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In Deep UV Quantitative Analysis of Multi-Element Low Alloy Steel by Laser-Induced Breakdown Spectroscopy 被引量:4
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作者 Yong Xin Lanxiang Sun +3 位作者 Zhibo Cong Lifeng Qi Yang Li Zhijia Yang 《Journal of Computer and Communications》 2013年第7期19-22,共4页
The multi-element components of low alloy steel were quantified by using laser-induced breakdown spectroscopy (LIBS) in deep UV. The Nd:YAG pulsed laser was used to produce plasma. The spectrum was simultaneously obta... The multi-element components of low alloy steel were quantified by using laser-induced breakdown spectroscopy (LIBS) in deep UV. The Nd:YAG pulsed laser was used to produce plasma. The spectrum was simultaneously obtained by deep UV spectrometer. This paper studied the influence of experiment parameters on LIBS spectral intensity, such as delay, energy of laser, and the distance between the focusing lens and the surface of the sample. With the optimal expe- riment parameters, the characteristic lines of C, Ni, Si, Cr and Cu contained in low alloy steel were selected for quantit- ative analysis and the calibration curves of these elements were obtained. The linear correlation coefficient was good. Using the calibration curves to quantitative analysis for the sample 05-d, and the relative error of analytical results is less than 10% for most elements. 展开更多
关键词 LASER-INDUCED BREAKDOWN SPECTROSCOPY Plasma QUANTITATIVE Analysis deep uv
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一种高透过率,深截止的UVc波段(200~280nm)有机材料的研究(Ⅰ) 被引量:1
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作者 吕文波 许强 +5 位作者 杜为民 吴思诚 叶学敏 赵太平 孟广政 宋增福 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期209-212,共4页
本文阐述了一种专用有机材料(粉末)在不同酸性溶液中的光谱特征,研究表明,这种材料在λ=252 nm处,透过率T=56.5%,带宽约为16nm,而在λ=290nm处有一个很强的吸收峰(ε>10L·(mol·cm)^(-1)),吸光度A_(280~298nm)>8,即透... 本文阐述了一种专用有机材料(粉末)在不同酸性溶液中的光谱特征,研究表明,这种材料在λ=252 nm处,透过率T=56.5%,带宽约为16nm,而在λ=290nm处有一个很强的吸收峰(ε>10L·(mol·cm)^(-1)),吸光度A_(280~298nm)>8,即透过率T_(280~298nm)<10^(-8)。这种有机材料在UVc波段(200~280nm)具有高透过率,深截止的明显特点。实验中还发现,通过调节溶剂的pH值和选取不同极性的溶剂,原来的两个吸收峰消失,而在λ=290nm处出现一个新的强吸收峰,并且透过峰可以在251~260nm范围内移位。利用材料的这种特征,再配合传统的镀膜和色玻璃技术,有可能制备出性能优良的紫外滤光片。 展开更多
关键词 有机材料 质子化 光谱特征 酸性溶液 紫外滤光片 紫外材料
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SDUV-FEL实验装置中的电源控制系统 被引量:1
3
作者 赵欢 丁建国 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第8期57-61,共5页
SDUV-FEL是进行FEL新原理测试的实验装置,其电源控制系统是在EPICS系统架构下开发与集成实现的基于Ethernet的分布式控制系统。本文介绍了系统的基本结构与工作原理,描述了针对直接I/O控制模拟电源、数字化控制电源、GPIB接口电源设计... SDUV-FEL是进行FEL新原理测试的实验装置,其电源控制系统是在EPICS系统架构下开发与集成实现的基于Ethernet的分布式控制系统。本文介绍了系统的基本结构与工作原理,描述了针对直接I/O控制模拟电源、数字化控制电源、GPIB接口电源设计的控制方案,以及基于嵌入式系统的IOC控制器开发、电源控制实时数据库和图形化操作界面的设计。在已进行的多项FEL实验中,电源控制系统的性能得到了充分检验。 展开更多
