新型低泄漏防闩锁ESD钳位保护电路

提出了一种新型抗静电泄放(ESD)钳位保护电路——栅控可控硅级联二极管串(gcSCR-CDS)结构。相比传统级联二极管串(CDS)结构,新结构利用插入的SCR管减小了钳位电路的泄漏电流和导通电阻,提高了电路的抗ESD能力;利用栅控的PMOS管,提高了维持电压,抑制了闩锁效应。0.35μm标准CMOS工艺流片结果表明,该结构泄漏电流为12 nA,抗ESD能力超过8 kV。