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High-Power Distributed Feedback Laser Diodes Emitting at 820nm 被引量:2
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作者 付生辉 钟源 +1 位作者 宋国峰 陈良惠 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期966-969,共4页
By etching a second-order grating directly into the Al-free optical waveguide region of a ridgewaveguide(RW) AlGaInAs/AlGaAs distributed feedback(DFB) laser diode,a front facet output power of 30mW is obtained at ... By etching a second-order grating directly into the Al-free optical waveguide region of a ridgewaveguide(RW) AlGaInAs/AlGaAs distributed feedback(DFB) laser diode,a front facet output power of 30mW is obtained at about 820nm with a single longitudinal mode. The Al-free grating surface permits the re-growth of a high-quality cladding layer that yields excellent device performance. The threshold current of these laser diodes is 57mA,and the slope efficiency is about 0.32mW/mA. 展开更多
关键词 distributed feedback laser diodes Al-free gratings ridge-waveguide
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Comparison of two kinds of active layers for high-power narrow-stripe distributed feedback laser diodes
2
作者 付生辉 宋国峰 陈良惠 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第3期817-820,共4页
Usually GaAs/AlGaAs is utilized as an active layer material in laser diodes operating in the spectral range of 800- 850 nm. In this work, in addition to a traditional unstrained GaAs/AlGaAs distributed feedback (DFB... Usually GaAs/AlGaAs is utilized as an active layer material in laser diodes operating in the spectral range of 800- 850 nm. In this work, in addition to a traditional unstrained GaAs/AlGaAs distributed feedback (DFB) laser diode, a compressively strained InGaAlAs/AlGaAs DFB laser diode is numerically investigated in characteristic. The simulation results show that the compressively strained DFB laser diode has a lower transparency carrier density, higher gain, lower Auger recombination rate, and higher stimulated recombination rate, which lead to better a device performance, than the traditional unstrained GaAs/AlGaAs DFB laser diode. 展开更多
关键词 InGaAlAs/AlGaAs distributed feedback laser diode numerical simulation
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Measurement and Characterization of Microwave Interaction between Integrated Distributed Feedback Laser Diode and Electro-Absorption Modulator
3
作者 Fei Yuan Chao Jing +3 位作者 Meng-Ke Wang Shang-Jian Zhang Zhi-Yao Zhang Yong Liu 《Journal of Electronic Science and Technology》 CAS CSCD 2022年第4期375-382,共8页
Integrated electro-absorption-modulated distributed feedback laser diodes(EMLs)are attracting much interest in optical communications for the advantages of a compact structure,low power consumption,and high-speed modu... Integrated electro-absorption-modulated distributed feedback laser diodes(EMLs)are attracting much interest in optical communications for the advantages of a compact structure,low power consumption,and high-speed modulation.In integrated EML,the microwave interaction between the distributed feedback laser diode(DFB-LD)and the electro-absorption