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ZnO:Al透明导电膜的制备及其性能的研究 被引量:22
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作者 葛水兵 程珊华 宁兆元 《材料科学与工程》 CSCD 2000年第3期77-79,共3页
利用脉冲激光法制备了 Zn O:Al透明导电膜。通过对膜进行霍尔系数测量及SEM、XRD测试分析 ,详细研究了靶材中的化学配比 (掺杂比 )对膜的透光率和电阻率的影响。结果表明 :掺杂比、氧分压强影响着膜的电学、光学性能和膜的结晶状况。从... 利用脉冲激光法制备了 Zn O:Al透明导电膜。通过对膜进行霍尔系数测量及SEM、XRD测试分析 ,详细研究了靶材中的化学配比 (掺杂比 )对膜的透光率和电阻率的影响。结果表明 :掺杂比、氧分压强影响着膜的电学、光学性能和膜的结晶状况。从电学分析看出 :掺杂比从0 .75%增至 1 .5%过程中 ,膜的载流子浓度、透光率 (在波长大于 50 0 nm的范围 )和光隙能相应增大。在氧分压强为 0 Pa(不充氧 )、掺杂比为 1 .5%左右时沉积的膜 ,其电阻率达到最小 ,其值为 7.1× 1 0 -4 Ω cm,且在可见光区其透光率超过了 90 %。 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 ZnO膜 掺杂比 掺杂 透明导电膜
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掺杂比和氧分压对脉冲激光沉积ZnO:Al膜性能影响的研究 被引量:1
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作者 葛水兵 程珊华 +1 位作者 宁兆元 沈明荣 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2000年第2期86-88,共3页
利用脉冲激光法制备了ZnO :Al透明导电膜 .通过对膜进行霍尔系数测量及SEM、XRD测试分析 ,详细研究了靶材中的化学配比 (掺杂比 )对膜的透射比和电阻率的影响 .结果表明 :掺杂比、氧分压强影响着膜的电学、光学性能和膜的结晶状况 .从... 利用脉冲激光法制备了ZnO :Al透明导电膜 .通过对膜进行霍尔系数测量及SEM、XRD测试分析 ,详细研究了靶材中的化学配比 (掺杂比 )对膜的透射比和电阻率的影响 .结果表明 :掺杂比、氧分压强影响着膜的电学、光学性能和膜的结晶状况 .从电学分析看出 :掺杂比从 0 .75 %增至 1.5 %过程中 ,膜的载流子浓度、透射比 (在波长大于 5 0 0nm的范围 )和光隙能相应增大 .在氧分压强为 0Pa、掺杂比为 1.5 %左右时沉积的膜 ,其电阻率达到最小 ,其值为 7.1× 10 -4 Ω·cm ,且在可见光区其透射比超过了 90 % . 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 掺杂比 氧分压 ZnO:Al膜 性能
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基于杂质分凝技术的隧穿场效应晶体管电流镜
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作者 陈玲丽 刘畅 +4 位作者 刘强 赵兰天 刘晨鹤 朱宇波 俞文杰 《半导体技术》 CAS 北大核心 2021年第5期365-369,401,共6页
在全耗尽绝缘体上硅(FDSOI)衬底上制备了一种新型隧穿场效应晶体管(TFET),并用相似的工艺方法制备金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)作为比较,分别基于两种器件构成基本电流镜电路,研究两种器件的基本性能和电路电流传输能力。两... 在全耗尽绝缘体上硅(FDSOI)衬底上制备了一种新型隧穿场效应晶体管(TFET),并用相似的工艺方法制备金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)作为比较,分别基于两种器件构成基本电流镜电路,研究两种器件的基本性能和电路电流传输能力。两种器件均采用杂质分凝技术制备,在源漏与沟道的界面形成了陡峭的杂质分布,TFET也因此具备陡峭的隧穿结。两种器件的载流子输运机制不同,因此温度对电流的影响也不同,此外,不同于MOSFET的单极导通行为,TFET由于源漏两端均为重掺杂,表现为强烈的双极导通行为。测试发现,由TFET构成的电流镜电路的电流传输比高达97%,高于一般的TFET电流镜和实验中用于对比的MOSFET电流镜,且TFET电流镜的输出阻抗较高,约1 MΩ。这为TFET的研发与简单应用提供了参考。 展开更多
关键词 隧穿场效应晶体管(TFET) 杂质分凝 电流镜 电流传输比 双极导通行为
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Impact of grain size,Pr3+ concentration and host composition on non-contact temperature sensing abilities of polyphosphate nano- and microcrystals 被引量:1
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作者 S.Gharouel L.Marciniak +3 位作者 A.Lukowiak W.Strek K.Horchani-Naifer M.Férid 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第8期812-818,I0001,共8页
