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Development of an In-Situ Laser Machining System Using a Three-Dimensional Galvanometer Scanner 被引量:6
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作者 Xiao Li Bin Liu +3 位作者 Xuesong Mei Wenjun Wang Xiaodong Wang Xun Li 《Engineering》 SCIE EI 2020年第1期68-76,共9页
In this study, a three-dimensional (3D) in-situ laser machining system integrating laser measurement and machining was built using a 3D galvanometer scanner equipped with a side-axis industrial camera. A line structur... In this study, a three-dimensional (3D) in-situ laser machining system integrating laser measurement and machining was built using a 3D galvanometer scanner equipped with a side-axis industrial camera. A line structured light measurement model based on a galvanometer scanner was proposed to obtain the 3D information of the workpiece. A height calibration method was proposed to further ensure measurement accuracy, so as to achieve accurate laser focusing. In-situ machining software was developed to realize time-saving and labor-saving 3D laser processing. The feasibility and practicability of this in-situ laser machining system were verified using specific cases. In comparison with the conventional line structured light measurement method, the proposed methods do not require light plane calibration, and do not need additional motion axes for 3D reconstruction;thus they provide technical and cost advantages. The insitu laser machining system realizes a simple operation process by integrating measurement and machining,which greatly reduces labor and time costs. 展开更多
关键词 In-situ laser machining Three-dimensional galvanometer scanner Line structured light Three-dimensional measurement
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Command functions of open loop galvanometer scanners with optimized duty cycles
2
作者 V.F.Duma 《Theoretical & Applied Mechanics Letters》 CAS 2012年第4期34-39,共6页
The paper approaches the problem of the command functions of galvanometer-based scanners (GS) that are necessary to produce the linear plus parabolic scanning function of the GS, which we have proved previously to p... The paper approaches the problem of the command functions of galvanometer-based scanners (GS) that are necessary to produce the