modulator(EAM)has a nonnegligible influence on the modulation performance,especially at the high-frequency region.In this paper,integrated EML was investigated as a three-port network with two electrical inputs and a single optical output,where the scattering matrix of the integrated device was theoretically deduced and experimentally measured.Based on the theoretical model and the measured data,the microwave equivalent circuit model of the integrated device was established,from which the microwave interaction between DFB-LD and EAM was successfully extracted.The results reveal that the microwave interaction within integrated EML contains both the electrical isolation and optical coupling.The electrical isolation is bidirectional while the optical coupling is directional,which aggravates the microwave interaction in the direction from DFB-LD to EAM. 展开更多
关键词 distributed feedback laser diode(DFB-LD) electro-absorption modulator(EAM) equivalent circuit model microwave interaction scattering parameters
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Preparation for Bragg grating of 808 nm distributed feedback laser diode 被引量:1
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作者 王勇 刘丹丹 +3 位作者 冯国庆 叶镇 高占琦 王晓华 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2015年第5期54-57,共4页
The second-order Bragg grating structure of an 808 nm distributed feedback semiconductor laser diode was designed and optimized. The grating with a period of 240 nm was fabricated on GaAs substrate by holographic phot... The second-order Bragg grating structure of an 808 nm distributed feedback semiconductor laser diode was designed and optimized. The grating with a period of 240 nm was fabricated on GaAs substrate by holographic photolithography and wet etching. Images of optical microscopy, scanning electron microscopy and atomic force microscopy show that the grating has a period of 240 nm, duty cycle of 0.25, depth of 80 nm, with perfect surface morphology, good fringe continuity and uniformity. 展开更多
关键词 distributed feedback (DFB) laser diode (LD) GRATING holographic photolithography
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高成品率大耦合因子DFB激光二极管芯片设计与制备
5
作者 姚文港 郝腾 +1 位作者 张坤伟 刘婷婷 《微纳电子技术》 CAS 2024年第6期38-44,共7页
设计并制备了一种基于相移光栅的大耦合因子分布反馈(DFB)激光二极管芯片,解释了相移光栅在大耦合因子下实现芯片高成品率的机理。采用传输矩阵法模拟了不同耦合因子下随机相位对均匀光栅和相移光栅激光二极管芯片单模特性的影响,发现... 设计并制备了一种基于相移光栅的大耦合因子分布反馈(DFB)激光二极管芯片,解释了相移光栅在大耦合因子下实现芯片高成品率的机理。采用传输矩阵法模拟了不同耦合因子下随机相位对均匀光栅和相移光栅激光二极管芯片单模特性的影响,发现对于常规均匀光栅DFB结构,随着耦合因子的增加,芯片阈值增益差会明显降低,从而降低芯片单模成品率;而相移光栅DFB结构在不同耦合因子下,芯片阈值增益差并没有明显变化,仍能够保证比较高的单模成品率。采用电子束光刻制作了1/4波长相移光栅和均匀光栅并进行了对比,最后制备出大归一化耦合因子(κL=2.1)的相移光栅DFB激光器二极管芯片。测试统计数据显示,与均匀光栅激光二极管芯片相比,新型相移光栅DFB激光二极管芯片成品率明显高,达70%以上。与常规归一化耦合因子(κL≈1.2)DFB激光二极管芯片相比,在宽温(-40~95℃)下,新型大耦合因子激光二极管芯片的光谱单模特性更稳定,同时具有更低的阈值电流,在低工作电流(30 mA)下,芯片的-3 dB带宽大于18 GHz,满足传输速率为25 Gbit/s的高速传输协议要求。 展开更多
关键词 分布反馈(DFB) 激光二极管 大耦合因子 相移光栅 传输矩阵 高成品率
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高灵敏度光收发组件自动温度控制技术研究
6
作者 胡伟 李兴红 周本军 《电声技术》 2023年第2期96-98,103,共4页
