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THE SIGNIFICANCE OF TESTING PREOPERATIVE VISUAL FUNCTION IN CATARACT USING LASER INTERFEROMETRIC VISUAL ACUITY AND ERG 被引量:2
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作者 De-Zheng Wu Lezheng Wu Xijing Xu Hui Chen Taiqing Luo Zhongshan Ophthalmic Center Sun Yat-sen University of Medical Sciences Guangzhou 510060, China 《眼科学报》 1991年第1期21-24,共4页
Tests of preoperative visual function and prediction of postoperative E chart visual acuity(ECVA) using laser interferometric visual acuity(LIVA) and electroretinogram(ERG) were performed in 16 cases(19 eyes) of catar... Tests of preoperative visual function and prediction of postoperative E chart visual acuity(ECVA) using laser interferometric visual acuity(LIVA) and electroretinogram(ERG) were performed in 16 cases(19 eyes) of cataract. The results showed that the coincident rate between preoperative LIVA and postoperative ECVA was 63.2%, and there was a parallel correlation between preoperative amplitude of photopic ERG b-wave and postoperative ECVA in 79.0% of the eyes. Comparing these two methods, the test of LIVA ... 展开更多
关键词 THE SIGNIFICANCE OF TESTING PREOPERATIVE VISUAL FUNCTION IN CATARACT USING laser interferometric VISUAL ACUITY AND ERG
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Combined optical fiber interferometric sensors for the detection of acoustic emission 被引量:2
2
作者 LIANG Yi-jun MU Lin-lin LIU Jun-feng YU Xiao-tao 《Optoelectronics Letters》 EI 2008年第3期184-187,共4页
A type of combined optical fiber interferometric acoustic emission sensor is proposed. The sensor can be independent on the laser source and make light interference by matching the lengths of two arms,so it can be use... A type of combined optical fiber interferometric acoustic emission sensor is proposed. The sensor can be independent on the laser source and make light interference by matching the lengths of two arms,so it can be used to monitor the health of large structure. Theoretical analyses indicate that the system can be equivalent to the Michelson interferometer with two optical fiber loop reflectors,and its sensitivity has been remarkably increased because of the decrease of the losses of light energy. PZT is powered by DC regulator to control the operating point of the system,so the system can accurately