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3D Finite Element Numerical Simulation of Residual Stresses on Electron Beam Welded BT20 Plates 被引量:5
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作者 LixingHUO FurongCHEN +3 位作者 YufengZHANG LiZHANG FangjunLIU GangCHEN 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2004年第1期117-120,共4页
A three-dimensional finite-element model (FEM) used for calculating electron beam (EB) welding temperature and stresses fields of thin plates of BT20 titanium has been developed in which the nonlinear thermophysical a... A three-dimensional finite-element model (FEM) used for calculating electron beam (EB) welding temperature and stresses fields of thin plates of BT20 titanium has been developed in which the nonlinear thermophysical and thermo-mechanical properties of the material has been considered. The welding temperature field, the distributions of residual stresses in as-welded (AW) and electron beam local post-weld heat treatment (EBLPWHT) conditions have been successfully simulated. The results show that: (1) In the weld center, the maximum magnitude of residual tensile stresses of BT20 thin plates of Ti alloy is equal to 60%- 70% of its yield strength σs. (2) The residual tensile stresses in weld center can be even decreased after EBLPWHT and the longitudinal tensile stresses are decreased about 50% compared to joints in AW conditions. (3) The numerical calculating results of residual stresses by using FEM are basically in agreement with the experimental results. Combined with numerical calculating results, the effects of electron beam welding and EBLPWHT on the distribution of welding residual stresses in thin plates of BT20 have been analyzed in detail. 展开更多
关键词 electron beam local heat treatment electron beam welding Titanium alloy Finite element method Residual stress
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Electron Moirémethod
2
作者 Satoshi Kishimoto 《Theoretical & Applied Mechanics Letters》 CAS 2012年第1期1-7,共7页
It is very important to measure local deformations for an in-depth understanding of mechanical properties and fracture mechanism of structural and functional materials. In this paper, different types of model grid fab... It is very important to measure local deformations for an in-depth understanding of mechanical properties and fracture mechanism of structural and functional materials. In this paper, different types of model grid fabrication methods and many types of electron Moire methods using an electron beam drawing system, a scanning electron microscope or a focus ion beam are reported, together with their applications in the measurement of deformations occurring in various engineerings and materials science research. 展开更多