为了实现数字信号长距离和高可靠的传输,设计了一种高灵敏度、高集成的数字光收发组件。介绍光收发组件的工作原理,设计基于分布式反馈激光器(Distributed Feedback Laser,DFB)和雪崩光电二极管(Avalanche Photo Diode,APD)探测器的高... 为了实现数字信号长距离和高可靠的传输,设计了一种高灵敏度、高集成的数字光收发组件。介绍光收发组件的工作原理,设计基于分布式反馈激光器(Distributed Feedback Laser,DFB)和雪崩光电二极管(Avalanche Photo Diode,APD)探测器的高灵敏度光收发组件,详细分析其中自动功率控制功能、消光比自动控制以及自动APD升压控制的设计。实验结果表明,温控精度可达±0.1℃,组件工作稳定,可以满足数字信号高灵敏度和长距离的传输需求。 展开更多
关键词 分布式反馈激光器(DFB) 雪崩光电二极管(APD)探测器 自动温度控制
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An approach of open-path gas sensor based on tunable diode laser absorption spectroscopy 被引量:9
7
作者 夏慧 刘文清 +6 位作者 张玉钧 阚瑞峰 王敏 何莹 崔益本 阮俊 耿辉 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第6期437-440,共4页
Tunable diode laser absorption spectroscopy (TDLAS) is a new method to detect trace-gas qualitatively or quantificationally based on the scan characteristic of the diode laser to obtain the absorption spectroscopy i... Tunable diode laser absorption spectroscopy (TDLAS) is a new method to detect trace-gas qualitatively or quantificationally based on the scan characteristic of the diode laser to obtain the absorption spectroscopy in the characteristic absorption region. A time-sharing scanning open-path TDLAS system using two near infrared distributed feedback (DFB) tunable diode lasers is designed to detect CH4 and H2S in leakage of natural gas. A low-cost Fresnel lens is used in this system as receiving optics which receives the laser beam reflected by a solid corner cube reflector with a distance of up to about 60 m. High sensitivity is achieved by means of wavelength-modulation spectroscopy with second-harmonic detection. The minimum detection limits of 1.1 ppm-m for CH4 and 15 ppm-m for H2S are demonstrated with a total optical path of 120 m. The simulation monitoring experiment of nature gas leakage was carried out with this system. According to the receiving light efficiency of optical system and detectable minimum light intensity of detection, the detectable optical path of the system can achieve 1 - 2 km. The sensor is suitable for natural gas leakage monitoring application. 展开更多
关键词 ABSORPTION Computer networks diodeS distributed feedback lasers laserS
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The Leap from Organic Light-Emitting Diodes to Organic Semiconductor Laser Diodes
8
作者 Chihaya Adachi Atula S.D.Sandanayaka 《CCS Chemistry》 CAS 2020年第4期1203-1216,共14页
In recent years,organic light-emitting device technology has expanded from organic light-emitting diodes(OLEDs)to organic semiconductor laser diodes(OSLDs)with the progress of sophisticated molecular and device archit... In recent years,organic light-emitting device technology has expanded from organic light-emitting diodes(OLEDs)to organic semiconductor laser diodes(OSLDs)with the progress of sophisticated molecular and device architectural designs.In OLEDs,the development of thermally activated delayed fluorescence molecules has been intensively investigated recently.As a result,the internal quantum efficiency of OLEDs containing relatively simple aromatic compounds without precious metals has reached almost 100%.Furthermore,incorporating a distributed feedback resonator structure into the OLED architecture has yielded OSLDs that exhibit the features of current-pumped lasing.In this short review,the authors describe the recent paradigm shift from OLEDs to OSLDs,mainly fromthe perspective of materials innovation. 展开更多