detect feeble vibration which is generated by ultrasonic waves propagating on the surface of solid. The amplitude and the frequency of feeble vibration signal are obtained by detecting the output light intensity of interferometer and using Fourier transform technique. The results indicate that the system can be used to detect the acoustic emission signals by the frequency characteristics. 展开更多
关键词 光纤 干涉仪 传感器 声音 散射
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基于激光干涉光刻技术的产品防伪包装设计研究
3
作者 张蔚 《激光杂志》 CAS 北大核心 2024年第4期248-253,共6页
为了提高产品防伪包装设计效果,提出基于激光干涉光刻技术的产品防伪包装设计方法。利用光纤耦合激光传输控制多光束干涉信息,基于光纤波导分束形成技术,集成处理光束传播路径,基于光束振幅、相位和偏振联合调制方法,提取产品防伪包装... 为了提高产品防伪包装设计效果,提出基于激光干涉光刻技术的产品防伪包装设计方法。利用光纤耦合激光传输控制多光束干涉信息,基于光纤波导分束形成技术,集成处理光束传播路径,基于光束振幅、相位和偏振联合调制方法,提取产品防伪包装的防伪状态特征量,基于振幅型或相位型的微结构衍射单元阵列传输方法,构建激光干涉光刻模型,实现四光束、五光束和六光束的多光束激光防伪。测试结果表明,所提方法的被篡改率最低为0.05%,解密时间较短,均在30 ms左右,MSE为0.673%,PSNR为47.40 dB,SSIM为0.975,采用该方法进行产品防伪包装设计,提高了产品的激光防伪能力,降低被篡改率。 展开更多
关键词 激光干涉光刻技术 产品防伪包装设计 光束传播 多光束激光
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Influences of semiconductor laser on fibre-optic distributed disturbance sensor based on Mach-Zehnder interferometer 被引量:1
4
作者 梁生 张春熹 +4 位作者 蔺博 林文台 李勤 钟翔 李立京 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第12期339-346,共8页
This paper investigates the influences of a semiconductor laser with narrow linewidth on a fibre-optic distributed disturbance sensor based on Mach-Zehnder interferometer. It establishes an effective numerical model t... This paper investigates the influences of a semiconductor laser with narrow linewidth on a fibre-optic distributed disturbance sensor based on Mach-Zehnder interferometer. It establishes an effective numerical model to describe the noises and linewidth of a semiconductor laser, taking into account their correlations. Simulation shows that frequency noise has great influences on location errors and their relationship is numerically investigated. Accordingly, there is need to determine the linewidth of the laser less than a threshold and obtain the least location errors. Furthermore, experiments are performed by a sensor prototype using three semiconductor lasers with different linewidths, respectively, with polarization maintaining optical fibres and couplers to eliminate the polarization induced noises and fading. The agreement of simulation