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全玻璃平板型真空荧光光源的工艺探讨 被引量:4
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作者 刘光诒 夏善红 +4 位作者 吕永积 陈绍凤 李宏彦 罗运良 王建英 《液晶与显示》 CAS CSCD 2001年第4期294-299,共6页
提出并研制出一种新型平板式全玻璃真空荧光光源(VFLS)管,与国际上传统的真空荧光光源管比较,新的器件在大面积碳场发射阴极,厚膜管结构和制造工艺等方面是新颖的。从真空荧光光源管内的工作原理出发,分析了该器件工作时管内... 提出并研制出一种新型平板式全玻璃真空荧光光源(VFLS)管,与国际上传统的真空荧光光源管比较,新的器件在大面积碳场发射阴极,厚膜管结构和制造工艺等方面是新颖的。从真空荧光光源管内的工作原理出发,分析了该器件工作时管内发生的主要物理过程,详细介绍了研制VFLS管的制造工艺,并讨论了此工作目前存在的问题及前景。 展开更多
关键词 真空微电子学 全玻璃平板型真空荧光光源 工艺 VFLS管
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