一种新型微机械谐振式压力传感器研究

提出了一种微机械谐振式压力传感器的新结构。该传感器采用了电磁激励和差分检测方式。谐振器的制作采用了30μm厚扩散硅的(100)硅片,从而实现了谐振器与压力膜的一体化,避免了谐振梁与压力膜键合引入的应力,并且工艺简单易于实现。文中介绍了结构的有限元仿真(FEA-ANSYSSimulation)优化,工艺制作流程,及实验测试。在低真空下测试其品质因数(Q)高于10000,测量范围为0～100kPa,非线性度为0.62%,分辨率为1/10000,灵敏度为200Hz/kPa。

微谐振传感器同频干扰的建模与消除

主要研究了静电激励/电容拾振谐振式硅微加速度传感器的同频干扰问题,分析了几种干扰源,建立了同频干扰的电路等效模型,提出一种基于双端激励/双端检测的结构,采用二次差分的方式消除同频干扰。

物理实验研究中的一组实用电路

介绍一组实用的物理实验控制电路。使该组电路 ,可产生PS级短光脉冲 ;进行无极放电激励原子发光 。

电除尘变压器差动保护动作原因分析及改进措施

介绍了某发电厂一起电除尘整流柜控制回路接线错误导致变压器差动保护不正确动作的情况,分析了变压器差动保护不正确动作以及电场发生偏励磁的原因,提出了改进方案及预防措施。