巴.例如,1 MW的ICRF三次谐波可将初始能量为60 keV的NBI高能氘离子加速至600 keV.通过改变氢少子含量、提高ICRF和NBI加热功率、使用ICRF在轴加热、优化NBI注入角度等,可以有效地提高协同加热效率以及高能粒子的能量.进一步地,将协同加热产生的高能粒子分布代入粒子轨道程序中,计算了高能粒子的输运以及其在第一壁上的损失.结果表明,损失的高能粒子的初始位置位于低场侧,且损失轨道大部分为捕获粒子轨道.高能粒子损失位置主要位于主限制器以及ICRF和低杂波限制器的中上平面.这些损失的高能粒子被认为是造成限制器上热斑的主要原因之一. 展开更多
关键词 离子回旋共振加热 中性束注入 协同加热 高能粒子分布
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EAST上中性束注入和离子回旋共振加热下快离子分布函数层析反演
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作者 孙延旭 黄娟 +4 位作者 高伟 常加峰 张伟 史唱 李云鹤 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第21期64-73,共10页
聚变等离子体中快离子分布函数的速度空间层析反演(tomography)是研究磁约束核聚变装置中快离子分布和输运的重要手段.在东方超环(experimental advanced superconducting tokamak,EAST)中性束注入(neutral beam injection,NBI)与离子... 聚变等离子体中快离子分布函数的速度空间层析反演(tomography)是研究磁约束核聚变装置中快离子分布和输运的重要手段.在东方超环(experimental advanced superconducting tokamak,EAST)中性束注入(neutral beam injection,NBI)与离子回旋共振加热(ion cyclotron range of frequencies heating,ICRF)协同加热实验中,快离子诊断测量信号以及TRANSP模拟获得的快离子分布函数中观测到协同效应产生的高于中性束注入能量的高能粒子.为了研究快离子分布行为,获得不同加热条件下诊断测量的快离子分布函数,采用不同的正则化方法,增加先验信息以及将快离子D_(α)光谱诊断(fast-ion D_(α)spectroscopy,FIDA)与中子发射谱仪(neutron emission spectrometers,NES)相结合等方式,有效提高快离子诊断信噪比以及在速度空间权重覆盖率,实现在单独NBI加热以及NBI和ICRF协同加热条件下基于诊断测量的层析反演,获得真实可靠的快离子分布函数.这为下一步提高NBI与ICRF协同加热效率,研究协同加热机制以及相关的快离子分布和输运行为奠定基础. 展开更多
关键词 速度空间层析反演 快离子 D_(α) 光谱诊断 中性束注入 离子回旋共振加热
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医用重离子回旋加速器引出系统设计 被引量:3
5
作者 郝焕锋 赵红卫 +3 位作者 姚庆高 王兵 宋明涛 张金泉 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期2991-2994,共4页
紧凑型回旋加速器作为重离子医学专用装置同步加速器的注入器,其引出系统设计所用的磁场为TOSCA模型计算磁场。通过单粒子轨道计算确定引出系统的元件类型及基本参数;通过多粒子跟踪确定最终的元件参数和束流参数。为了提高引出效率,改... 紧凑型回旋加速器作为重离子医学专用装置同步加速器的注入器,其引出系统设计所用的磁场为TOSCA模型计算磁场。通过单粒子轨道计算确定引出系统的元件类型及基本参数;通过多粒子跟踪确定最终的元件参数和束流参数。为了提高引出效率,改善引出束流品质,在引出位置磁场梯度较大的位置,安放了一块C型磁铁,以改善此处的磁场梯度。同时,为了消除此C型磁铁对主磁场的影响,在此区域安放了一对线圈。计算结果表明引出系统的设计能够保证引出束流的强度和品质符合同步加速器的要求。 展开更多
关键词 紧凑型 重离子 回旋加速器 束流 肿瘤治疗
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氧回旋离子束刻蚀化学气相沉积金刚石膜 被引量:2
6
作者 吴俊 马志斌 沈武林 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期2459-2463,共5页