linear plus parabolic scanning function of the GS, which we have proved previously to produce the highest possible duty cycle (i.e., time efficiency) of the device. We have completed this theoretical aspect (which contradicted what has been stated previously in the literature, where it has been considered that the linear plus sinusoidal scanning function was the best) with the experimental study of the most used scanning functions of the GSs (sawtooth, sinusoidal and triangular), with applications in biomedical imaging, in particular in optical coherence tomography, demonstrating that the triangular function is always the best one to be applied, from both an optical and a mechanical point of view. In the present study the input voltage/command function which should be applied to the GS to produce the desired triangular scanning function (with controlled non-linearity for the fastest possible stop-and-turn portions) was determined analytically, in relationship with the active torque that drives the device. This command function is analyzed with regard to the specific, respectively required parameters of the GS: natural frequency and damping factor, respectively scan speed and amplitude. The modeling in an open loop control structure of the GS is finally discussed as a trade-off between using the highest possible duty cycle and minimizing the maximum peaks of the input voltage. 展开更多
关键词 scanners galvanometer scanner optomechatronics scanning functions command func-tions duty cycle driving torque
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高性能双轴振镜控制系统设计
3
作者 刘伟 谢斌 +3 位作者 刘乐 谭轩 邓磊敏 李叶松 《微电机》 2024年第9期1-7,共7页
针对高速高精度的激光微加工应用,提出一种基于并行处理架构的全数字控制双轴振镜驱动系统设计方案,在高频数字控制下实现了双轴振镜的高动态实时控制。通过建立振镜系统数学模型,以串级闭环控制为基础,采用模型跟踪控制策略提升了位置... 针对高速高精度的激光微加工应用,提出一种基于并行处理架构的全数字控制双轴振镜驱动系统设计方案,在高频数字控制下实现了双轴振镜的高动态实时控制。通过建立振镜系统数学模型,以串级闭环控制为基础,采用模型跟踪控制策略提升了位置跟踪性能。实验结果表明所设计的双轴振镜控制系统能够有效提升动态响应速度、降低跟踪误差,满足期望工作性能指标. 展开更多
关键词 振镜控制 模型跟踪控制 伺服系统 数字控制
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磁通反向永磁振镜电动机优化设计与分析
4
作者 杜怿 刘洋 肖凤 《排灌机械工程学报》 CSCD 北大核心 2024年第8期851-857,864,共8页
提出了一种具有不等定子齿宽的磁通反向永磁振镜电动机,通过敏感度分析,选取大定子齿宽、小定子齿宽、转子齿宽和槽肩宽4个参数作为影响因素,以转矩密度、转矩变化率、齿槽转矩和电感为优化目标,采用田口法进行正交试验分析,获得不同因... 提出了一种具有不等定子齿宽的磁通反向永磁振镜电动机,通过敏感度分析,选取大定子齿宽、小定子齿宽、转子齿宽和槽肩宽4个参数作为影响因素,以转矩密度、转矩变化率、齿槽转矩和电感为优化目标,采用田口法进行正交试验分析,获得不同因素水平下的目标响应,并结合灰色关联法,将多目标优化转化为单目标优化问题,实现了电动机的最优设计.通过电动机性能的对比分析,验证了所设计的电动机的优越性和优化设计方法的有效性. 展开更多
