中等电压透射电镜的球差矫正

20世纪末中等电压透射电镜的物镜球差矫正获得成功,这是上世纪80年代世界第一台电子显微镜创制者获得诺贝尔物理奖以来电镜发展史上迄今取得的最重大成就。本文简要回顾了球差矫正研究的历史,重点介绍Scherzer,Rose,Haider等关于球差矫正的观点、理论和实验研究所取得的成果,详细讨论了六极消球差系统的工作原理以及对中合轴的原理和方法。