In this article,varied praseodymium polyphosphate hosts:MI(Li,Na K)Pr(PO3)4 microcrystals and LiLa1-xPrx(PO3)4(x = 0.01 ^-1)nanocrystals were successfully synthesized by the flux method and the coprecipitation techniq... In this article,varied praseodymium polyphosphate hosts:MI(Li,Na K)Pr(PO3)4 microcrystals and LiLa1-xPrx(PO3)4(x = 0.01 ^-1)nanocrystals were successfully synthesized by the flux method and the coprecipitation technique,respectively.The size of stoichiometric nanocrystals of LiPr(PO3)4 was tuned by the te mpe rature of thermal treatment in range of 35-145 nm.In order to dete rmine the most suitable material for the non-contact optical thermometric applications,the temperature sensing measurements were carried out by using luminescence intensity ratio(LIR)of emission bands corresponding to the ^3 P1→ ^3H5 and ^3P0→ ^3 H5 electronic transitions of Pr3+ ions into the 123-423 K temperature range.The influence of the host material composition of MⅠ(Li,Na,K)Pr(PO3)4 microcrystals on the sensitivity of luminescent thermometers was studied.It is found that the sensitivity of lithium praseodymium polyphosphate is the highest of all micropowders under investigation.Moreover,it is found that the nanocrystals reveal much higher relative sensitivity in respect to the microcrystalline counterparts.The highest sensitivity of LIR temperature sensing is found for LiPr(PO3)4 nanocrystals(35 nm grain size)in the whole temperature range,reaching 0.283%/K at 164 K.The impact of the average grain size on the sensitivity of LIR based thermometers of LiPr(PO3)4 nanocrystals was investigated.It is found that the reduction of the grain size from 145 to 35 nm results in the enhancement of the relative sensitivity from0.156 to 0.240%/K at 223 K.Additionally it is found that the high dopant concentration possesses favorable influence on the relative sensitivity of LiLa1-xPrx(PO3)4 nanocrystalline luminescent thermometers. 展开更多
关键词 PR^3+ TEMPERATURE sensing Luminescence intensity ratio TEMPERATURE sensitivity Grain size dopant CONCENTratioN
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掺杂比对脉冲激光沉积的ZnO:Al膜性能的影响 被引量:4
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作者 葛水兵 程珊华 +4 位作者 宁兆元 沈明荣 甘肇强 周咏东 褚君浩 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2000年第1期55-58,共4页
用脉冲激光法制备了ZnO :Al透明导电膜。通过对膜的霍尔系数测量及SEM、XRD分析 ,详细研究了靶材中的化学配比 (掺杂比 )对膜的透光率和电阻率的影响。结果表明 :掺杂比影响着膜的电学、光学性能和膜的结晶状况。掺杂比从 0 .75 %增至 1... 用脉冲激光法制备了ZnO :Al透明导电膜。通过对膜的霍尔系数测量及SEM、XRD分析 ,详细研究了靶材中的化学配比 (掺杂比 )对膜的透光率和电阻率的影响。结果表明 :掺杂比影响着膜的电学、光学性能和膜的结晶状况。掺杂比从 0 .75 %增至 1 .5 % ,膜的载流子浓度、透光率 (波长大于 5 0 0nm)和光隙能相应增大。在掺杂比为 1 .5 %左右时沉积的膜的电阻率达到最小 ,其值为7.1× 1 0 -4 Ωcm ,且在可见光区其透光率超过了 90 %。 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 掺杂比 透明导电膜
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