关键词 振镜电动机 磁通反向永磁电动机 电磁分析 灰色关联-田口法 多目标优化
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基于Bezier曲线的二维振镜扫描系统轨迹过渡
5
作者 朱玉田 梁钊泉 +1 位作者 周爱国 尉皓智 《机电工程技术》 2024年第4期174-179,共6页
二维振镜扫描投影系统是新兴的研究领域,通过在目标面上投影出CAD图形来辅助生产制造,有效提高生产效率和制造精度。以往通过设置跳转延时保证跳转过程中扫描图形的精度,未考虑电机的运行情况。为解决扫描过程中存在的电机振动冲击问题... 二维振镜扫描投影系统是新兴的研究领域,通过在目标面上投影出CAD图形来辅助生产制造,有效提高生产效率和制造精度。以往通过设置跳转延时保证跳转过程中扫描图形的精度,未考虑电机的运行情况。为解决扫描过程中存在的电机振动冲击问题,基于Bezier曲线为扫描轨迹跳转自由段加入轨迹过渡,结合二维振镜系统对扫描图形进行等距离散的工作特点,得出扫描轨迹交接处平滑过渡的Bezier曲线控制点位置条件。随后依照平滑过渡条件为扫描图形加入轨迹过渡,并依照轨迹最大曲率进行迭代择优。最后基于典型的音圈电机模型对轨迹过渡的优化效果进行仿真验证。结果表明,对于二维振镜扫描式激光投影系统而言,使用Bezier曲线进行轨迹过渡简单高效,有效消除电机运行过程中的速度与加速度突变,减少了运行过程中的振动冲击,同时保证了扫描图形的精度。 展开更多
关键词 二维振镜 激光投影 轨迹过渡
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基于激光振镜的高稳定辐照度定标光源
6
作者 林雨辰 董航 +4 位作者 叶新 费义艳 张程睿 方伟 衣小龙 《应用光学》 CAS 北大核心 2024年第1期206-214,共9页
获取高均匀性、高稳定性的光源是太阳绝对辐射计辐射照度定标的关键技术,实验室现有光源无法同时满足均匀性与稳定性。因此,该文提出通过振镜扫描的方式来获取高均匀、高稳定的面光源方案。首先,建立二维激光扫描模型,设计以快速扫描振... 获取高均匀性、高稳定性的光源是太阳绝对辐射计辐射照度定标的关键技术,实验室现有光源无法同时满足均匀性与稳定性。因此,该文提出通过振镜扫描的方式来获取高均匀、高稳定的面光源方案。首先,建立二维激光扫描模型,设计以快速扫描振镜和离轴抛面镜为核心的光学系统;其次,根据振镜扫描系统建立驱动,开发控制软件,设计三种扫描路径;最后,选取合适的扫描路径进行实验验证,并开展其均匀性、稳定性等方面的测试。实验结果表明:振镜扫描光斑的不均匀性优于±1%,发散角小于±0.26°,光源稳定性优于0.02%。验证了激光振镜扫描光源可作为绝对辐射计辐照度定标光源的可行性,为实现高精度太阳辐照度定标提供关键技术支撑及实验依据。 展开更多
关键词 太阳绝对辐射计 振镜扫描 离轴准直 高均匀性 高稳定性
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振镜电机系统高性能数模混合驱动控制方法
7
作者 赵家康 郭宏 徐金全 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第10期3208-3218,共11页
为满足振镜电机系统高精度和高动态性能的控制需求,提出数模混合架构和扩张状态观测器(ESO)-滑模控制(SMC)复合的高性能驱动控制方法。采用基于数字式控制器和模拟式驱动器的数模混合架构设计,一方面便于实现高性能的非线性控制算法,另... 为满足振镜电机系统高精度和高动态性能的控制需求,提出数模混合架构和扩张状态观测器(ESO)-滑模控制(SMC)复合的高性能驱动控制方法。采用基于数字式控制器和模拟式驱动器的数模混合架构设计,一方面便于实现高性能的非线性控制算法,另一方面能够消除数字式驱动器中脉冲宽度调制(PWM)技术导致的高频电流纹波。基于ESO和SMC复合的振镜电机位置环控制方法,通过ESO估计系统的各种扰动,利用SMC实时消除扰动影响,显著地提升了振镜电机系统的动态性能和鲁棒性。仿真和实验结果表明:相较于比例-积分-微分(PID)控制器,所提方法能够有效地提升系统的鲁棒性和动态响应性能,其中动态响应性能提升了29.4%。 展开更多
关键词 振镜电机 滑模控制 扩张状态观测器 高动态性能 运算放大器 跟踪微分器
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不同振镜精度下选区激光熔化Ti6Al4V零件性能的对比分析
8
作者 刘鹏宇 李辉 +4 位作者 张瑞华 肖梦智 屈岳波 魏小红 尹燕 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期52-61,共10页
