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RF-PECVD法在不同的基底上生长纳米金刚石及碳纳米管/纳米金刚石复合物 被引量：2
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作者 徐强 杨光敏 秦宏宇 《物理实验》 2013年第4期9-13,共5页
采用PECVD技术,在氯化钠基片上合成了纳米金刚石,并研究了其生长机制.采用同样的技术,以硅片为基底,选用不同的沉积参量,分别合成了纳米金刚石、碳纳米管及碳纳米管/纳米金刚石复合物,研究了其场发射性能.实验结果表明:碳纳米管/纳米金... 采用PECVD技术,在氯化钠基片上合成了纳米金刚石,并研究了其生长机制.采用同样的技术,以硅片为基底,选用不同的沉积参量,分别合成了纳米金刚石、碳纳米管及碳纳米管/纳米金刚石复合物,研究了其场发射性能.实验结果表明:碳纳米管/纳米金刚石复合物的场发射性能优于碳纳米管和纳米金刚石的场发射性能. 展开更多
关键词 纳米金刚石 碳纳米管 碳纳米管 纳米金刚石复合物 等离子体增强化学气相沉积 场发射
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