关键词 上海深紫外自由电子激光 磁铁电源 EPICS 控制系统
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深水AUV安全系统的设计与实现 被引量:3
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作者 李一博 王雪森 靳世久 《船舶工程》 北大核心 2013年第5期59-63,共5页
安全性是自主式水下机器人(AUV)系统研究的重要内容。为解决传统设计只能对预先估计和实时监测故障做出反应等问题,依托实体深水AUV,设计出一套新的安全系统,构建主控单元和应急模块的安全冗余结构。主控单元选用基于PC/104总线的工控... 安全性是自主式水下机器人(AUV)系统研究的重要内容。为解决传统设计只能对预先估计和实时监测故障做出反应等问题,依托实体深水AUV,设计出一套新的安全系统,构建主控单元和应急模块的安全冗余结构。主控单元选用基于PC/104总线的工控机设计,应急模块采用C8051F410设计。大量模拟故障仿真实验和AUV实际下水实验表明,该安全系统不仅扩大了故障或危险的应对范围,而且将各应急情况下AUV的抛载执行率提高至100%,可有效保障AUV系统的安全。 展开更多
关键词 深水Auv 安全系统 主控单元 应急模块
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Fenton试剂和UV-Fenton试剂深度处理垃圾渗滤液 被引量:16
5
作者 邹长伟 万金保 +1 位作者 彭希珑 黄虹 《江西科学》 2004年第4期246-249,共4页
研究了Fenton试剂和紫外光(UV)_Fenton试剂联合深度处理垃圾渗滤液的最佳工艺条件,并对它们的处理效果进行比较,结果表明,最佳工艺条件是:H2O2量相当于COD耗氧值的1.5倍(即H2O2为0.96g/L)、pH值为3、FeSO4·7H2O的浓度为3.6×1... 研究了Fenton试剂和紫外光(UV)_Fenton试剂联合深度处理垃圾渗滤液的最佳工艺条件,并对它们的处理效果进行比较,结果表明,最佳工艺条件是:H2O2量相当于COD耗氧值的1.5倍(即H2O2为0.96g/L)、pH值为3、FeSO4·7H2O的浓度为3.6×10-4mol/L(即100mg/L)、反应时间120min。在最佳工艺条件下,UV_Fenton试剂联合处理渗滤液COD去除率达71.5%,比Fenton试剂单独处理时COD去除率提高了13%。 展开更多
关键词 紫外光(uv) FENTON试剂 垃圾渗滤液 深度处理
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A 4×4 metal-semiconductor-metal rectangular deep-ultraviolet detector array of Ga_(2)O_(3)photoconductor with high photo response 被引量:2
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作者 Zeng Liu Yu-Song Zhi +8 位作者 Mao-Lin Zhang Li-Li Yang Shan Li Zu-Yong Yan Shao-Hui Zhang Dao-You Guo Pei-Gang Li Yu-Feng Guo Wei-Hua Tang 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第8期700-704,共5页
A 4×4 beta-phase gallium oxide(β-Ga_(2)O_(3))deep-ultraviolet(DUV)rectangular 10-fingers interdigital metalsemiconductor-metal(MSM)photodetector array of high photo responsivity is introduced.The Ga2O_(3)thin fi... A 4×4 beta-phase gallium oxide(β-Ga_(2)O_(3))deep-ultraviolet(DUV)rectangular 10-fingers interdigital metalsemiconductor-metal(MSM)photodetector array of high photo responsivity is introduced.The Ga2O_(3)thin film is prepared through the metalorganic chemical vapor deposition technique,then used to construct the photodetector array via photolithography,lift-off,and ion beam sputtering methods.The one photodetector cell shows dark current of 1.94 p A,phototo-dark current ratio of 6×10_(7),photo responsivity of 634.15 A·W^(-1),specific detectivity of 5.93×1011cm·Hz1/2·W^(-1)(Jones),external quantum efficiency of 310000%,and linear dynamic region of 108.94 d B,indicating high performances for DUV photo detection.Furthermore,the 16-cell photodetector array displays uniform performances with decent deviation of 19.6%for photo responsivity. 展开更多