关键词 electron Moire method micro and nano lithography electron beam scan secondary electron micro deformation measurement
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Numerical simulation of mechanics of electron beam physical vapour deposition Ni/Ni_3Al microlaminates
3
作者 李垚 张小朋 赵奕杰 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2005年第S3期221-226,共6页
The rupture behavior of electron beam physical vapour deposition(EBPVD) Ni/Ni3Al microlaminates composites subjected to tensile load were studied through the numerical method of finite element. 2D model and 3D model... The rupture behavior of electron beam physical vapour deposition(EBPVD) Ni/Ni3Al microlaminates composites subjected to tensile load were studied through the numerical method of finite element. 2D model and 3D model of EBPVD Ni/Ni3Al microlaminates with a centre crack were built respectively. A new scheme for building 3D crack point models was proposed and different types of elements were used. And stress intensity factors around the tip of the crack were obtained correspondingly. The results indicate that the key of the stress intensity factor for 2D model is presumably the average of the keys for 3D model in thickness and the key at the interface is the biggest, which suggests the propagation of the crack greatly likely happen at the interface. 展开更多
关键词 microlaminates FINITE element method stress INTENSITY factor electron beam physical VAPOUR DEPOSITION
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基于熵权法-AHP法的高能电子束辐照对生附片品质影响分析
4
作者 舒晓燕 王玉霞 +3 位作者 唐志康 赵瑞 崔福伟 侯大斌 《核农学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第7期1298-1307,共10页
为探究高能电子束辐照对生附片灭菌效果及药材品质的影响,本试验采用0、1、3、5、7、10、13、15和25 kGy剂量的电子束对生附片进行辐照处理,分析贮藏期内微生物数量和理化指标的变化。结果表明,辐照剂量为1 kGy可将微生物负载超标样品... 为探究高能电子束辐照对生附片灭菌效果及药材品质的影响,本试验采用0、1、3、5、7、10、13、15和25 kGy剂量的电子束对生附片进行辐照处理,分析贮藏期内微生物数量和理化指标的变化。结果表明,辐照剂量为1 kGy可将微生物负载超标样品中的需氧菌总数、霉菌和酵母菌总数降至标准规定以下。不同辐照剂量下的水分、总灰分和浸出物含量均无显著差异(P>0.05);总色差值(ΔE)随辐照剂量的增加而显著增加。经7、10、13 kGy高能电子束辐照处理后,总生物碱、单双酯型生物碱含量总和低于未辐照组。1,1-二苯基-2-三硝基苯肼(DPPH)清除率随辐照剂量增加整体显著下降(P<0.05)。高效液相色谱(HPLC)指纹图谱显示,不同辐照剂量高能电子束处理样品的相似度大于0.97,质量较稳定。熵权法结合层次分析法(AHP)综合评价表明,5 kGy辐照组的品质综合评分最高,1 kGy辐照组的品质综合评分最低。本研究结果可为高能电子束辐照技术在生附片及其加工品贮藏中的应用提供理论参考。 展开更多
关键词 高能电子束 辐照 生附片 熵权法 层次分析法
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强流脉冲束流位置探测器标定技术
5
作者 李勤 张肇驿 +3 位作者 蒋薇 刘云龙 王永伟 龙全红 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2024年第6期103-111,共9页