with experimental results means that the proposed numerical model can make a comprehensive description of the noise behaviour of a semiconductor laser. The conclusion is useful for choosing a laser source for fibre-optic distributed disturbance sensor to achieve optimized location accuracy. What is more, the proposed numerical model can be widely used for analysing influences of semiconductor lasers on other sensing, communication and optical signal processing systems. 展开更多
关键词 fibre-optic distributed sensor semiconductor laser narrow linewidth laser fibre-optic interferometric sensor
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激光干涉气液两相流测量图像自动辨读方法的研究 被引量:14
5
作者 浦世亮 浦兴国 +3 位作者 袁镇福 岑可法 Loic MEES Denis LEBRUN 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2004年第2期201-205,共5页
在能源、化工、炼油、制药、机械制造等领域中广泛存在着气液颗粒两相流的测量问题,因此气液两相流测量技术一直是国内外的重点研究课题。该文将介绍一种气液两相流测量的新技术一激光干涉气液两相流测量技术(ILIDS),它具有提取两相流... 在能源、化工、炼油、制药、机械制造等领域中广泛存在着气液颗粒两相流的测量问题,因此气液两相流测量技术一直是国内外的重点研究课题。该文将介绍一种气液两相流测量的新技术一激光干涉气液两相流测量技术(ILIDS),它具有提取两相流参数全、测量精度高和测量区域较大等优 点。该技术利用高干涉性片状激光束照射气液两相流,粒子将激光以折射和反射的方式散射,用高速数码相机(120万象素)收集并汇聚散射光成像,折射光与反射光之间因存在相位差会在汇聚成像系统的失焦平面上形成干涉条纹图,图中包含粒子的粒径和空间信息。利用作者开发的图像处理软件对两相流干涉图像进行数据处理,自动高速提取两相流信息,将处理结果与人工辨读比较,有效粒子信息提取率高于90%,粒子定位及粒径计算误差小于5%。实验证明本图像处理技术具有工业在线测量的潜力。 展开更多
关键词 激光干涉 气液两相流 测量 图像自动辨读方法 图像处理 计算机
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激光干涉气液两相流颗粒速度矢量测量的研究 被引量:12
6
作者 浦兴国 浦世亮 +1 位作者 袁镇福 岑可法 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2004年第11期237-240,共4页
介绍一种测量气液两相流粒径和速度的新技术——激光干涉气液两相流测量技术(ILIDS)。在完成应用二维卷积和快速傅立叶变换图象处理技术,获得气液两相流颗粒空间位置分布和粒径方法的基础上,开发了基于粒径配对度、形变配对度等算法的... 介绍一种测量气液两相流粒径和速度的新技术——激光干涉气液两相流测量技术(ILIDS)。在完成应用二维卷积和快速傅立叶变换图象处理技术,获得气液两相流颗粒空间位置分布和粒径方法的基础上,开发了基于粒径配对度、形变配对度等算法的粒子寻迹测速算法,能够从一组连续拍摄的气液两相流干涉图像中获得各个颗粒的速度矢量,从而得到二维颗粒运动矢量场。 展开更多
关键词 气液两相流 连续 矢量场 二维 卷积 速度矢量 粒子 粒径 颗粒速度 研究
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空间引力波探测望远镜初步设计与分析 被引量:29
7
作者 王智 沙巍 +5 位作者 陈哲 王永宪 康玉思 罗子人 黎明 李钰鹏 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期132-151,共20页
引力波的直接观测已开启引力波天文学的新篇章,爱因斯坦的百年预言终获证实。空间引力波探测器使得探测0.1 m Hz^1 Hz频段丰富的引力波源成为可能,与地面引力波探测器互为补充,才可实现更加宽广波段的引力波探测,揭开宇宙早期的更多秘... 引力波的直接观测已开启引力波天文学的新篇章,爱因斯坦的百年预言终获证实。空间引力波探测器使得探测0.1 m Hz^1 Hz频段丰富的引力波源成为可能,与地面引力波探测器互为补充,才可实现更加宽广波段的引力波探测,揭开宇宙早期的更多秘密。空间激光干涉引力波探测采用外差干涉测量技术,测量间距百万公里的两自由悬浮测试质量间10 pm量级的变化量。望远镜是激光干涉测量系统的重要组成部分,1 pm的光程稳定性及苛刻的杂散光要求,不同于传统的几何成像望远镜。本文根据空间太极计划任务需求,对望远镜的功能及技术要求进行了分析,并完成了原理样机的初步方案设计,针对百万公里远场波前分布,分析了望远镜系统的敏感性,同时完成了在轨光机热集成仿真,为后面原理样机的研制奠定了技术基础。 展开更多
