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一种MEMS平板型同位素微电池的设计与制作
1
作者
董鹏
苑伟政
乔大勇
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期319-322,共4页
针对倒三角直槽型或倒金字塔型能量转换结构的同位素微电池难于加工以及放射性薄膜不均匀等缺陷,设计了一种较为简单的平板型能量转换结构。引入金属区这一结构,增强了放射源薄膜的接触稳定性。63N i放射源电镀实验最终得到了一组理想...
针对倒三角直槽型或倒金字塔型能量转换结构的同位素微电池难于加工以及放射性薄膜不均匀等缺陷,设计了一种较为简单的平板型能量转换结构。引入金属区这一结构,增强了放射源薄膜的接触稳定性。63N i放射源电镀实验最终得到了一组理想的短路电流和开路电压数据。结果表明,该结构与传统的能量转换结构相比有更稳定的功率输出。
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关键词
MEMS
同位素^63Ni微电池
平板型能量转换结构
剥离工艺
源活度
原文传递
题名
一种MEMS平板型同位素微电池的设计与制作
1
作者
董鹏
苑伟政
乔大勇
机构
西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室
出处
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期319-322,共4页
基金
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(No.N7HM0006)
文摘
针对倒三角直槽型或倒金字塔型能量转换结构的同位素微电池难于加工以及放射性薄膜不均匀等缺陷,设计了一种较为简单的平板型能量转换结构。引入金属区这一结构,增强了放射源薄膜的接触稳定性。63N i放射源电镀实验最终得到了一组理想的短路电流和开路电压数据。结果表明,该结构与传统的能量转换结构相比有更稳定的功率输出。
关键词
MEMS
同位素^63Ni微电池
平板型能量转换结构
剥离工艺
源活度
Keywords
Microelectro Mechanical Systems
^63Ni radioisotope micro battery
flat plate energy conversion device
,
lift-off
source activity
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种MEMS平板型同位素微电池的设计与制作
董鹏
苑伟政
乔大勇
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008
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