利用非对称磁镜场电子回旋共振等离子体产生的氧回旋离子束刻蚀了化学气相沉积金刚石膜,研究了工作气压和磁电加热电压对金刚石样品附近的离子温度和密度的影响,并分析了金刚石膜的刻蚀和机械抛光效果。结果表明:当工作气压为0.03Pa,磁... 利用非对称磁镜场电子回旋共振等离子体产生的氧回旋离子束刻蚀了化学气相沉积金刚石膜,研究了工作气压和磁电加热电压对金刚石样品附近的离子温度和密度的影响,并分析了金刚石膜的刻蚀和机械抛光效果。结果表明:当工作气压为0.03Pa,磁电加热电压为200 V时,离子温度和密度最大,分别为7.38eV和23.8×1010cm-3。在此优化条件下刻蚀金刚石膜4h后,其表面粗糙度由刻蚀前的3.525μm降为2.512μm,机械抛光15min后,表面粗糙度降低为0.517μm,即金刚石膜经离子束刻蚀后可显著提高机械抛光效率。 展开更多
关键词 离子灵敏探针 离子温度 金刚石膜 刻蚀 回旋离子束
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高电荷态金属离子的产生实验研究 被引量:1
7
作者 孙良亭 马雷 +4 位作者 曹云 赵红卫 马保华 张雪珍 张子民 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期531-534,共4页
 为满足兰州重离子加速器的实验要求,在14.5GHz高电荷态ECR离子源上做了一系列产生金属离子的实验,尝试了多种方法,包括炉子加热及MIVOC(MetallicIonformVolatileCompounds)两种方法,其中,用炉子做的结果较理想。实验主要研究了铜、锌...  为满足兰州重离子加速器的实验要求,在14.5GHz高电荷态ECR离子源上做了一系列产生金属离子的实验,尝试了多种方法,包括炉子加热及MIVOC(MetallicIonformVolatileCompounds)两种方法,其中,用炉子做的结果较理想。实验主要研究了铜、锌、镍多种电荷态离子的产生,具有代表性的是39euA的Cu13+,30euA的Zn15+和29euA的Ni10+。分别给出了这三种金属离子产生的多电荷态束流峰谱图,以及实验的一些其它现象及结果,并对其进行了讨论与总结。 展开更多
关键词 ECR离子源 金属炉子 高电荷态
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10MeV强流回旋加速器的束流调试 被引量:5
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作者 李振国 吴隆成 +10 位作者 葛涛 姚红娟 纪彬 殷治国 管锋平 侯世刚 张天爵 钟俊晴 邢建升 吕银龙 潘高峰 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期588-594,共7页
10MeV强流回旋加速器在中国原子能科学研究院研制成功,并取得了先进的束流指标。它是国内自主研发的首台紧凑型强流回旋加速器,具有多项技术特点。在其建造、调试过程中解决了诸多技术问题,作为一个回旋加速器综合实验装置,它不但为在建... 10MeV强流回旋加速器在中国原子能科学研究院研制成功,并取得了先进的束流指标。它是国内自主研发的首台紧凑型强流回旋加速器,具有多项技术特点。在其建造、调试过程中解决了诸多技术问题,作为一个回旋加速器综合实验装置,它不但为在建的100MeV回旋加速器提供了设计验证手段,而且也是强流回旋加速器关键部件的综合实验平台。它的建造成功,为小型回旋加速器的国产化提供了技术保证,为推广加速器在我国核医学领域的应用创造了条件。本文将重点介绍它的调试过程、解决的关键问题及调试结果。 展开更多
关键词 强流回旋加速器 H-离子源 高频谐振腔 束流强度
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100 MeV强流质子回旋加速器的调试
9
作者 葛涛 张天爵 +11 位作者 吕银龙 纪彬 贾先禄 温立鹏 殷治国 李要乾 李世强 刘振威 曹磊 王雷 符振辉 蒋昊 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期1547-1551,共5页
中国原子能科学研究院研制的100 MeV强流质子回旋加速器是国际上最大的紧凑型强流质子回旋加速器,取得了多项先进束流指标。截至2018年底,该加速器完成了分系统、整机调试,开展了多项物理实验,已稳定运行2 000 h以上。本文将重点介绍100... 中国原子能科学研究院研制的100 MeV强流质子回旋加速器是国际上最大的紧凑型强流质子回旋加速器,取得了多项先进束流指标。截至2018年底,该加速器完成了分系统、整机调试,开展了多项物理实验,已稳定运行2 000 h以上。本文将重点介绍100 MeV强流质子回旋加速器的调试过程以及调试中所解决的关键技术问题和调试结果。 展开更多