电子直线感应加速器性能提升对束流探测器提出了高精度测量要求,由此不仅要求高精度的探测器设计装配技术,而且也要求探测器的准确标定。从强流脉冲束流位置探测器测量原理出发,从理论和实验两方面开展强流脉冲束流位置探测器标定技术... 电子直线感应加速器性能提升对束流探测器提出了高精度测量要求,由此不仅要求高精度的探测器设计装配技术,而且也要求探测器的准确标定。从强流脉冲束流位置探测器测量原理出发,从理论和实验两方面开展强流脉冲束流位置探测器标定技术研究。在理论上采用解析方法,分析了不同的计算处理方法和标定方法的标定效果,提出了特征平面标定,在建立的位置标定系统上,对用于多脉冲电子直线感应加速器的No.23电阻环进行了标定实验研究,实验结果验证了理论分析结果,根据理论和实验研究结果,确定了强流脉冲束流位置探测器标定方法。 展开更多
关键词 直线感应加速器 脉冲电子束 位置探测器 标定技术 标定方法
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利用切伦科夫辐射进行电子束发散角及分布概况的测量技术研究 被引量:1
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作者 江孝国 廖树清 +5 位作者 王远 李洪 杨兴林 张小丁 杨国君 魏涛 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期97-101,共5页
针对切伦科夫辐射特点,采用厚度尽量小的石英薄片作为转换靶,并将电子束以切伦科夫辐射角入射转换靶的形式构成一种电子束发散角分布的测量布局,并基于焦平面成像原理,研制了相应的电子束发散角光学测量系统。在强流脉冲直线感应加速器... 针对切伦科夫辐射特点,采用厚度尽量小的石英薄片作为转换靶,并将电子束以切伦科夫辐射角入射转换靶的形式构成一种电子束发散角分布的测量布局,并基于焦平面成像原理,研制了相应的电子束发散角光学测量系统。在强流脉冲直线感应加速器上完成了装置研制和测试工作,显示了电子束发散角分布测量系统可以获得电子束一定方向上的散角分布概况,测量结果具有一定的可信度,具有装置结构简单、数据处理难度低及速度快等特点。 展开更多
关键词 切伦科夫辐射 电子束发散角 焦平面成像 空间方位角变换
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太赫兹带状注器件 被引量:1
7
作者 吕志方 张长青 +5 位作者 王战亮 江胜坤 阮存军 冯进军 宫玉彬 段兆云 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期26-36,共11页
带状注是指束流截面近似为矩形或椭圆形的电子注,且具有大的宽高比。相对于传统的圆形注,带状注具有很多优点,例如大电流和大互作用面积等。由于太赫兹波具有高频率、宽频带、高传输速率等优点,因此太赫兹科学与技术近年来发展迅速。作... 带状注是指束流截面近似为矩形或椭圆形的电子注,且具有大的宽高比。相对于传统的圆形注,带状注具有很多优点,例如大电流和大互作用面积等。由于太赫兹波具有高频率、宽频带、高传输速率等优点,因此太赫兹科学与技术近年来发展迅速。作为一种新型的真空电子器件,太赫兹带状注器件在高功率、高增益、高效率及小型化方面具有良好的技术优势。但是,带状注在传输过程中易出现Diocotron不稳定性,难以保持长距离稳定的聚焦传输,从而导致带状注的技术优势难以发挥。本文综述了带状注的产生成形方式和聚焦传输方法,以及太赫兹带状注器件的研究进展,同时讨论了它所面临的挑战和未来的发展方向。 展开更多
关键词 太赫兹 带状注 真空电子器件 Diocotron不稳定性 磁聚焦方法
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基于响应面法的HR-2抗氢钢电子束插接焊工艺参数优化 被引量:2
8
作者 王群 余洋 钱志强 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第4期50-57,I0006,共9页
为解决HR-2抗氢钢电子束插接焊有效熔深不足、焊缝处开裂等问题,采用BBD设计试验方案,基于响应面法建立了HR-2抗氢钢电子束插接焊焊接工艺参数(聚焦电流、焊接速度、束流、倾斜角度)与预测响应值(有效熔深、接头抗剪承载力)之间的统计模... 为解决HR-2抗氢钢电子束插接焊有效熔深不足、焊缝处开裂等问题,采用BBD设计试验方案,基于响应面法建立了HR-2抗氢钢电子束插接焊焊接工艺参数(聚焦电流、焊接速度、束流、倾斜角度)与预测响应值(有效熔深、接头抗剪承载力)之间的统计模型.根据有效熔深和接头抗剪承载力的要求优化焊接工艺参数,并通过优化电子束焊接工艺参数来预测电子束插接焊的有效熔深和接头抗剪承载力,实现焊缝截面形貌与接头强度的最佳组合.结果表明,模型拟合度较好,有效熔深预测值比实测值高1.17%,接头抗剪承载力预测值比实测值高2.63%,得到较优的焊接参数为:聚焦电流2.46 A,焊接速度10.00 mm/s,束流8.20 mA,倾斜角度11°.在该参数下的焊缝有效熔深1347.82μm,接头抗剪承载力13.525 kN. 展开更多
关键词 电子束焊接 插接焊 工艺参数优化 响应面法
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一种60kV太空电子枪的仿真研究
9
作者 杨子钰 董全林 +3 位作者 赵然 邵静怡 刘洋洋 王军伟 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2023年第23期100-103,共4页