关键词 ORGANIC LIGHT-EMITTING diode ORGANIC semiconductor laser diode thermally activated delayed fluorescence distributed feedback resonator exciton SINGLET TRIPLET RISC
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采用激光共振光声光谱技术检测乙炔气体 被引量:14
9
作者 云玉新 赵笑笑 +2 位作者 陈伟根 李立生 赵富强 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期2156-2162,共7页
乙炔常伴随变压器内放电性故障的出现而产生,为了检测乙炔气体,通过研究乙炔在近红外波段的红外吸收特性及深入分析光声池的设计,构建了用以检测乙炔的光声光谱气体检测装置。利用该装置,对分布反馈半导体激光器的辐射特性进行了实验分... 乙炔常伴随变压器内放电性故障的出现而产生,为了检测乙炔气体,通过研究乙炔在近红外波段的红外吸收特性及深入分析光声池的设计,构建了用以检测乙炔的光声光谱气体检测装置。利用该装置,对分布反馈半导体激光器的辐射特性进行了实验分析,结果表明,激光器的辐射波长随工作温度或注入电流的升高以近似线性升高,且在工作温度下的变化梯度大于注入电流下的变化梯度;利用分布反馈半导体激光器的窄线宽和可调谐特性,测得乙炔分子在近红外区第一泛音带的R(4)、R(5)支光声光谱;对光声信号受气体体积分数、激光功率影响的实验分析表明,在低气体体积分数、低激光功率条件下,光声信号与气体体积分数、激光功率间具有良好的线性依赖关系,该装置对乙炔的最低体积分数检测限约为1.4×10-6。 展开更多
关键词 共振光声光谱 气体检测 油中溶解气体 乙炔 分布反馈半导体激光器 纵向共振光声池
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基于光谱吸收式光纤乙炔气体监测系统的研究 被引量:11
10
作者 王玉田 李晓昕 +2 位作者 刘占伟 郭媛 王忠东 《传感技术学报》 CAS CSCD 2004年第4期619-622,共4页
选用分布反馈式半导体激光器 (DFBLD)作为激发光源 ,带尾纤的气体吸收气室作为传感器的探测头 ,以及锁相放大器来提取信号 ,并通过谐波检测技术对所提取的微弱信号进行处理 ,设计了一套远距离在线测量乙炔气体的监测仪器。经过理论分析... 选用分布反馈式半导体激光器 (DFBLD)作为激发光源 ,带尾纤的气体吸收气室作为传感器的探测头 ,以及锁相放大器来提取信号 ,并通过谐波检测技术对所提取的微弱信号进行处理 ,设计了一套远距离在线测量乙炔气体的监测仪器。经过理论分析和系统实验 ,表明系统设计方案可行 ,具有较高的精度和一定的应用前景。 展开更多
关键词 乙炔 分布反馈式半导体激光器 锁相放大 谐波检测 在线测量
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1560nm连续光半导体激光器经PPLN倍频及经铷吸收光谱稳频 被引量:7
11
作者 杨建峰 杨保东 +2 位作者 高静 张天才 王军民 《量子光学学报》 CSCD 北大核心 2010年第1期41-47,共7页
将激光器锁定到合适的参考频率上,可以有效地改变激光器的频率稳定性。1560 nm的分布反馈式半导体激光器,可以通过倍频锁定于铷原子吸收线上。实验中我们利用PPLN准位相匹配晶体进行倍频,当输入光为1.6 W时可以获得25 mW的倍频光,非线... 将激光器锁定到合适的参考频率上,可以有效地改变激光器的频率稳定性。1560 nm的分布反馈式半导体激光器,可以通过倍频锁定于铷原子吸收线上。实验中我们利用PPLN准位相匹配晶体进行倍频,当输入光为1.6 W时可以获得25 mW的倍频光,非线性转换系数为0.96%/W。我们还将激光器的频率锁定于Rb原子的吸收线上,30 s内剩余频率起伏约为±3.5 MHz。 展开更多
关键词 分布反馈式半导体激光器 铷原子 吸收光谱 倍频 锁频
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一氧化碳检测与排放回收综合控制系统的设计 被引量:6
12
作者 陈虎 周凤星 +1 位作者 徐珍 王芳 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期360-363,共4页
为了设计一种CO气体检测与排放回收综合控制系统,采用可调谐半导体激光吸收光谱技术,利用单片机MC9S12DG128B作为核心控制器产生激光调制信号,通过采集经气体吸收后的光功率和2次谐波信号来分析气体浓度,把气体浓度信息上传到工控机进... 为了设计一种CO气体检测与排放回收综合控制系统,采用可调谐半导体激光吸收光谱技术,利用单片机MC9S12DG128B作为核心控制器产生激光调制信号,通过采集经气体吸收后的光功率和2次谐波信号来分析气体浓度,把气体浓度信息上传到工控机进行实时监控。结果表明,CO激光检测气体灵敏度高、选择性强、响应速度快、能连续分析和抗干扰性能好,满足工业现场的要求。 展开更多
关键词 激光技术 气体检测 分布反馈半导体激光器光源 2次谐波检测
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基于分布反馈半导体激光器的CO气体光声光谱检测特性 被引量:7
13
作者 陈伟根 彭晓娟 +1 位作者 刘冰洁 孙才新 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第13期124-130,200,共7页
一氧化碳(CO)是变压器油中溶解的主要故障特征气体之一,能有效反映运行电力变压器中油纸绝缘的放电及老化;而光声光谱(photoacoustic spectroscopy,PAS)技术能够应用于变压器油中溶解气体的在线监测。基于光声光谱检测原理,利用分布反馈... 一氧化碳(CO)是变压器油中溶解的主要故障特征气体之一,能有效反映运行电力变压器中油纸绝缘的放电及老化;而光声光谱(photoacoustic spectroscopy,PAS)技术能够应用于变压器油中溶解气体的在线监测。基于光声光谱检测原理,利用分布反馈(distributed feedback,DFB)半导体激光器搭建了CO气体光声光谱检测平台,选择1.567m的CO分子谱线为研究对象,实验研究了DFB半导体激光器的辐射特性和CO气体的光声光谱响应特性,分析了光声信号与激光功率、气体浓度的关系。结果表明:在气体吸收未发生饱和效应的条件下,光声信号与激光功率、气体浓度均具有良好的线性关系。该研究结果为变压器油中气体光声光谱的在线监测奠定了基础。 展开更多
关键词 一氧化碳 分布反馈半导体激光器 共振光声光谱 检测特性 .