为了研究振镜精度对选区激光熔化成形件的影响,在3种不同振镜精度下制备Ti6Al4V试样,并对零件的硬度、致密度、物相、微观组织、力学性能和断口形貌进行分析.结果表明,3组试样的物相均为α/α'相,随着振镜精度变差试样的致密度、维... 为了研究振镜精度对选区激光熔化成形件的影响,在3种不同振镜精度下制备Ti6Al4V试样,并对零件的硬度、致密度、物相、微观组织、力学性能和断口形貌进行分析.结果表明,3组试样的物相均为α/α'相,随着振镜精度变差试样的致密度、维氏硬度、屈服强度和应变值呈下降趋势;振镜校准精度在0.025 mm范围内,拉伸件的断裂应变为10.15%,扫描轨迹未出现明显偏移;振镜校准精度在0.05 mm范围内,拉伸件的断裂应变为8.99%,扫描轨迹未出现明显偏移,断口边缘出现了夹渣,零件表面出现微小的气孔,抗拉强度与屈服强度变化不明显,断后伸长率有所下降;振镜校准精度在0.09 mm范围内,拉伸件的断裂应变为8.37%,部分扫描轨迹出现了10μm的偏移,零件表面出现明显的大气孔,断口两侧出现夹渣,抗拉强度变化不大,屈服强度略微下降,断后伸长率明显降低.分析认为振镜校准精度在0.05 mm范围内,打印过程熔道未出现明显的偏移现象,振镜校准精度在0.09 mm范围内,部分打印点出现了漂移现象,引起了熔道的偏移,脱离了原始的规划路径,导致气孔、飞溅或未熔粉末的产生,降低了零件的致密度及拉伸件的承载面积,引起了断后伸长率的降低. 展开更多
关键词 选区激光熔化 振镜精度 金相组织 材料力学性能 TI6AL4V
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共聚焦显微镜线性扫描控制系统设计
9
作者 何大永 赵春华 +2 位作者 王振亚 张瀚文 胡金田 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2024年第5期65-70,共6页
为了实现共聚焦显微镜系统中的振镜线性扫描,并改善振镜噪声及系统稳定性,设计了基于FPGA的振镜扫描控制系统。该系统通过FPGA生成振镜扫描信号,输出信号幅值、频率精准,通过ARM芯片与上位机通讯,实现振镜系统的扫描控制。在扫描波形上... 为了实现共聚焦显微镜系统中的振镜线性扫描,并改善振镜噪声及系统稳定性,设计了基于FPGA的振镜扫描控制系统。该系统通过FPGA生成振镜扫描信号,输出信号幅值、频率精准,通过ARM芯片与上位机通讯,实现振镜系统的扫描控制。在扫描波形上,通过对三角波端点处进行三次样条插值处理,使振镜扫描过程中速度及加速度连续,提高振镜运行稳定性。在输出波形上通过累加器进行频率控制,提高了频率分辨率。实验表明,设计的振镜扫描控制系统波形、频率及幅值准确,成像效果清晰、细腻,并可有效降低振镜噪声。 展开更多
关键词 共聚焦显微镜 振镜扫描 FPGA
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振镜激光飞行焊接技术在新能源储能模组生产中的应用研究
10
作者 赵辛龙 杨尚磊 +2 位作者 田嘉伟 毕军航 李岩磊 《电焊机》 2024年第7期100-104,131,共6页
随着新能源技术的不断进步,新能源储能模组装备的生产效率显得尤为重要。提出了一种基于振镜激光飞行焊接技术的解决方案。该方案通过设计连贯的生产设备,并引入振镜激光飞行焊接技术。振镜激光飞行焊接技术具有非接触性、高精度、动态... 随着新能源技术的不断进步,新能源储能模组装备的生产效率显得尤为重要。提出了一种基于振镜激光飞行焊接技术的解决方案。该方案通过设计连贯的生产设备,并引入振镜激光飞行焊接技术。振镜激光飞行焊接技术具有非接触性、高精度、动态运行等优势,能够有效缩短加工时间,提高产品质量,降低人工成本,并推动新能源产业的发展。主要论述新能源储能模组的生产设备、生产工艺路线以及振镜激光飞行焊接的优势等,经过现场调试及工艺试验,掌握了振镜激光飞行焊接核心技术,实现了新能源储能模组的稳定高效应用。并验证了其在新能源储能模组生产过程中的可行性。 展开更多
关键词 振镜激光焊接技术 新能源储能模组 工艺路线 飞行焊接
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双振镜直接探测高精度三维成像激光雷达系统实验研究
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作者 王琪 李琳 +3 位作者 郝鹏飞 王超 王春晖 郭灏 《科技创新与应用》 2024年第7期13-16,共4页
建立一个高精度实时三维成像激光雷达系统,该系统采用恒比定时器(CFD)来判别到达时间;通过时间-数字转换(TDC)测量激光雷达与目标之间的激光脉冲飞行时间,然后将飞行时间(TOF)反演为距离信息;结合二维扫描空间坐标,得到目标的三维距离... 建立一个高精度实时三维成像激光雷达系统,该系统采用恒比定时器(CFD)来判别到达时间;通过时间-数字转换(TDC)测量激光雷达与目标之间的激光脉冲飞行时间,然后将飞行时间(TOF)反演为距离信息;结合二维扫描空间坐标,得到目标的三维距离信息。在100 m范围内对不同的非协同目标进行实验测量,并给出实验结果。在该系统中,时间测量误差为300 ps,而测距精度为45 mm。 展开更多
关键词 三维激光雷达系统 恒比定时器 时间-数字转换 双振镜 直接探测
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基于储能技术的电力系统调度方法 被引量:3
12