根据设计目标的性能参数和结构位置,通过综合迭代法得到电子枪初值;并对比钨与LaB6两种阴极材料的性能,选择合适的阴极材料,利用SOURCES中相关程序对60 kV的太空电子枪进行了仿真,得到色差系数、束斑直径等仿真结果。根据焦距公式得到... 根据设计目标的性能参数和结构位置,通过综合迭代法得到电子枪初值;并对比钨与LaB6两种阴极材料的性能,选择合适的阴极材料,利用SOURCES中相关程序对60 kV的太空电子枪进行了仿真,得到色差系数、束斑直径等仿真结果。根据焦距公式得到一级聚焦系统的焦距并进行聚焦系统的仿真,得到焦距、束斑和电子光路等仿真结果。通过分析一级聚焦系统的不足之处,重新设计二级聚焦系统,并由仿真得到极靴孔直径、线圈激励等性能参数和电磁透镜轴上场分布图。最后根据二级聚焦系统仿真结果,得出了符合要求的电子枪参数与电子光学参数。 展开更多
关键词 太空电子枪 综合迭代法 聚焦系统 光学系统 电子束
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Using Finite Element and Contour Method to Evaluate Residual Stress in Thick Ti-6Al-4V Alloy Welded by Electron Beam Welding 被引量:6
10
作者 Pu Xie Hai-Yan Zhao +1 位作者 Bing Wu Shui-Li Gong 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第7期922-930,共9页
This work was to reveal the residual stress profile in electron beam welded Ti-6Al-4V alloy plates(50 mm thick) by using finite element and contour measurement methods.A three-dimensional finite element model of 50-... This work was to reveal the residual stress profile in electron beam welded Ti-6Al-4V alloy plates(50 mm thick) by using finite element and contour measurement methods.A three-dimensional finite element model of 50-mmthick titanium component was proposed,in which a column–cone combined heat source model was used to simulate the temperature field and a thermo-elastic–plastic model to analyze residual stress in a weld joint based on ABAQUS software.Considering the uncertainty of welding simulation,the computation was calibrated by experimental data of contour measurement method.Both test and simulated results show that residual stresses on the surface and inside the weld zone are significantly different and present a narrow and large gradient feature in the weld joint.The peak tensile stress exceeds the yield strength of base materials inside weld,which are distinctly different from residual stress of the thin Ti-6Al-4V alloy plates presented in references before. 展开更多
关键词 electron beam welding Residual stress Finite element method Contour method Titanium alloy
原文传递
镍基高温合金电子束焊接头的疲劳极限研究
11
作者 李张辉 朱阳阳 《机械制造与自动化》 2023年第1期48-50,共3页
为给出焊接接头准确的疲劳极限,利用高周疲劳试验机进行了GH4169电子束焊接头的高周疲劳试验,研究了材料的疲劳极限性能。分别利用升降法和极小样本法对试验数据进行处理,得到了基于两种方法的GH4169电子束焊接头的疲劳极限,二者的预估... 为给出焊接接头准确的疲劳极限,利用高周疲劳试验机进行了GH4169电子束焊接头的高周疲劳试验,研究了材料的疲劳极限性能。分别利用升降法和极小样本法对试验数据进行处理,得到了基于两种方法的GH4169电子束焊接头的疲劳极限,二者的预估计算结果较为接近且与试验结果吻合。 展开更多
关键词 镍基合金 电子束焊接头 升降法 极小样本法 疲劳极限
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Faraday-rotation self-interference method for electron beam duration measurement in the laser wakefield accelerator
12
作者 刘佳琦 李文涛 +10 位作者 刘建胜 王文涛 齐荣 张志钧 余昌海 秦志勇 方明 冯珂 吴颖 王成 李儒新 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第7期45-50,共6页