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小信号低频电流调制下激光频移数学模型 被引量:3
14
作者 阎得科 钟镇 孙传东 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第8期1465-1468,共4页
激光通过光纤传输时,线宽越窄,受激布里渊散射的阈值就越低。高功率激光很容易产生受激布里渊散射,影响光信号的传输。对大功率半导体激光器进行小信号电流调制是解决这一问题的方法之一。在正弦小信号调制电流作用下,分布反馈式半导体... 激光通过光纤传输时,线宽越窄,受激布里渊散射的阈值就越低。高功率激光很容易产生受激布里渊散射,影响光信号的传输。对大功率半导体激光器进行小信号电流调制是解决这一问题的方法之一。在正弦小信号调制电流作用下,分布反馈式半导体激光器(DFB-SLD)输出的激光会发生频率偏移,光源线宽展宽,从而可以提高受激散射阈值,进而降低传输损耗。通过理论分析,给出了在正弦小信号低频调制电流作用下激光频率偏移量与调制电流幅度和频率关系的数学模型,进而设计相应的光路和电路进行实验测量,并借助数据拟合的方法给出了数学模型中的参数值。 展开更多
关键词 分布反馈式半导体激光器 调制电流 频率偏移 数学模型
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均匀光栅DFB激光器光电特性研究 被引量:2
15
作者 赵润 张晓光 +1 位作者 曹晨涛 车相辉 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期119-123,共5页
光栅结构的设计和制作直接决定了分布反馈(DFB)半导体激光器光电特性的优劣。采用传输矩阵法模拟了不同光栅耦合因子下随机相位对均匀光栅DFB芯片特性的影响,获得了芯片的光电参数分布。通过分析耦合因子对芯片光电参数分布的影响,提... 光栅结构的设计和制作直接决定了分布反馈(DFB)半导体激光器光电特性的优劣。采用传输矩阵法模拟了不同光栅耦合因子下随机相位对均匀光栅DFB芯片特性的影响,获得了芯片的光电参数分布。通过分析耦合因子对芯片光电参数分布的影响,提高了DFB芯片的成品率。设计并制备了基于Al Ga In As材料体系的脊波导DFB激光器,最终使芯片双峰比例仅为7.7%、成品率达到60%。对合格品在-40~105℃下的P-I特性和在-40~85℃下的光谱进行了测试,结果表明芯片性能优良,芯片远场发散角为25°和21°。芯片的小信号频带响应和眼图测试结果表明芯片完全满足2.5 Gbit/s的应用要求。 展开更多
关键词 分布反馈半导体激光器(DFB-LD) 光栅 耦合因子 成品率 边模抑制比(SMSR)
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增益开关分布反馈半导体激光器输出特性的研究 被引量:1
16
作者 朱利 杨祥林 于虹 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1996年第3期9-14,共6页
讨论了采用增益开关技术在分布反馈半导体激光器(DFB-LD)上产生超短光脉冲的特性.理论分析表明,光脉冲特性仅与峰值反转率r有关,峰值功率随r升高而升高,脉宽随r升高而降低.数值模拟发现存在最佳偏置点使峰值功率最高而... 讨论了采用增益开关技术在分布反馈半导体激光器(DFB-LD)上产生超短光脉冲的特性.理论分析表明,光脉冲特性仅与峰值反转率r有关,峰值功率随r升高而升高,脉宽随r升高而降低.数值模拟发现存在最佳偏置点使峰值功率最高而脉宽最窄,增加调制功率有助于压窄脉冲.调制频率接近于激光器谐振频率时可获得最大峰值功率,调制频率上升至一定值后出现周期加倍现象. 展开更多
关键词 分布反馈激光器 半导体激光器 增益开关
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基于连续波腔衰荡光谱的CO_(2)气体分析装置研制 被引量:1
17
作者 马维光 周晓彬 +5 位作者 曹振松 许非 田建飞 周月婷 刘建鑫 赵刚 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第5期633-640,共8页
