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高精度半球陀螺球面电极刻蚀
1
作者
谭文跃
方针
+4 位作者
刘书海
余波
李陟
贺海平
邱海莲
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2017年第5期646-648,共3页
半球谐振陀螺球面电极的刻蚀精度直接影响了谐振子驻波的控制准确性,以及在特定方位角读出信号采集的精度。该文采用激光对准的方式实现了半球陀螺超高对称球面电极的刻蚀,克服了传统对准法的低精度缺陷,将控制电极和读出电极的位置偏...
半球谐振陀螺球面电极的刻蚀精度直接影响了谐振子驻波的控制准确性,以及在特定方位角读出信号采集的精度。该文采用激光对准的方式实现了半球陀螺超高对称球面电极的刻蚀,克服了传统对准法的低精度缺陷,将控制电极和读出电极的位置偏差角降低1个数量级(误差角±0.2°),有效提高了半球谐振陀螺制造精度。
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关键词
半球谐振陀螺
电极刻蚀
空间球面球心
激光对准
偏差角
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职称材料
题名
高精度半球陀螺球面电极刻蚀
1
作者
谭文跃
方针
刘书海
余波
李陟
贺海平
邱海莲
机构
中国电子科技集团公司第二十六研究所
云南省机电一体化应用技术重点实验室云南省先进制造技术研究中心
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2017年第5期646-648,共3页
基金
民用航天预研项目
文摘
半球谐振陀螺球面电极的刻蚀精度直接影响了谐振子驻波的控制准确性,以及在特定方位角读出信号采集的精度。该文采用激光对准的方式实现了半球陀螺超高对称球面电极的刻蚀,克服了传统对准法的低精度缺陷,将控制电极和读出电极的位置偏差角降低1个数量级(误差角±0.2°),有效提高了半球谐振陀螺制造精度。
关键词
半球谐振陀螺
电极刻蚀
空间球面球心
激光对准
偏差角
Keywords
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分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
高精度半球陀螺球面电极刻蚀
谭文跃
方针
刘书海
余波
李陟
贺海平
邱海莲
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2017
0
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