关键词 Ga_(2)O_(3) array photodetector MOCVD deep uv detection
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基于UV贴图优化人体特征的行人重识别 被引量:2
7
作者 徐智明 戚湧 《计算机工程》 CAS CSCD 北大核心 2022年第11期83-88,95,共7页
现有行人重识别研究大多关注人体在二维平面的特征表示,而在现实社会中,人体以一种对称的三维结构存在,三维人体结构相较二维平面像素含有更多的体型、姿态等特征,仅研究二维平面上的行人特征限制了计算机对人体特征的理解。利用人体是... 现有行人重识别研究大多关注人体在二维平面的特征表示,而在现实社会中,人体以一种对称的三维结构存在,三维人体结构相较二维平面像素含有更多的体型、姿态等特征,仅研究二维平面上的行人特征限制了计算机对人体特征的理解。利用人体是一种三维对称的刚体结构这一先验事实,提出一种基于UV贴图优化人体特征的行人重识别方法。对图像底库进行数据预处理,通过数据增广方法生成更多的训练数据,对预处理后的图片进行特征提取,将特征矩阵解耦为姿态、色彩、形状以及视角参数,利用参数信息调整预定义的人体模型以得到重构后的三维人体模型。将重构后的三维人体模型转化为UV贴图,即将人体特征从三维空间映射到二维平面,同时对UV贴图进行优化从而丰富人体特征。使用UV贴图训练三维行人重识别网络模型,利用后处理的方法对输出结果做进一步优化,以得到最终的行人重识别结果。在Market-1501数据集上的实验结果表明,该方法的rank-1准确率和mAP分别达到94.76%和82.53%,相较OG-Net模型分别提升13.82%和22.56%。 展开更多
关键词 计算机视觉 深度学习 行人重识别 三维重构 uv贴图
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基于1D-CNN提取Cl2紫外吸收谱特征的浓度反演方法研究
8
作者 贾彤华 程光旭 +3 位作者 杨嘉聪 陈昇 王海容 胡海军 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期3109-3119,共11页
开放环境下氯气泄漏的准确检测一直是氯碱生产企业亟待解决的难题,差分吸收光谱技术(DOAS)可以实现大气中的污染气体的痕量远距离测量,而氯气的紫外吸收光谱呈现“慢变化”的特征,无法用差分的方法分离吸收特征与噪声信号。提出了一种... 开放环境下氯气泄漏的准确检测一直是氯碱生产企业亟待解决的难题,差分吸收光谱技术(DOAS)可以实现大气中的污染气体的痕量远距离测量,而氯气的紫外吸收光谱呈现“慢变化”的特征,无法用差分的方法分离吸收特征与噪声信号。提出了一种基于一维卷积神经网络(1D-CNN)的氯气浓度反演算法来充分利用光谱信息,通过逐层提取氯气的吸收特征,解决了传统算法容易受噪声干扰导致反演精度下降的问题。与常用的最小二乘法(LS)、多层感知机(MLP)、支持向量机(SVR)和k近邻(KNN)方法相比,该算法的反演结果相比实测数据的准确度最高(R2=0.996,RMSE=4.40,MAE=2.64,SMAPE=8.51%)。由于系统中不可避免的随机噪声会对检测产生干扰,对比了S-G滤波、傅里叶变换、奇异值分解和小波变换分解算法的预处理效果。结果表明,S-G滤波和小波分解算法可以在去除噪声的同时保留氯气的吸收特征信息,进一步提高氯气浓度反演模型的性能。所提出的浓度反演算法为实现开放环境下氯气泄漏的远距离定量检测提供了新的可行方法。 展开更多
关键词 氯气泄漏 远程检测 差分吸收光谱技术 深度学习 一维卷积神经网络
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高Al组分AlGaN多量子阱结构材料发光机制探讨 被引量:4
9
作者 李金钗 季桂林 +5 位作者 杨伟煌 金鹏 陈航洋 林伟 李书平 康俊勇 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期513-518,共6页
紫外LED的发光功率和效率还远不能令人们满意,波长短于300 nm的深紫外LED的发光效率普遍较低。厘清高Al组分Al Ga N多量子阱结构的发光机制将有利于探索改善深紫外LED的发光效率的新途径、新方法。为此,本文通过金属有机气相外延技术外... 紫外LED的发光功率和效率还远不能令人们满意,波长短于300 nm的深紫外LED的发光效率普遍较低。厘清高Al组分Al Ga N多量子阱结构的发光机制将有利于探索改善深紫外LED的发光效率的新途径、新方法。为此,本文通过金属有机气相外延技术外延生长了表面平整、界面清晰可辨且陡峭的高Al组分AlGa N多量子阱结构材料,并对其进行变温光致发光谱测试,结合数值计算,深入探讨了Al Ga N量子阱的发光机制。研究表明,量子阱中具有很强的局域化效应,其发光和局域激子的跳跃息息相关,而发光的猝灭则与局域激子的解局域以及位错引起的非辐射复合有关。 展开更多
关键词 ALGAN 多量子阱结构 深紫外LED 发光机制
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248nm深紫外光刻胶 被引量:9
10
作者 郑金红 黄志齐 侯宏森 《感光科学与光化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期346-356,共11页
本文从化学增幅技术的产生,深紫外248nm胶主体树脂及PAG发展历程、溶解抑制剂、存在的工艺问题及解决途径多个方面综述了深紫外248nm胶的发展与进步.
