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粗线条的2.5D硅转接板高速信号布线设计与仿真分析
被引量:
2
1
作者
平野
王海东
+5 位作者
王志
尚文亚
秦征
武晓萌
刘晓阳
于大全
《科学技术与工程》
北大核心
2014年第23期61-65,共5页
硅转接板作为2.5D集成的核心结构,通过TSV(through silicon via)提供垂直互联大大缩短了连线长度;同时其热膨胀系数与芯片较好匹配,并兼容圆片级工艺,因此硅转接板拥有着广阔的应用与发展空间。然而由于现有的封装工艺条件的限制,以及...
硅转接板作为2.5D集成的核心结构,通过TSV(through silicon via)提供垂直互联大大缩短了连线长度;同时其热膨胀系数与芯片较好匹配,并兼容圆片级工艺,因此硅转接板拥有着广阔的应用与发展空间。然而由于现有的封装工艺条件的限制,以及半导体硅高损耗的特性,在实现高速信号的高密度集成时,会出现损耗、串扰等多方面的信号完整性问题。结合封装工艺,针对硅转接板10μm线宽的RDL(redistribution layer)传输线多种布线结构在ANSYS的全波电磁场仿真软件HFSS中建立模型。通过仿真,得出硅衬底对传输线电性能的影响;以及单端和差分传输线的合理布线方式,并且提出了高速传输线的高密度排布结构。通过20μm线宽RDL传输线的高频电测试与仿真的结果分析,得出转接板RDL制作工艺的可靠性以及仿真方法的准确性,同时得出RDL层间介质厚度对传输线高频电性能的影响。
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关键词
2
5D封装
硅通孔(through
SILICON
VIA
TSV)
转接板
RDL电仿真
电设计
下载PDF
职称材料
地下汽车库的电气设计
2
作者
刘仲绮
《住宅科技》
2002年第10期17-18,共2页
针对城市汽车拥有量快速增长的现状,就住宅地下汽车库的电气设计中的常见问题,特别就人防汽车库的供电进行了讨论。
关键词
地下汽车库
电气设计
住宅
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职称材料
题名
粗线条的2.5D硅转接板高速信号布线设计与仿真分析
被引量:
2
1
作者
平野
王海东
王志
尚文亚
秦征
武晓萌
刘晓阳
于大全
机构
华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
中国科学院微电子研究所
江南计算技术研究所
出处
《科学技术与工程》
北大核心
2014年第23期61-65,共5页
基金
国家科技重大专项(2011ZX02709-2)资助
文摘
硅转接板作为2.5D集成的核心结构,通过TSV(through silicon via)提供垂直互联大大缩短了连线长度;同时其热膨胀系数与芯片较好匹配,并兼容圆片级工艺,因此硅转接板拥有着广阔的应用与发展空间。然而由于现有的封装工艺条件的限制,以及半导体硅高损耗的特性,在实现高速信号的高密度集成时,会出现损耗、串扰等多方面的信号完整性问题。结合封装工艺,针对硅转接板10μm线宽的RDL(redistribution layer)传输线多种布线结构在ANSYS的全波电磁场仿真软件HFSS中建立模型。通过仿真,得出硅衬底对传输线电性能的影响;以及单端和差分传输线的合理布线方式,并且提出了高速传输线的高密度排布结构。通过20μm线宽RDL传输线的高频电测试与仿真的结果分析,得出转接板RDL制作工艺的可靠性以及仿真方法的准确性,同时得出RDL层间介质厚度对传输线高频电性能的影响。
关键词
2
5D封装
硅通孔(through
SILICON
VIA
TSV)
转接板
RDL电仿真
电设计
Keywords
2.5D-packaging
TSV
interposer
RDL electric simulation
electricdesign
分类号
TN302 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
地下汽车库的电气设计
2
作者
刘仲绮
机构
上海市房屋建筑设计院
出处
《住宅科技》
2002年第10期17-18,共2页
文摘
针对城市汽车拥有量快速增长的现状,就住宅地下汽车库的电气设计中的常见问题,特别就人防汽车库的供电进行了讨论。
关键词
地下汽车库
电气设计
住宅
Keywords
housing
undergroundgarage
electricdesign
分类号
TU963 [建筑科学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
粗线条的2.5D硅转接板高速信号布线设计与仿真分析
平野
王海东
王志
尚文亚
秦征
武晓萌
刘晓阳
于大全
《科学技术与工程》
北大核心
2014
2
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职称材料
2
地下汽车库的电气设计
刘仲绮
《住宅科技》
2002
0
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职称材料
已选择
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参考文献
引证文献
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