关键词 望远镜 空间引力波探测 空间太极计划 LISA 激光干涉测量系统
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20~1250Hz光纤激光加速度传感系统设计 被引量:8
8
作者 顾宏灿 黄俊斌 +2 位作者 程玲 杨光 毛欣 《中国光学》 EI CAS CSCD 2017年第4期469-476,共8页
为了实现高灵敏度、宽频响应的光纤型加速度传感器,以光纤激光器作为加速度传感器的传感元件,建立了光纤激光加速度传感系统,并对该系统的传感原理、灵敏度和谐振频率等性能进行了分析和实验。采用竖直式加速度传感器结构,结构中的传感... 为了实现高灵敏度、宽频响应的光纤型加速度传感器,以光纤激光器作为加速度传感器的传感元件,建立了光纤激光加速度传感系统,并对该系统的传感原理、灵敏度和谐振频率等性能进行了分析和实验。采用竖直式加速度传感器结构,结构中的传感组件主要由质量块和中空的细钢管组成,光纤激光器受预应力作用后粘接在钢管内部,在加速度作用下,钢管产生的应变引起光纤激光器的应变和折射率发生改变,导致光纤激光器的出射波长随之发生改变,然后使用干涉解调技术检测出波长的动态变化,即可获得波长中包含的加速度振幅和频率信息。实验结果表明,在20~1 250 Hz频段内,竖直式光纤激光加速度传感器的灵敏度约为-126.2 d B[参考值1 rad/(μm/s^2)],频响曲线的波动幅度在±1.9 d B范围内,加速度响应动态范围为77.46~170.26 d B[500 Hz频点,参考值1μm/(s^2·Hz1/2)],加速度分辨率优于0.01 m/s^2。 展开更多
关键词 光纤激光器 加速度传感 竖直式结构 干涉解调
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波前分割无掩模激光干涉光刻的实现方法 被引量:9
9
作者 冯伯儒 张锦 郭永康 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期8-10,共3页
激光干涉光刻不受传统光学光刻系统光源和数值孔径的限制,其极限尺寸CD达到曝光波长 的1/4,研究了波前分割双光束、三光束方法及四光束无掩模激光干涉光刻方法,提出了可用于五光束和多种多光束和多次曝光的梯形棱镜波前分割干涉光刻方... 激光干涉光刻不受传统光学光刻系统光源和数值孔径的限制,其极限尺寸CD达到曝光波长 的1/4,研究了波前分割双光束、三光束方法及四光束无掩模激光干涉光刻方法,提出了可用于五光束和多种多光束和多次曝光的梯形棱镜波前分割干涉光刻方法。用自行建立的梯形棱镜波前分割系统进行了多光束干涉曝光实验,得到孔尺寸约220nm的阵列图形。 展开更多
关键词 干涉光刻 激光光刻 无掩模 波前分割
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振幅分割无掩模激光干涉光刻的实现方法 被引量:7
10
作者 张锦 冯伯儒 郭永康 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期11-15,共5页
无掩模激光干涉光刻中的分束方法一般有波前分割和振幅分割。研究和比较了振幅分割无 掩模激光干涉光刻方法和系统,包括振幅分割双光束干涉系统、三光束干涉系统、液浸式深紫外干涉系统及全自动干涉光刻系统。建立了双光束双曝光干涉光... 无掩模激光干涉光刻中的分束方法一般有波前分割和振幅分割。研究和比较了振幅分割无 掩模激光干涉光刻方法和系统,包括振幅分割双光束干涉系统、三光束干涉系统、液浸式深紫外干涉系统及全自动干涉光刻系统。建立了双光束双曝光干涉光刻实验系统。模拟和实验结果表明,对点阵或孔阵图形,在同样的图形尺度下,无掩模干涉光刻比传统光刻简单得多。 展开更多
关键词 干涉光刻 激光光刻 振幅分割 无掩模
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激光干涉法检测大口径抛物面反射镜 被引量:6
11
作者 权贵秦 安毓英 李庆国 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期2035-2038,共4页
针对非球面度为0.2λ的大口径抛物面反射镜,采用激光干涉法在ZYGO干涉仪上进行直接检测.对从干涉图获得的实际波面与理论计算的理想波面进行相减,得到被检抛物面镜的实际面形误差.将表面绝对检测技术引入非球面面形检测中,并与波面相减... 针对非球面度为0.2λ的大口径抛物面反射镜,采用激光干涉法在ZYGO干涉仪上进行直接检测.对从干涉图获得的实际波面与理论计算的理想波面进行相减,得到被检抛物面镜的实际面形误差.将表面绝对检测技术引入非球面面形检测中,并与波面相减技术相结合,从而使检测准确度提高了0.1λ.用自准直法验证了本方法的可行性. 展开更多
关键词 非球面 抛物面 激光干涉法 波面相减 绝对检测
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激光稳频技术的新发展 被引量:3
12