关键词 化学增幅 KRF激光 深紫外光刻 248 nm光刻胶 主体树脂 酸催化 光致产酸剂
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离子束溅射、热舟和电子束法制备深紫外LaF_3薄膜 被引量:3
11
作者 时光 梅林 +2 位作者 高劲松 张立超 张玲花 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期592-595,共4页
为了满足深紫外光刻物镜对薄膜的要求,得到低损耗、高稳定性、长寿命的深紫外薄膜,需要选用适当的镀膜工艺方法。分别选取了离子束溅射法、热舟蒸发法和电子束蒸发法优化后的最佳工艺参量,在融石英基底上使用3种方法镀制了单层LaF3薄膜... 为了满足深紫外光刻物镜对薄膜的要求,得到低损耗、高稳定性、长寿命的深紫外薄膜,需要选用适当的镀膜工艺方法。分别选取了离子束溅射法、热舟蒸发法和电子束蒸发法优化后的最佳工艺参量,在融石英基底上使用3种方法镀制了单层LaF3薄膜。首先,利用光度法得出3种方法镀制LaF3薄膜在185nm~800nm范围内的折射率n和消光系数k。然后,采用原子力显微镜对薄膜表面粗糙度进行了测量。最后,薄膜的微结构使用X射线衍射仪进行了分析。结果表明,离子束溅射镀制的LaF3薄膜折射率最高、表面粗糙度最低,但吸收较大;电子束蒸发法虽然吸收最小,但是折射率偏低且表面粗糙度较高;热舟蒸发法镀制的LaF3薄膜无论折射率、消光系数还是表面粗糙度都处于3种方法中间位置。综合各项指标,热舟蒸发法最适合于沉积深紫外LaF3薄膜。 展开更多
关键词 薄膜 LAF3 热蒸发 离子束溅射 深紫外
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聚羟基苯乙烯在光致抗蚀剂中的应用及其合成 被引量:6
12
作者 刘建国 郑家燊 李平 《感光科学与光化学》 EI CAS CSCD 2006年第1期67-74,共8页
主要综述了聚羟基苯乙烯用作深紫外光致抗蚀剂主体成膜树脂的发展历程、应用现状以及一些最新的研究进展,并简要介绍了聚羟基苯乙烯的单体衍生物及其聚合物的制备方法.
关键词 聚羟基苯乙烯 深紫外光致抗蚀剂 主体成膜树脂
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深紫外非线性光学晶体及全固态深紫外相干光源研究进展 被引量:8
13
作者 王晓洋 刘丽娟 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期427-441,共15页
全固态深紫外相干光源在前沿科学、高技术等领域均有重要应用。产生全固态深紫外相干光源的一种有效而可行的技术途径是将商业化的可见、近红外全固态激光作为基频光源,通过非线性光学晶体的多级变频技术产生深紫外激光。本文系统地介... 全固态深紫外相干光源在前沿科学、高技术等领域均有重要应用。产生全固态深紫外相干光源的一种有效而可行的技术途径是将商业化的可见、近红外全固态激光作为基频光源,通过非线性光学晶体的多级变频技术产生深紫外激光。本文系统地介绍了深紫外非线性光学晶体及全固态深紫外相干光源的研究进展。主要以KBBF晶体为代表,详细介绍了发现KBBF晶体的过程,晶体生长技术,棱镜耦合器件技术,KBBF晶体的主要光学性质以及产生深紫外相干光源的能力,同时证实了KBBF晶体是目前能使用直接倍频方法实现深紫外激光输出的非线性光学晶体。此外,文中还详细介绍了基于KBBF晶体及棱镜耦合技术的深紫外相干光源的应用情况,尤其是在超高分辨率光电子能谱仪方面的应用及取得的重要成果。最后,展望了深紫外非线性光学晶体及全固态深紫外激光技术的发展方向。 展开更多
关键词 深紫外非线性光学晶体 深紫外激光 KBBF 晶体生长
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新型深紫外非线性光学晶体RbBe_2BO_3F_2的研究 被引量:5
14
作者 罗思扬 余金秋 +2 位作者 王晓洋 温小红 陈创天 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第B06期28-30,共3页