关键词 回旋加速器 H^-离子源 束流调试
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HI-13串列加速器升级工程进展与现状 被引量:5
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作者 杨丙凡 关遐令 +9 位作者 曹小平 张天爵 李振国 储诚节 崔保群 周立鹏 彭朝华 包轶文 唐洪庆 吴海诚 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期41-46,共6页
中国原子能科学研究院的"HI-13串列加速器升级工程"是在现有的HI-13串列加速器的基础上,前端新建一台100 MeV、200μA紧凑型质子回旋加速器(CYCIAE-100)和质量分辨为20000的在线同位素分离器(ISOL),后端新建一台能量增益为2 M... 中国原子能科学研究院的"HI-13串列加速器升级工程"是在现有的HI-13串列加速器的基础上,前端新建一台100 MeV、200μA紧凑型质子回旋加速器(CYCIAE-100)和质量分辨为20000的在线同位素分离器(ISOL),后端新建一台能量增益为2 MeV/q的超导直线增能器(SCB),形成一加速器组合装置。各加速器可单独使用,也可联合使用。回旋加速器单独使用时主要用于中子物理、辐射物理、生物医学的研究及同位素研发。联合使用时,回旋加速器的质子束将用于轰击靶源,产生放射性同位素束,经在线同位素分离器后注人串列加速器加速,为用户提供放射性核素束流。 展开更多
关键词 串列加速器 回旋加速器 在线同位素分离器 超导增能器 放射性核束
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ECR辐照装置中的离子束流分布模拟
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作者 王波 张根 +2 位作者 张文杰 祁超 严辉 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第12期1272-1279,共8页
面向等离子体材料作为聚变等离子体和核反应堆结构之间的主要界面,遭受恶劣的辐照条件,为了提升对面向等离子体材料的改进研究,实验室模拟聚变环境装置.基于已搭建完成的用于研究聚变反应堆中等离子体-材料相互作用的电子回旋共振(elect... 面向等离子体材料作为聚变等离子体和核反应堆结构之间的主要界面,遭受恶劣的辐照条件,为了提升对面向等离子体材料的改进研究,实验室模拟聚变环境装置.基于已搭建完成的用于研究聚变反应堆中等离子体-材料相互作用的电子回旋共振(electron cyclotron resonance,ECR)直线等离子体装置,使用有限元方法计算模拟了腔室内励磁线圈与永磁体叠加磁场的分布情况以及在此背景磁场下带电粒子在磁场中的运动轨迹.结果表明:磁场模拟结果与实验数据较为符合,共振面位置随线圈电流的增大而远离微波窗口.带电粒子轨迹模拟结果与实验中近似梨形等离子体束的分布一致,且到达样品台的束流密度随着励磁线圈电流的增大而增大.该研究可为ECR直线等离子体装置的进一步优化提供参考. 展开更多
关键词 电子回旋共振(ECR) 磁场 微波 离子 束流密度 等离子体
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不同磁路电子回旋共振离子源引出实验 被引量:7
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作者 金逸舟 杨涓 +2 位作者 冯冰冰 罗立涛 汤明杰 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期198-206,共9页
