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微网气体探测器微结构SPACER的研制
1
作者
侯凤杰
伊福廷
+4 位作者
樊瑞睿
张菊芳
廖元勋
陈元柏
欧阳群
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2009年第7期419-423,共5页
在多丝正比室(MWPC)受到严重挑战的形势下,微网气体探测器(micromegas)以其响应时间快、计数能力高的优势而从各种新型的气体探测器中脱颖而出。本文介绍了利用两种方法制作微网气体探测器微结构的工艺,一种是利用准LIGA工艺,以SU8胶为...
在多丝正比室(MWPC)受到严重挑战的形势下,微网气体探测器(micromegas)以其响应时间快、计数能力高的优势而从各种新型的气体探测器中脱颖而出。本文介绍了利用两种方法制作微网气体探测器微结构的工艺,一种是利用准LIGA工艺,以SU8胶为绝缘层;另一种是利用干膜做绝缘层来制作微网气体探测器。对比分析了SU8胶和干膜对于制作微网气体探测器的优劣。实验证明,利用干膜制作的微网气体探测器性能更好。使用放射源55Fe对其能量分辨本领进行了实验研究,结果利用干膜制作的微网气体探测器得到了有效增益,测出了逃逸峰。另外,还分析了使用编织丝网和电铸镍网对微网气体探测器的影响,实验证明,电铸镍网更适合于微网气体探测器的性能要求。
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关键词
多丝正比室
微网气体探测器
SU8胶
干膜
丝网
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职称材料
题名
微网气体探测器微结构SPACER的研制
1
作者
侯凤杰
伊福廷
樊瑞睿
张菊芳
廖元勋
陈元柏
欧阳群
机构
中国科学院高能物理研究所
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2009年第7期419-423,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(10775156)
文摘
在多丝正比室(MWPC)受到严重挑战的形势下,微网气体探测器(micromegas)以其响应时间快、计数能力高的优势而从各种新型的气体探测器中脱颖而出。本文介绍了利用两种方法制作微网气体探测器微结构的工艺,一种是利用准LIGA工艺,以SU8胶为绝缘层;另一种是利用干膜做绝缘层来制作微网气体探测器。对比分析了SU8胶和干膜对于制作微网气体探测器的优劣。实验证明,利用干膜制作的微网气体探测器性能更好。使用放射源55Fe对其能量分辨本领进行了实验研究,结果利用干膜制作的微网气体探测器得到了有效增益,测出了逃逸峰。另外,还分析了使用编织丝网和电铸镍网对微网气体探测器的影响,实验证明,电铸镍网更适合于微网气体探测器的性能要求。
关键词
多丝正比室
微网气体探测器
SU8胶
干膜
丝网
Keywords
MWPC(multi-wire proportional chamber)
micromegas
SU8
dry flim
mesh
分类号
TL814 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微网气体探测器微结构SPACER的研制
侯凤杰
伊福廷
樊瑞睿
张菊芳
廖元勋
陈元柏
欧阳群
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2009
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