采用固相合成法制备了纯相RbBe2BO3F2(RBBF)粉末,并采用高温助熔剂自发成核生长出大块高质量RBBF单晶。利用X光单晶衍射法确定RBBF的空间群是R32;晶胞参数a=b=0.44341(9)nm,c=1.9758(5)nm,Z=3。其紫外截止边是160nm,双折射率约为0.075。
关键词 RbBe2BO3F2 非线性光学晶体 深紫外激光
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KBBF深紫外非线性光学晶体最新研究进展 被引量:2
15
作者 王晓洋 刘丽娟 李如康 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2019年第10期1790-1798,共9页
本文系统介绍了我国KBBF深紫外非线性光学晶体的最新研究进展。包括从KBBF晶体的发现历程,KBBF晶体生长、棱镜耦合器件技术的发展,以及产生深紫外相干光源的能力,到这些深紫外相干光源的应用,尤其在超高分辨率光电子能谱仪方面的应用及... 本文系统介绍了我国KBBF深紫外非线性光学晶体的最新研究进展。包括从KBBF晶体的发现历程,KBBF晶体生长、棱镜耦合器件技术的发展,以及产生深紫外相干光源的能力,到这些深紫外相干光源的应用,尤其在超高分辨率光电子能谱仪方面的应用及最新研究成果。 展开更多
关键词 KBBF 深紫外非线性光学晶体 深紫外激光 晶体生长
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光刻胶材料的研究进展 被引量:2
16
作者 刘巧云 祁秀秀 +2 位作者 杨怡 朱翔宇 周勇 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第3期378-384,共7页
简单介绍了光刻胶的组成部分,综述了近年来国内外光刻胶成膜树脂合成、开发的研究进展,并根据不同曝光波长所需的不同光刻胶(包括紫外(UV)光刻胶、深紫外光刻胶、极紫外光刻胶等)进行了介绍。重点介绍了各光源下分子量和分子量分散指数... 简单介绍了光刻胶的组成部分,综述了近年来国内外光刻胶成膜树脂合成、开发的研究进展,并根据不同曝光波长所需的不同光刻胶(包括紫外(UV)光刻胶、深紫外光刻胶、极紫外光刻胶等)进行了介绍。重点介绍了各光源下分子量和分子量分散指数对光致抗蚀剂的影响,并对国内外研究中通过不同聚合工艺制备的不同分子量光致抗蚀剂性能进行了评述,总结了近年来含有特定化学结构的光致抗蚀剂以及其制备工艺的研究进展。最后对国内外光刻胶的发展和应用进行了展望,指出进一步提高光刻胶的分辨率、改善其综合性能是今后的研究重点。 展开更多
关键词 紫外(uv)光刻胶 深紫外光刻胶 极紫外光刻胶 成膜树脂 分辨率
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新型深紫外非线性光学晶体KBe_2BO_3F_2族的研究进展 被引量:6
17
作者 刘丽娟 陈创天 《中国材料进展》 CAS CSCD 2010年第10期16-20,共5页
深紫外非线性光学晶体KBe2BO3F2(KBBF)发展至今,已有将近20年的历史。首先简单回顾了KBBF化合物的发现、晶体生长以及基本光学性质,同时对KBBF族(MBe2BO3F2,M=K,Rb,Cs)的其它化合物如:RbBe2BO3F2和CsBe2BO3F2的晶体生长和其基本光学性... 深紫外非线性光学晶体KBe2BO3F2(KBBF)发展至今,已有将近20年的历史。首先简单回顾了KBBF化合物的发现、晶体生长以及基本光学性质,同时对KBBF族(MBe2BO3F2,M=K,Rb,Cs)的其它化合物如:RbBe2BO3F2和CsBe2BO3F2的晶体生长和其基本光学性质进行了报道,然后对这些新晶体产生深紫外谐波光输出的能力做了评估,最后介绍了利用KBBF晶体器件产生的深紫外相干光源在先进仪器等方面的应用。 展开更多
关键词 非线性光学晶体 晶体生长 深紫外激光
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紫外、深紫外非线性光学晶体探索十年回顾 被引量:17
