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一种制作凹形聚二甲基硅氧烷微透镜阵列的方法
被引量:
4
1
作者
钟可君
高益庆
+1 位作者
李凤
张志敏
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期205-209,共5页
提出一种制作凹形聚二甲基硅氧烷(PDMS)微透镜阵列的方法。用数字微镜器件(DMD)代替物理掩模,建立数字灰阶无掩模光刻系统,在光刻胶上制作正方形基底凸形微透镜阵列,以此阵列为母板,采用复制方法,制作了高填充因子的正方形基底凹形PDMS...
提出一种制作凹形聚二甲基硅氧烷(PDMS)微透镜阵列的方法。用数字微镜器件(DMD)代替物理掩模,建立数字灰阶无掩模光刻系统,在光刻胶上制作正方形基底凸形微透镜阵列,以此阵列为母板,采用复制方法,制作了高填充因子的正方形基底凹形PDMS微透镜阵列。实验和测试结果表明:数字灰阶无掩模光刻系统制作的微透镜阵列表面光滑,形貌良好;复制的PDMS微透镜阵列边缘清晰,表面光滑,焦面光斑光强均匀。为制作凹形微透镜阵列提供了一条制作简单、效率高、成本低、可大规模制作的新途径。
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关键词
光学器件
微光学元件
凹形微透镜阵列
数字灰阶无掩模光刻
模型复制技术
聚二甲基硅氧烷
原文传递
题名
一种制作凹形聚二甲基硅氧烷微透镜阵列的方法
被引量:
4
1
作者
钟可君
高益庆
李凤
张志敏
机构
南京航空航天大学自动化学院
南昌航空大学无损检测教育部重点实验室
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期205-209,共5页
基金
国家自然科学基金(61261026)
航天科技创新基金(CASC201105)
文摘
提出一种制作凹形聚二甲基硅氧烷(PDMS)微透镜阵列的方法。用数字微镜器件(DMD)代替物理掩模,建立数字灰阶无掩模光刻系统,在光刻胶上制作正方形基底凸形微透镜阵列,以此阵列为母板,采用复制方法,制作了高填充因子的正方形基底凹形PDMS微透镜阵列。实验和测试结果表明:数字灰阶无掩模光刻系统制作的微透镜阵列表面光滑,形貌良好;复制的PDMS微透镜阵列边缘清晰,表面光滑,焦面光斑光强均匀。为制作凹形微透镜阵列提供了一条制作简单、效率高、成本低、可大规模制作的新途径。
关键词
光学器件
微光学元件
凹形微透镜阵列
数字灰阶无掩模光刻
模型复制技术
聚二甲基硅氧烷
Keywords
optical devices
micro-optical element
concave microlens array
digital
maskless
grayscale
lithography^replica
molding
technique
polydimethylsiloxane
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种制作凹形聚二甲基硅氧烷微透镜阵列的方法
钟可君
高益庆
李凤
张志敏
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
4
原文传递
已选择
0
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参考文献
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