Real-time single-shot measurement of the femtosecond electron beam duration in laser wakefield accelerators is discussed for both experimental design and theoretical analysis that combines polarimetry and interferomet... Real-time single-shot measurement of the femtosecond electron beam duration in laser wakefield accelerators is discussed for both experimental design and theoretical analysis that combines polarimetry and interferometry.The probe pulse polarization is rotated by the azimuthal magnetic field of the electron beam and then introduced into a Michelson-type interferometer for self-interference. The electron beam duration is obtained from the region size of the interference fringes, which is independent of the pulse width of the probe laser. Using a larger magnification system or incident angle, the measurement resolution can be less than 1 fs. 展开更多
关键词 Faraday-rotation self-interference method for electron beam duration measurement in the laser wakefield accelerator
原文传递
家居木制品用水性紫外光固化涂料及其应用研究进展 被引量:7
13
作者 吴智慧 张海桥 《林业工程学报》 CSCD 北大核心 2023年第1期1-12,共12页
家居木制品用水性紫外光(ultraviolet, UV)固化涂料是涂布在家居木制品表面,可在UV的照射下进行固化,起到保护和装饰美化作用的一系列液态涂料。水性UV固化涂料综合了水性涂料和UV涂料的特征,具有挥发性有机化合物(volatile organic com... 家居木制品用水性紫外光(ultraviolet, UV)固化涂料是涂布在家居木制品表面,可在UV的照射下进行固化,起到保护和装饰美化作用的一系列液态涂料。水性UV固化涂料综合了水性涂料和UV涂料的特征,具有挥发性有机化合物(volatile organic compound, VOC)含量低、固化速度快、绿色环保等优点,但相对于传统的溶剂型涂料,也存在漆膜性能不足、丰满度不够等缺点。家居木制品用水性UV固化涂料需要考虑木制品对水敏感、容易吸水润胀以及UV光源是否有热辐射、导致木制品受热变形等问题。笔者简述了水性涂料的优缺点、几种家居木制品用水性UV固化涂料的改性研究进展,以及适用于家居木制品行业的新型涂装技术和涂料固化技术。比较了我国家居木制品行业相关国家标准和行业标准中关于木制品用涂料VOC或总挥发性有机化合物释放量(total volatile organic compounds, TVOC)的限定值,并将其与国外相关环保标准中关于木制品用涂料VOC/半挥发性有机化合物(semi-volatile organic compound, SVOC)的规定进行比较。最后,对家居木制品用涂料和应用技术的发展趋势作出展望。 展开更多
关键词 家居木制品 水性涂料改性 UV-LED固化技术 EB固化技术 机器人智能喷涂 加温氮气喷涂
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热处理工艺对电子束熔丝成形TC18钛合金组织性能的影响 被引量:7
14
作者 黄志涛 锁红波 +2 位作者 杨光 杨帆 董伟 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期50-54,共5页
利用电子束熔丝成形技术制备了TC18钛合金试样,研究了热处理工艺对TC18钛合金显微组织性能的影响。结果表明,经热等静压处理后,宏观组织为典型的沿堆积高度方向生长的粗大β柱状晶;β晶粒内部显微组织具有网篮状组织特征;片层状初生α... 利用电子束熔丝成形技术制备了TC18钛合金试样,研究了热处理工艺对TC18钛合金显微组织性能的影响。结果表明,经热等静压处理后,宏观组织为典型的沿堆积高度方向生长的粗大β柱状晶;β晶粒内部显微组织具有网篮状组织特征;片层状初生α相随着固溶温度升高而逐渐减少,固溶温度为830℃时全部消失;随固溶温度的升高,试样对应的显微硬度值增大;相同固溶处理条件下,随时效温度的升高,β转变组织中次生α相片层宽度明显增大,对应的显微硬度值降低。 展开更多
关键词 TC18钛合金 电子束熔丝成形 热处理 显微组织
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梯度热障涂层的设计 被引量:18
15
作者 郭洪波 宫声凯 徐惠彬 《航空学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期467-472,共6页
