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深亚微米同步辐射x射线光刻技术
被引量:
1
1
作者
谢常青
叶甜春
+2 位作者
陈大鹏
赵玲莉
胥兴才
《半导体情报》
2000年第6期35-37,42,共4页
报道了我们制作深亚微米 x射线掩模的工艺和同步辐射 x射线曝光工艺 ,并报道了我们在北京同步辐射装置 (BSRF) 3B1 A光刻束线所获得的深亚微米
关键词
X射线光刻
同步辐射
深亚微米
下载PDF
职称材料
用节点电压模拟法实现电流模式滤波器
2
作者
张涛
赵述江
《湖北工学院学报》
2000年第3期13-16,共4页
选择某些有源 RC和 OTA滤波器作原形 ,应用节点电压模拟的方法 ,设计了三个新颖的电流模式CC 滤波器 ,理论分析和计算机仿真证明 。
关键词
电流模式
电流传输器
滤波器
节点电压模拟法
下载PDF
职称材料
题名
深亚微米同步辐射x射线光刻技术
被引量:
1
1
作者
谢常青
叶甜春
陈大鹏
赵玲莉
胥兴才
机构
中国科学院微电子中心三室
出处
《半导体情报》
2000年第6期35-37,42,共4页
基金
"九五"国家科技攻关资助项目
文摘
报道了我们制作深亚微米 x射线掩模的工艺和同步辐射 x射线曝光工艺 ,并报道了我们在北京同步辐射装置 (BSRF) 3B1 A光刻束线所获得的深亚微米
关键词
X射线光刻
同步辐射
深亚微米
Keywords
x-ray lithography
resolution
synchrotron radiation
SiN
filh
分类号
TN405.7 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
用节点电压模拟法实现电流模式滤波器
2
作者
张涛
赵述江
机构
武汉科技大学信息科学与技术学院
出处
《湖北工学院学报》
2000年第3期13-16,共4页
文摘
选择某些有源 RC和 OTA滤波器作原形 ,应用节点电压模拟的方法 ,设计了三个新颖的电流模式CC 滤波器 ,理论分析和计算机仿真证明 。
关键词
电流模式
电流传输器
滤波器
节点电压模拟法
Keywords
current mode
current conveyer
filh
分类号
TN713 [电子电信—电路与系统]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
深亚微米同步辐射x射线光刻技术
谢常青
叶甜春
陈大鹏
赵玲莉
胥兴才
《半导体情报》
2000
1
下载PDF
职称材料
2
用节点电压模拟法实现电流模式滤波器
张涛
赵述江
《湖北工学院学报》
2000
0
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职称材料
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