连续波腔衰荡光谱技术(CW-CRDS)可以实现对痕量气体的高灵敏检测。基于(CW-CRDS),采用近红外分布反馈式二极管激光器(DFB-DL)和半导体光放大器(SOA),使用自主设计的高精细度Fabry–Pérot腔、激光驱动器、阈值检测电路,实现了紧凑... 连续波腔衰荡光谱技术(CW-CRDS)可以实现对痕量气体的高灵敏检测。基于(CW-CRDS),采用近红外分布反馈式二极管激光器(DFB-DL)和半导体光放大器(SOA),使用自主设计的高精细度Fabry–Pérot腔、激光驱动器、阈值检测电路,实现了紧凑型气体分析装置的设计。其中SOA在放大激光功率、提升衰荡信号信噪比的同时,还作为光开关,用于触发衰荡事件。整个系统集成在一个700 mm×300 mm×185 mm的定制机箱中,基于该装置测量了位于6359.97 cm^(−1)处的CO_(2)气体,对空腔衰荡的时间序列分析结果显示系统的探测极限为3.85×10^(−8)cm^(−1)。 展开更多
关键词 光谱学 气体分析装置 腔衰荡光谱 CO_(2)气体检测 分布反馈式二极管激光器
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DFB LD在光声气体检测系统中的应用研究 被引量:1
18
作者 彭琛 刘先勇 +1 位作者 蒙瑰 郑成坤 《红外》 CAS 2011年第11期19-24,共6页
针对选用分布反馈激光二极管(DFB LD)作为激励光源的光声气体检测系统,首先分析了温度和注入电流对激光稳定性(包括激射波长和输出光功率)的影响。然后提出了一种蝶形封装的DFB LD在光声甲烷检测系统中的应用方案。实验结果表明,该方案... 针对选用分布反馈激光二极管(DFB LD)作为激励光源的光声气体检测系统,首先分析了温度和注入电流对激光稳定性(包括激射波长和输出光功率)的影响。然后提出了一种蝶形封装的DFB LD在光声甲烷检测系统中的应用方案。实验结果表明,该方案的温控系统和波长调制驱动模式可以产生稳定可靠的光声信号,具有一定的参考价值。最后根据现有蝶形DFB LD封装在光声气体检测系统中后存在的缺点,探讨了激光耦合输出方式的改进构想。 展开更多
关键词 光声光谱 分布反馈激光二极管 激光稳定性 蝶形封装 激光耦合
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TDM-PON上行信号光功率均衡器的锁模特性 被引量:1
19
作者 陈晓文 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第1期124-127,共4页
为了减小时分复用无源光网络(TDM-PON)上行信号光波长的飘移,基于TDM-PON上行信号光功率均衡器架构,采用单模激光注入锁定光网络单元(ONU)法布里-珀罗(F-P)激光器(LD)方法,研究了F-P LD输出光波长的锁模特性,包括锁模的范围、驱动电流... 为了减小时分复用无源光网络(TDM-PON)上行信号光波长的飘移,基于TDM-PON上行信号光功率均衡器架构,采用单模激光注入锁定光网络单元(ONU)法布里-珀罗(F-P)激光器(LD)方法,研究了F-P LD输出光波长的锁模特性,包括锁模的范围、驱动电流对锁模特性的影响、锁模前后温度变化引起F-P LD光波长变化情况等。结果表明,当驱动电流为9mA时,F-P LD可被锁模的波长范围为0.38nm,大于ONU上行光波长因环境温度变化5℃而产生的波长位移量0.25nm,F-P LD被锁模可使ONU上行信号的光波长相同且稳定,降低光功率均衡后的噪声。 展开更多
关键词 光通信 光功率均衡 光注入锁定 法布里-珀罗激光器 分布反馈半导体激光器
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DFB激光二极管光栅层的研究与制备
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作者 刘浩 姚文港 +2 位作者 赵润 郝腾 高鹏飞 《中国标准化》 2020年第S01期349-353,共5页
分布反馈(DFB)半导体激光器是现代光通信系统及红外探测中核心光源器件,外延结构一般由光栅材料层和量子阱材料层两大部分组成,其中光栅材料层中Bragg光栅制作质量的好坏对器件阈值和单模特性有直接影响。本文通过使用电子束光刻技术制... 分布反馈(DFB)半导体激光器是现代光通信系统及红外探测中核心光源器件,外延结构一般由光栅材料层和量子阱材料层两大部分组成,其中光栅材料层中Bragg光栅制作质量的好坏对器件阈值和单模特性有直接影响。本文通过使用电子束光刻技术制作了高质量的Bragg光栅,较全息光刻技术所制光栅占空比均匀性由14.3%提高到了2.9%,改善了光栅材料层的质量,阈值电流标准差由0.47降至0.32,边模抑制比标准差由5.26降至0.72,提高了器件一致性,单片成品率提高了近10%。 展开更多
关键词 BRAGG光栅 电子束光刻 全息光刻 分布反馈激光器
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