作者 王世华 周肇飞 迟桂纯 《成都科技大学学报》 EI CAS CSCD 1995年第4期69-74,80,共7页
本文着重介绍精密计量行业中运用的He-Ne激光器的稳频技术,并综述了He-Ne激光器单模、双模稳频技术的现状和发展动向以及新兴的半导体激光器稳频技术.
关键词 稳频技术 半导体激光器 激光器 激光波长
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1.3微米波长InGaAsP激光器产生的亚微微秒光脉冲的干涉自相关测量 被引量:5
13
作者 贾刚 孙伟 +1 位作者 衣茂斌 高鼎三 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第9期674-679,共6页
建立了用步进电机扫描的干涉自相关仪。测量了用1.3微米波长InGaAsP激光器产生的0.45ps的光脉冲。根据干涉自相关函数判定该脉冲是没有调制偏移的双曲正割型光脉冲。
关键词 半导体激光器 超短光脉冲 相关测量
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MEMS动态测试技术 被引量:6
14
作者 栗大超 冯亚林 +4 位作者 傅星 胡晓东 靳世久 郝一龙 胡小唐 《微纳电子技术》 CAS 2005年第4期188-194,共7页
阐述了基于频闪成像、计算机视觉和干涉测量的MEMS动态测试技术、基于激光多普勒测振的MEMS动态测试技术以及基于其他原理和方法的MEMS动态测试技术等的测试原理、测试方法与研究现状,指出了MEMS动态测试技术进一步的研究方向。
关键词 微机电系统 动态测试 频闪成像 计算机视觉 干涉测量 激光多普勒
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基于干涉解调技术的光纤激光器水声传感系统 被引量:6
15
作者 顾宏灿 黄俊斌 +3 位作者 苑秉成 谭波 李日忠 李玉 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2008年第12期73-77,81,共6页
分析了基于Michelson干涉解调技术的光纤激光器水声传感的原理,在一段掺铒光纤中写入具有π相移的光纤光栅构成光纤激光器,水声压力作用在激光器上引起激光工作波长的变化;采用基于3×3耦合器的偏振无关的非平衡光纤Michelson干涉... 分析了基于Michelson干涉解调技术的光纤激光器水声传感的原理,在一段掺铒光纤中写入具有π相移的光纤光栅构成光纤激光器,水声压力作用在激光器上引起激光工作波长的变化;采用基于3×3耦合器的偏振无关的非平衡光纤Michelson干涉仪将激光波长变化转化为干涉仪的相位变化;干涉仪的输出由光电探测器转换后使用DSP进行信号解调。针对3×3耦合器分光比不对称的问题,本文提出利用实时调整幅度的2路干涉信号进行解调的方案,该方案不需要3×3耦合器有严格的分光比,消除了外界环境对解调输出的非线性影响。水声探测实验表明,光纤激光器水声传感系统的声压灵敏度为-166.5dB(参考值1rad/μPa),解调结果与水声信号具有良好的线性关系。 展开更多
关键词 光纤传感 光纤激光器 水声传感 光纤Michelson干涉仪 干涉解调
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高等别线纹尺校准装置及校准方法研究 被引量:7
16
作者 孙双花 叶孝佑 +5 位作者 邹玲丁 任国营 张旭东 孙骏栖 沈雪萍 高宏堂 《计量学报》 CSCD 北大核心 2017年第S1期13-17,共5页
高等别线纹尺广泛用于精密加工及精密测量设备的定位、标定及校准等。为满足长三角地区高端装备制造业对高等别线纹尺的量值溯源需求,提升地方计量机构的量传能力,研制开发了新的激光干涉比长仪装置。在主体结构设计、激光干涉测长、环... 高等别线纹尺广泛用于精密加工及精密测量设备的定位、标定及校准等。为满足长三角地区高端装备制造业对高等别线纹尺的量值溯源需求,提升地方计量机构的量传能力,研制开发了新的激光干涉比长仪装置。在主体结构设计、激光干涉测长、环境监测与补偿等方面进行了精心设计,并利用基准尺等多种仪器,对装置各部分的计量特性进行校准及实验测试。测试结果表明,该装置校准线纹尺达到了基准级的测量精度。 展开更多
关键词 计量学 高等别线纹尺 激光干涉比长仪 光电显微镜
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基于激光干涉星间测距原理的下一代月球卫星重力测量计划需求论证 被引量:11
17
作者 郑伟 许厚泽 +1 位作者 钟敏 员美娟 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期922-932,共11页