空间推进所用的电子回旋共振离子源(ECRIS)应具有体积小、效率高的特点.本文研究的ECRIS使用永磁体环产生磁场,有效减小了体积,该离子源利用微波在磁场中加热电子,电子与中性气体发生电离碰撞产生等离子体.磁场在微波加热电子的过程中... 空间推进所用的电子回旋共振离子源(ECRIS)应具有体积小、效率高的特点.本文研究的ECRIS使用永磁体环产生磁场,有效减小了体积,该离子源利用微波在磁场中加热电子,电子与中性气体发生电离碰撞产生等离子体.磁场在微波加热电子的过程中起关键作用,同时影响离子源内等离子体的约束和输运.通过比较四种磁路结构离子源的离子电流引出特性来研究磁场对10 cm ECRIS性能的影响.实验发现:在使用氩气的条件下,特定结构的离子源可引出160 mA的离子电流,最高推进剂利用率达60%,最小放电损耗为120 W·A^(-1);所有离子源均存在多个工作状态,工作状态在微波功率、气体流量、引出电压变化时会发生突变.离子源发生状态突变时的微波功率、气体流量的大小与离子源内磁体的位置有关.通过比较不同离子源的引出离子束流、放电损耗、气体利用率、工作稳定性的差异,归纳了磁场结构对此种ECRIS引出特性的影响规律,分析了其中的机理.实验结果表明:保持输入微波功率、气体流量、引出电压不变时,增大共振区的范围、减小共振区到栅极的距离,离子源能引出更大的离子电流;减小共振区到微波功率入口、气体入口的距离能降低维持离子源高状态所需的最小微波功率和最小气体流量,提高气体利用率,但会导致放电损耗增大.研究结果有助于深化对此类离子源工作过程的认识,为其设计和性能优化提供参考. 展开更多
关键词 电子回旋共振离子源 磁场结构 离子束流引出
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磁路和天线位置对2 cm电子回旋共振离子推力器性能影响的实验研究 被引量:9
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作者 夏旭 杨涓 +3 位作者 金逸舟 杭观荣 付瑜亮 胡展 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第23期224-234,共11页
磁路和天线位置对电子回旋共振离子推力器(electron cyclotron resonance ion thruster, ECRIT)的电子加热、等离子体约束和输运过程都有很大的影响,进而影响离子束流引出和中和器耦合电压.本文开展不同磁路和天线位置下2 cm ECRIT离子... 磁路和天线位置对电子回旋共振离子推力器(electron cyclotron resonance ion thruster, ECRIT)的电子加热、等离子体约束和输运过程都有很大的影响,进而影响离子束流引出和中和器耦合电压.本文开展不同磁路和天线位置下2 cm ECRIT离子束流和耦合电压变化规律的实验研究.通过比较不同磁路的离子源和中和器的束流引出特性,选出合理的磁路结构,再比较不同天线位置对束流引出的影响.归纳了磁路和天线位置对ECRIT的性能影响规律,得到合理的推力器结构.实验结果表明:功率和流量的增加有助于提高离子引出束流和降低电子引出压;保持天线空间位置不变,合理的磁路结构能增大电子获能并减小粒子损失,从而提高引出离子束流并降低耦合电压;在合理磁路结构条件下,离子源和中和器存在有利于离子引出和降低耦合电压的合理天线位置.根据实验结果选择出结构较优的中和器和离子源进行中和实验.结果表明:有无中和器工作时对离子源束流引出的影响较小;功率和流量为1 W, 0.1 sccm (1 sccm=1 mL/min)的中和器与功率和流量为2 W, 0.3 sccm的离子源能良好匹配工作,性能指标为离子束流5.3 mA、放电损耗337.5 W/A、推进剂利用率24.7%、推力368.6μN、比冲1277.6 s、中和器耦合电压17.4 V.研究结果有助于理解推力器工作机理,并为设计和性能优化提供参考. 展开更多
关键词 电子回旋共振离子推力器 束流引出 中和
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医用回旋加速器的粒子产生与运动机制分析 被引量:5
14
作者 杨学文 李帅 李剑明 《医疗卫生装备》 CAS 2018年第9期79-81,共3页
目的:探讨医用回旋加速器的粒子产生与运动机制,为实际工作提供技术支持。方法 :结合设备使用说明书Qilin service manual-maintenance part 10:ion source and central region和Qilin service manual-maintenance part13:extraction sy... 目的:探讨医用回旋加速器的粒子产生与运动机制,为实际工作提供技术支持。方法 :结合设备使用说明书Qilin service manual-maintenance part 10:ion source and central region和Qilin service manual-maintenance part13:extraction system以及加速器领域相关参考文献,分析离子源、电磁场和束流引出系统的功能及其运行方法。结果:提出回旋加速器完成对粒子加速具备的必要条件:一是离子源内部形成等离子体,二是电磁场作用,三是经过束流引出系统引导束流轰击至指定靶位,四是需要一个真空系统以及一个供电和控制系统。结论:粒子的产生与运动以及保证束流的品质需要在各个子系统紧密配合下完成,准确理解医用回旋加速器的粒子产生与运动机制对于正确使用回旋加速器具有重要作用。 展开更多