作者 王先军 邱彪 崔文伍 《微型电脑应用》 2024年第3期193-197,共5页
传统电力系统调度能力滞后,而基于信息交换系统(IES)能提高电力调度能力。通过构建调度控制中心、运行中心和监测中心的调度系统提高了用户应用效率,并设计了微型电力储能装置,将电力系统中的电力能源管理器、各终端负荷、储能装置、变... 传统电力系统调度能力滞后,而基于信息交换系统(IES)能提高电力调度能力。通过构建调度控制中心、运行中心和监测中心的调度系统提高了用户应用效率,并设计了微型电力储能装置,将电力系统中的电力能源管理器、各终端负荷、储能装置、变电站及其他模块相互结合,提高了能源分布式储能过程和电网联网的控制,并通过微电流计算法(CES)构建数学模型,使电力系统调度能力大大增强。通过实验数据表明,该研究设计硬件最高监测精度可达97.3%。 展开更多
关键词 信息交换系统 微型电力储能装置 微电流计算法 电力系统调度 储能技术
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应用数字振镜系统提高二氧化碳点阵激光治疗仪安全性
13
作者 李明 冯伟 刘松华 《中国医疗器械杂志》 2024年第3期323-329,共7页
点阵激光治疗仪广泛使用基于模拟PID控制器的驱动器来控制振镜,将激光脉冲以点阵图形的方式扫描人体组织表面,以实现预期的治疗效果。然而,这类振镜驱动器由无源元件和运算放大器组成,它们只能单向接收点阵激光治疗仪中控系统的扫描定... 点阵激光治疗仪广泛使用基于模拟PID控制器的驱动器来控制振镜,将激光脉冲以点阵图形的方式扫描人体组织表面,以实现预期的治疗效果。然而,这类振镜驱动器由无源元件和运算放大器组成,它们只能单向接收点阵激光治疗仪中控系统的扫描定位指令,并且通常只能通过比较电路对振镜进行简单的故障诊断,这可能会降低点阵激光治疗仪的安全性。针对这些问题,该研究首先分析并总结了振镜可能出现的各种故障机理,以及这些故障对点阵激光治疗仪安全运行的影响。接着,在数字振镜驱动器的基础上,针对传统振镜系统故障诊断策略的不足,提出了自适应限位保护、线圈断路故障诊断、基于二次握手的通信超时故障诊断以及振镜控制超时故障诊断策略。这些策略的实施提高了点阵激光治疗仪扫描手具的整体安全性。最后,通过实验验证了这些保护策略的有效性。 展开更多
关键词 点阵激光治疗仪 振镜 故障保护 手具 扫描
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基于粒子群优化BP神经网络的激光扫描投影系统畸变预测方法
14
作者 张宏韬 唐芳 +2 位作者 吴坤 朱亦然 侯茂盛 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期275-286,共12页
为了精准、高效地预测和校正激光扫描投影系统的畸变误差,研究了基于粒子群优化BP神经网络的畸变预测方法。建立了BP神经网络结构,并融合粒子群优化算法对BP神经网络的权值和阈值进行优化,得出基于粒子群优化BP神经网络的激光扫描投影... 为了精准、高效地预测和校正激光扫描投影系统的畸变误差,研究了基于粒子群优化BP神经网络的畸变预测方法。建立了BP神经网络结构,并融合粒子群优化算法对BP神经网络的权值和阈值进行优化,得出基于粒子群优化BP神经网络的激光扫描投影系统投影畸变预测模型。选取距激光扫描投影仪器两米的待投影面上的理论坐标点及各点相应畸变值Δx作为粒子群优化BP神经网络的训练数据集,将待投影面上实际投影位置坐标代入训练好的粒子群优化BP神经网络进行预测得到预测畸变值输出,并与实际畸变值对比,最后,引入Elman神经网络预测模型的预测结果与所研究预测方法进行对比。结果表明:在±30°的全视场扫描投影范围内粒子群优化BP神经网络预测模型的均方根误差为0.0176 mm,解算时间仅需22.4 s,相较于Elman神经网络效率提升78.33%,预测精度及时间明显优于Elman神经网络,可以有效预测激光扫描投影系统的畸变误差。 展开更多
关键词 激光扫描投影 粒子群优化算法 BP神经网络 误差预测 二维振镜 图形畸变
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基于FPGA的激光焊接控制系统设计
15
作者 瞿将江 王鑫鑫 《机械工程与自动化》 2024年第1期155-157,共3页
设计了一种基于现场可编辑门阵列(FPGA)的激光焊接控制系统。该系统使用STM32作为辅助芯片,通过上位机与外部按键向FPGA输入参数和控制指令;借助FPGA处理能力强的优势,同时控制振镜、激光器与电机等的状态,进而完成对整个焊接过程的控... 设计了一种基于现场可编辑门阵列(FPGA)的激光焊接控制系统。该系统使用STM32作为辅助芯片,通过上位机与外部按键向FPGA输入参数和控制指令;借助FPGA处理能力强的优势,同时控制振镜、激光器与电机等的状态,进而完成对整个焊接过程的控制。对该系统进行了仿真测试,结果表明能够完成预定的焊接工作。 展开更多
关键词 激光焊接 现场可编辑门阵 STM32 振镜
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激光动态高速打孔系统的研究 被引量:13
16