采用电子束物理气相沉积方法 (EB PVD)制备了梯度热障涂层 ,其结构设计为NiCoCrAlY粘结层 /Al2 O3 YSZ过渡层 /YSZ陶瓷层。YSZ陶瓷层的结构为柱状晶结构 ,Al2 O3 YSZ梯度过渡层为梯度微孔结构。采用有限元方法对梯度热障涂层进行热应... 采用电子束物理气相沉积方法 (EB PVD)制备了梯度热障涂层 ,其结构设计为NiCoCrAlY粘结层 /Al2 O3 YSZ过渡层 /YSZ陶瓷层。YSZ陶瓷层的结构为柱状晶结构 ,Al2 O3 YSZ梯度过渡层为梯度微孔结构。采用有限元方法对梯度热障涂层进行热应力分析 ,优化了Al2 O3 YSZ梯度过渡层的组成。计算结果表明 ,梯度涂层的内应力显著降低 ,而且界面及其附近应力和应变变化较平缓。过渡层厚度的增加有利于降低涂层内应力和缓和涂层界面处的应力集中。 展开更多
关键词 电子束物理气相沉积 有限元 热传导 发动机技术 设计
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BT20钛合金电子束焊接残余应力三维有限元数值模拟 被引量:19
16
作者 陈芙蓉 霍立兴 +2 位作者 张玉凤 刘方军 陈刚 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期61-64,70,共5页
研究钛合金电子束焊接构件残余应力的大小和分布 ,了解残余应力的形成机理 ,具有十分重要的理论和实际意义。作者利用ANSYS程序模拟了BT2 0钛合金电子束焊态和焊后电子束局部热处理的实际焊接温度场以及焊接接头应力场的变化和残余应力... 研究钛合金电子束焊接构件残余应力的大小和分布 ,了解残余应力的形成机理 ,具有十分重要的理论和实际意义。作者利用ANSYS程序模拟了BT2 0钛合金电子束焊态和焊后电子束局部热处理的实际焊接温度场以及焊接接头应力场的变化和残余应力的分布。计算结果表明 ,钛合金薄板焊缝中心残余拉应力的峰值达到焊缝金属屈服强度σs 的 6 0 %~ 70 % ;焊后电子束局部热处理可以降低焊缝中心处的拉伸残余应力值 ,降低约 5 0 %左右 ;用所建模型计算得到的数值结果规律与实测的残余应力值基本一致。 展开更多
关键词 钛合金 电子束焊接 残余应力 有限元 数值模拟
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钢管斜轧延伸时辊型对附加变形的影响 被引量:6
17
作者 朱景清 刘雅政 +1 位作者 钟梅 郭凤滨 《轧钢》 1995年第4期7-10,共4页
用电子束标迹法研究了钢管斜轧延伸时辊型对附加变形的影响,研究表明,锥形辊与鼓形辊相比,可使附加变形显著减少。
关键词 电子束标迹法 钢管斜轧 附加变形 管材轧制
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对TiO_2亲水特性有决定性影响的物理因素 被引量:2
18
作者 王伟 张大伟 +4 位作者 陶春先 王琦 黄元申 倪争技 庄松林 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期125-128,共4页
影响TiO_2薄膜亲水性的三种物理特性有——表面形貌、表面粗糙度、表面颗粒大小.本文中使用电子束蒸发法制备TiO_2薄膜,使用AFM、静态接触角检测对不同厚度的TiO_2薄膜的物理特性以及亲水特性进行了分析.结果显示,相较于薄膜表面的颗粒... 影响TiO_2薄膜亲水性的三种物理特性有——表面形貌、表面粗糙度、表面颗粒大小.本文中使用电子束蒸发法制备TiO_2薄膜,使用AFM、静态接触角检测对不同厚度的TiO_2薄膜的物理特性以及亲水特性进行了分析.结果显示,相较于薄膜表面的颗粒尺寸及表面粗糙度,薄膜表面形貌对TiO_2薄膜亲水特性有着更重要的影响. 展开更多
关键词 TIO2薄膜 亲水性 电子束蒸发法 表面形貌
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电子束刻蚀法制作微米/亚微米云纹光栅技术 被引量:3
19
作者 谢惠民 戴福隆 +1 位作者 岸本哲 张维 《光学技术》 CAS CSCD 2000年第6期526-528,共3页
本文应用电子束刻蚀技术并结合真空镀膜技术提出了制作电子束云纹光栅的新方法。首次提出三镀层制作双频电子束云纹光栅的新工艺。所制得的光栅可在两频率下应用电子束云纹法测量物体的变形。同一般光栅相比 ,这种双频光栅变形量程范围... 本文应用电子束刻蚀技术并结合真空镀膜技术提出了制作电子束云纹光栅的新方法。首次提出三镀层制作双频电子束云纹光栅的新工艺。所制得的光栅可在两频率下应用电子束云纹法测量物体的变形。同一般光栅相比 ,这种双频光栅变形量程范围更大。在本研究中 ,运用电子束刻蚀法并结合真空镀膜技术制作出 0 .1μm间距 ( 10 0 0 0线 /mm光栅 )的电子束云纹光栅。应用所制作的 10 μm/1μm双频光栅与相对应的电子束参考栅干涉 ,分别得到对应的电子束云纹场。文中对制栅工艺及方法进行了详细的讨论。 展开更多
关键词 电子束刻蚀法 变形测量 电子束云纹光栅
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不锈钢和Ti基体上Cu,Ag,Ni膜中的内应力研究 被引量:6
20
作者 任凤章 郑茂盛 +2 位作者 周根树 赵文轸 顾海澄 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期706-709,共4页
用电镀工艺在不锈钢基体上镀制了Cu,Ag,Ni膜和Ti基体上制备了Ni膜,并用悬臂梁法和X射线法测量了膜中的残余应力。并基于改进的TFD模型,对任意膜厚下由界面电子转移引起的膜内应力作了理论估算。结果表明,理论估算所给出的膜内应力与实... 用电镀工艺在不锈钢基体上镀制了Cu,Ag,Ni膜和Ti基体上制备了Ni膜,并用悬臂梁法和X射线法测量了膜中的残余应力。并基于改进的TFD模型,对任意膜厚下由界面电子转移引起的膜内应力作了理论估算。结果表明,理论估算所给出的膜内应力与实验测量值具有可比性。这说明理论计算模型具有较高的准确性和膜内残余应力主要由界面电子转移引起。 展开更多
关键词 薄膜 内应力 悬臂梁法 电子密度 TFD模型
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