关键词 回旋加速器 离子源 粒子束流 电场聚焦 磁场聚焦
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结构和工质对ECR离子源引出束流的影响规律研究 被引量:1
15
作者 黄文斌 杨涓 +3 位作者 孟海波 夏旭 付瑜亮 胡展 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期1095-1101,共7页
提高离子源引出束流是提高电子回旋共振离子推力器(ECRIT)性能的重要途径,而离子迁移距离、磁路结构和气体工质等因素对引出束流有着密切的影响。利用具有不同栅极安装位置和磁体长度的离子源,通过实验研究,分析磁路、离子的迁移距离以... 提高离子源引出束流是提高电子回旋共振离子推力器(ECRIT)性能的重要途径,而离子迁移距离、磁路结构和气体工质等因素对引出束流有着密切的影响。利用具有不同栅极安装位置和磁体长度的离子源,通过实验研究,分析磁路、离子的迁移距离以及工质对引出束流的影响。实验结果表明:磁体长度过短会引起ECR区的不连续分布从而造成离子源性能大幅度下降,增加磁体长度在高流量下有利于提高栅极引出束流,低流量下会使束流降低;栅极安装环长度对引出束流的影响规律与离子源的磁路结构和工作状态有关,在气体流量较低时,更长的安装环有利于提高引出束流,高气体流量条件下,不同的磁路结构会使栅极安装环对引出束流产生不同的影响规律;氙工质可以明显提高低流量条件下离子源的引出束流和放电稳定性,但在高流量下受进气位置影响,中性粒子过于聚集而造成自由电子能量积累受到影响,从而会出现束流下降的现象。 展开更多
关键词 电子回旋共振 束流引出 磁路结构 栅极安装环 多工质
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回旋加速器离子源故障分析 被引量:1
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作者 韦伟 《中国医学装备》 2011年第12期108-109,共2页
目的;分析医用回旋加速器的离子源故障产生的原因,并进行故障的处理。方法:用MSS维修软件判断故障产生的原因,打开真空腔对离子源进行处理,并用离子源专用工具将离子源安装于正确位置,最后用MSS软件对回旋加速器的射频系统和离子源系统... 目的;分析医用回旋加速器的离子源故障产生的原因,并进行故障的处理。方法:用MSS维修软件判断故障产生的原因,打开真空腔对离子源进行处理,并用离子源专用工具将离子源安装于正确位置,最后用MSS软件对回旋加速器的射频系统和离子源系统进行调试。结果:通过观察射频和离子源系统的参数,最终在工作束流25μA时系统达到稳定。结论:要维护好离子源系统,使离子源有更长的寿命,工作束流应该在满足临床需要的前提下尽可能小一些,以减小系统的打火,延长使用寿命。 展开更多
关键词 回旋加速器 离子源 束流 射频
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ECR离子源微波窗损伤机理研究 被引量:2
17
作者 魏绪波 李公平 +2 位作者 潘小东 武启 刘玉国 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期556-563,共8页
强束流下微波窗损坏是限制2.45 GHz电子回旋共振(ECR)离子源寿命的主要原因,为延长离子源使用寿命,对ECR离子源微波窗损伤机理进行了研究。利用有限元软件分别计算了Al 2O 3陶瓷微波窗在微波、等离子体和回流电子束作用下的温度及应力... 强束流下微波窗损坏是限制2.45 GHz电子回旋共振(ECR)离子源寿命的主要原因,为延长离子源使用寿命,对ECR离子源微波窗损伤机理进行了研究。利用有限元软件分别计算了Al 2O 3陶瓷微波窗在微波、等离子体和回流电子束作用下的温度及应力分布。计算结果表明,在微波和等离子体作用下,微波窗边缘处应力最大,在电子束作用下,微波窗中心位置应力最大。增强水冷效果可降低微波和等离子体对微波窗的影响,增加Al 2O 3陶瓷微波窗表面氮化硼(BN)的厚度可降低电子束的影响,从而减少微波窗损坏概率,延长离子源寿命。 展开更多
关键词 电子回旋共振离子源 微波窗 强流离子束 有限元