18
作者 陈创天 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期36-42,共7页
本文讨论了近 10年来我们研究组在探索紫外、深紫外非线性光学晶体方面的经历。这些经历中有成功的一面 ,也有不成功的一面。成功的一面包括KBBF晶体的发现及最短倍频波的输出( 184 .7nm) ,以及最近使用的一种特殊的器件设计 ,使KBBF晶... 本文讨论了近 10年来我们研究组在探索紫外、深紫外非线性光学晶体方面的经历。这些经历中有成功的一面 ,也有不成功的一面。成功的一面包括KBBF晶体的发现及最短倍频波的输出( 184 .7nm) ,以及最近使用的一种特殊的器件设计 ,使KBBF晶体能够产生有效的深紫外谐波光输出 ;KABO晶体的发现及厘米级晶体的获得 ,有可能使此晶体在Nd∶YAG激光的 4、5倍频器件中得到应用。而我们没有想到的是线性和非线性光学性能均很优秀的SBBO晶体 ,却发现结构的完整性有问题 ,目前还不能得到实际的应用 ,在今后仍需花很大的精力去研究它。最后 ,我们虽然已花了 10年时间 ,但深紫外非线性光学晶体仍旧没有得到理想的解决 ,还需我们继续努力。由此可见 ,一个科学问题的认真解决 ,是需要花非常长的时间。本文希望把我们研究组的近 10年来的经验写出来 ,供大家参考 ,以求共勉。 展开更多
关键词 非线性光学晶体 紫外 深紫外 结构性能关系 KBBF KABO
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SU-8紫外深度光刻的误差及修正(英文) 被引量:4
19
作者 郑津津 陈有梅 +4 位作者 周洪军 田杨超 刘刚 李晓光 沈连婠 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1926-1931,共6页
在深紫外LIGA加工中,制作高精度大高宽比的微器件是很困难的。难点在于SU-8光刻胶对紫外光的吸收系数随着波长变短而很快变大,而且其穿透深度也相应迅速变小;同时由于紫外光的衍射效应,获得高精度的大高宽比结构并不容易。本文深入研究... 在深紫外LIGA加工中,制作高精度大高宽比的微器件是很困难的。难点在于SU-8光刻胶对紫外光的吸收系数随着波长变短而很快变大,而且其穿透深度也相应迅速变小;同时由于紫外光的衍射效应,获得高精度的大高宽比结构并不容易。本文深入研究了影响紫外深度光刻图形转移精度的如下因素:衍射效应、曝光剂量、紫外光波长和蝇眼透镜的分布等等。建立了基于模型区域的校正系统,该校正系统采用了分类分区域的思想将掩模图形按其畸变的特点进行了分类,在校正过程中对不同的类别分别建立校正区域,在每一校正区域内进行校正优化处理和校正评价,这种基于模型的分类分区域评价思想,使得校正过程有效且实时,该校正方法不仅降低了校正的复杂性,同时提高了校正的效率。 展开更多
关键词 SU-8光刻胶 紫外深度光刻 掩模 图形转移 误差修正
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SU-8胶在深紫外光源下的光强分布模拟 被引量:1
20
作者 冯明 黄庆安 +2 位作者 李伟华 周再发 朱真 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1470-1472,1476,共4页
本文根据菲涅尔衍射的原理,在考虑了折射、光刻胶对光的吸收以及硅片对光的反射的情况下,给出了SU-8胶在365nm光源下经过方孔曝光时,光刻胶中光强的二维分布及三维分布的计算模拟.将试验结果与实际情况相比,表现出了一定的适用性,可以... 本文根据菲涅尔衍射的原理,在考虑了折射、光刻胶对光的吸收以及硅片对光的反射的情况下,给出了SU-8胶在365nm光源下经过方孔曝光时,光刻胶中光强的二维分布及三维分布的计算模拟.将试验结果与实际情况相比,表现出了一定的适用性,可以近似作为光刻胶形貌的最后近似. 展开更多
关键词 菲涅尔衍射 深紫外光强度分布 SU-8胶
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