作者 王晓东 赵学民 +2 位作者 汪盛烈 何云贵 杨海 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期563-566,共4页
介绍了一种用于连续生产线的新型激光动态打孔系统 ,它特别适用于薄型材料上的群孔加工。对应用于此系统的动态跟踪。
关键词 激光打孔 动态跟踪 双振镜扫描 辨向方法
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双振镜扫描几何失真的硬件校正 被引量:12
17
作者 郭飞 胡兵 +1 位作者 应花山 洪利民 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期337-338,341,共3页
通过分析双振镜 2维扫描光学系统的成像原理 ,导出此扫描系统几何失真公式。根据失真公式设计电子线路 ,对失真进行校正 ,从而获得校正后的完善图形。这一校正技术在激光标记系统中得到应用。
关键词 激光标记 双振镜扫描 几何失真 硬件校正
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激光共焦显微光束的偏转扫描 被引量:13
18
作者 赵维谦 任利利 +2 位作者 盛忠 王允 邱丽荣 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期1257-1263,共7页
为了提高激光共聚焦系统的扫描速度,本文提出一种逐场扫描的场同步扫描方法。构建了激光共焦显微系统,将美国THORLABS公司的GVS002型二维检流计振镜应用于该系统,根据光学系统参数以及扫描范围要求计算振镜的整场扫描波形。借助NI公司的... 为了提高激光共聚焦系统的扫描速度,本文提出一种逐场扫描的场同步扫描方法。构建了激光共焦显微系统,将美国THORLABS公司的GVS002型二维检流计振镜应用于该系统,根据光学系统参数以及扫描范围要求计算振镜的整场扫描波形。借助NI公司的PCIe6353多功能数据采集卡,输出行同步的扫描波形,同时,对共焦显微系统共焦位置上针孔处的光强信号进行采集,先后扫描一幅256×256和512×512的图像,记录扫描图像和成像时间;然后,在相同的硬件结构下,以场同步的方式输出扫描波形,记录扫描图像和成像时间。实验结果表明:场同步方式扫描256×256图像的速度可提高10倍,扫描512×512图像的速度可提高5倍,且满足共焦显微成像的清晰、抗干扰能力强等要求。与行同步扫描方法相比,场同步扫描方法可以消除行与行之间转换的停留时间,在不改变硬件的情况下大幅提高扫描速度。 展开更多
关键词 共焦显微 二维振镜 场同步 板卡控制
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机载激光雷达均匀扫描的实现方法 被引量:6
19
作者 卜弘毅 王建宇 舒嵘 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第4期675-678,共4页
机载激光雷达多采用单束激光,通过扫描的方式完成对目标的探测。通常,由于扫描机构的缺陷,激光脚印在地面上的分布是不均匀的,而均匀扫描方式可提高激光雷达图像反演的质量,但在实现上存在一定的难度。首先从理论上分析了实现均匀扫描... 机载激光雷达多采用单束激光,通过扫描的方式完成对目标的探测。通常,由于扫描机构的缺陷,激光脚印在地面上的分布是不均匀的,而均匀扫描方式可提高激光雷达图像反演的质量,但在实现上存在一定的难度。首先从理论上分析了实现均匀扫描应满足的关系式,进而给出了一种工程实现的方法。电机输入曲线以理论推导的关系式为基础,在扫描视场边缘,通过曲线拟合,对理论曲线进行平滑,降低扫描输入曲线中的高次谐波分量。在测得振镜幅频特性曲线的基础上,利用迭代算法得出曲线拟合过程中的参数。与其他方法相比,该方法可以根据给定的扫描频率和视场角,自动计算出最佳电机输入曲线,从而在工程应用中,能够灵活地改变扫描参数。模拟实验结果表明,应用该方法扫描,激光点分布均匀,线性度良好。 展开更多
关键词 均匀扫描 激光扫描 激光雷达 振镜
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振镜二维扫描的图形畸变校正和曝光量补偿 被引量:18
20
作者 万志 杜温锡 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2000年第2期115-119,共5页
主要讨论了物镜前振镜二维扫描光学系统中图形畸变的产生原因 ,分析比较了图形畸变与振镜布放、像面坐标系方位及 fθ特性误差等的关系 ,并结合视场大小为 75× 75的实际物镜 fθ特性误差的最小二乘拟合 ,给出了校正图形畸变的准确... 主要讨论了物镜前振镜二维扫描光学系统中图形畸变的产生原因 ,分析比较了图形畸变与振镜布放、像面坐标系方位及 fθ特性误差等的关系 ,并结合视场大小为 75× 75的实际物镜 fθ特性误差的最小二乘拟合 ,给出了校正图形畸变的准确关系式。另外 ,在矢量扫描方式中光斑移动速度的非线性会导致扫描图形各部分曝光不均匀 ,文中也给出了对扫描图形曝光量加以补偿的方法和公式。 展开更多
关键词 曝光量补偿 图形畸变校正 振镜二维扫描
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