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微波电子回旋共振等离子体技术及其应用 被引量:4
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作者 甄汉生 《真空科学与技术》 CSCD 1993年第2期79-86,共8页
微波电子回旋共振等离子体是淀积薄膜、微细加工和材料表面改性的一种重要手段。由于这种等离子体电离水平高,化学活性好,可以用来实现基片上薄膜的室温化学气相淀积和反应离子刻蚀,因此对于微电子学、光电子学和薄膜传感器件的发展,这... 微波电子回旋共振等离子体是淀积薄膜、微细加工和材料表面改性的一种重要手段。由于这种等离子体电离水平高,化学活性好,可以用来实现基片上薄膜的室温化学气相淀积和反应离子刻蚀,因此对于微电子学、光电子学和薄膜传感器件的发展,这种等离子体会具有重要的意义。此外,采用微波电子回旋共振等离子体原理,没有灯丝的离子源可以提高离子源的使用寿命,可以增加离子束的束流密度。可以确信,微波电子回旋共振等离子体的发展,将把离子源技术提高到一个新的水平。显然,这必将对材料表面改性工艺,包括离子注入掺杂等工艺的发展发挥作用。自从1985年以来,为了得到大容积等离子体而发展了微波电子回旋共振多磁极等离子体,这些技术在薄膜技术、微细加工以及材料表面改性中的应用前景是乐观的。我们将在本文中,介绍微波电子回旋共振等离子体的原理及其应用。 展开更多
关键词 等离子体 电子回旋共振 微波
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用于产生放射性离子束ECR离子源(英文)
19
作者 P.Jardin C.Canet +11 位作者 J.C.Cornell M.Dupuis C.Eleon J.L.Flambard G.Gaubert N.Lecesne P.Leherissier F.Lemagnen R.Leroy J.Y.Pacquet M.G.Saint Laurent A.C.C.Villari 《Chinese Physics C》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第S1期206-210,共5页
ECRIS’s dedicated to radioactive ion production must be as efficient as those used for production of stable elements,but in addition they are subject to more specific constraints such as radiation hardness, short ato... ECRIS’s dedicated to radioactive ion production must be as efficient as those used for production of stable elements,but in addition they are subject to more specific constraints such as radiation hardness, short atom-to-ion transformation time,beam purity and low cost.Up to now,different target/ion-source systems(TISSs)have been designed,using singly-charged ECRISs,multi-charged ion sources or an association of singly-to-multi-charged ECRISs.The main goals,constraints and advantages of different existing ECR setups will be compared before a more detailed description is given of the one designed for the SPIRALⅡproject and its future improvements. 展开更多
关键词 electron cyclotron resonance ion source electromagnetic ISOTOPE SEPARATOR RADIOACTIVE nuclear beams charge BREEDING
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