月球卫星重力测量是21世纪国际开展深空探测的发展趋势和追逐热点。月球重力场的精密测量是国际探月计划的重要组成部分,它决定着月球探测器的轨道优化设计和载人登月飞船月面理想着陆点的合适选取。本文首先介绍未来国际GRAIL(Gravity ... 月球卫星重力测量是21世纪国际开展深空探测的发展趋势和追逐热点。月球重力场的精密测量是国际探月计划的重要组成部分,它决定着月球探测器的轨道优化设计和载人登月飞船月面理想着陆点的合适选取。本文首先介绍未来国际GRAIL(Gravity Recovery and Interior Laboratory)月球重力场探测双星计划的总体概述、关键载荷以及科学目标和研究方向。其次,重点阐述月球卫星观测模式可行性论证、月球卫星关键载荷的优化选取、卫星轨道参数的优化设计、仿真模拟研究的先期开展等我国将来月球卫星重力测量计划的实施建议。第一,由于高低/低低卫星跟踪卫星结合多普勒和甚长基线干涉系统观测模式(SST-HL/LL-Doppler-VLBI)对中长波月球重力场的探测精度较高,技术要求相对较低,月球重力场测定速度快、代价低和效益高,可借鉴地球重力卫星GRACE(Gravity Recovery and Climate Experiment)系统的成功经验,对定轨精度的要求较低,而且可有效探测远月面区域的月球重力场信号,因此我国将来首期月球卫星重力测量计划采用SST-HL/LL-Doppler-VLBI观测模式较优。第二,我国应先期开展高精度的月球重力卫星关键载荷(激光干涉星间测距仪、非保守力补偿系统等)和地面Doppler-VLBI系统的研制工作。第三,月球卫星轨道高度(50~100 km)和星间距离(100±50 km)的优化设计是成功实施将来我国月球卫星重力测量计划的重要保证。第四,建议我国将仿真技术应用于月球重力卫星的方案论证、系统设计、部件研制、产品检验、实际应用、故障分析等研制和运行的全过程。本文的研究不仅对我国将来首期月球卫星重力测量计划的成功实施具有重要的参考价值,同时对未来国际太阳系行星重力探测的发展方向具有广泛的指导意义。 展开更多
关键词 月球重力场 卫星跟踪卫星 激光干涉星间测距系统 非保守力补偿系统 GRAIL
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IBMPC/XT计算机控制精密光学自相关器和实验数据采集与处理自动化系统 被引量:4
18
作者 欧阳忠 彭文基 +1 位作者 李庆行 余振新 《激光技术》 CAS CSCD 1994年第5期313-316,共4页
本文介绍一种用于皮秒和飞秒级超短激光脉冲和激光与物质相互作用的超快过程测量的IBMPC/XT计算机控制精密光学自相关器和实验数据采集与处理自动化系统。该系统既可进行自相关测量,又可进行干涉强度自相关测量。仪器的时间分... 本文介绍一种用于皮秒和飞秒级超短激光脉冲和激光与物质相互作用的超快过程测量的IBMPC/XT计算机控制精密光学自相关器和实验数据采集与处理自动化系统。该系统既可进行自相关测量,又可进行干涉强度自相关测量。仪器的时间分辨率达0.3fs。 展开更多
关键词 计算机 干涉自相关 飞秒激光脉冲 数据采集
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双光束双曝光与四光束单曝光干涉光刻方法的比较 被引量:4
19
作者 张锦 冯伯儒 郭永康 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期21-24,62,共5页
双光束双曝光和四光束单曝光是无掩模激光干涉光刻的两种典型方法,都容易利用现有光刻工艺,在不需掩模和高精度光刻物镜的情况下,用简单廉价光学系统在大视场和深曝光场内形成孔阵、点阵或锥阵等周期性图形。双光束双曝光法得到的阵列... 双光束双曝光和四光束单曝光是无掩模激光干涉光刻的两种典型方法,都容易利用现有光刻工艺,在不需掩模和高精度光刻物镜的情况下,用简单廉价光学系统在大视场和深曝光场内形成孔阵、点阵或锥阵等周期性图形。双光束双曝光法得到的阵列图形周期极限为λ/2;四光束单曝光的周期略大,为前者的2倍。模拟和实验结果表明,通过控制曝光和显影工艺,双光束双曝光较四光束单曝光能更灵活地得到孔阵或点阵,而四光束单曝光得到的图形孔与孔之间没有鞍点,较双光束双曝光形成的孔侧壁更陡。这两种方法在需要在大面积范围内形成孔或点这类周期阵列图形的微电子和光电子器件的制造领域有很好的应用前景。 展开更多
关键词 干涉光刻 无掩模 双光束双曝光 四光束单曝光
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激光加工硅片的膜片式法—珀干涉型光纤压力传感器 被引量:2
20
作者 刘宇 王萌 +2 位作者 王博 姜丽娟 王少华 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第1期112-114,117,共4页
分析了多个反射面对单法—珀腔传感器光谱法解调的影响。为降低不参与形成法—珀腔的反射面的反射率以消除这一影响,利用Nd∶YAG激光加工系统在两面抛光硅片中的一面进行了表面纹理化处理。将经激光切割下的已表面纹理化的圆形硅片粘贴... 分析了多个反射面对单法—珀腔传感器光谱法解调的影响。为降低不参与形成法—珀腔的反射面的反射率以消除这一影响,利用Nd∶YAG激光加工系统在两面抛光硅片中的一面进行了表面纹理化处理。将经激光切割下的已表面纹理化的圆形硅片粘贴在中空玻璃毛细管一端,最后插入单模光纤并封装成非本征(EFPI)光纤法—珀干涉型压力传感器。进行了静态气压测试实验,结果表明:在40~240kPa气压范围内,传感器压力灵敏度为11.9 nm/kPa,线性度为1.51%。 展开更多
关键词 传感器 非本征法-珀干涉型 膜片式法-珀干涉型光纤压力传感器 Nd YAG激光加工
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