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Texturization and rounded process of silicon wafers for heterojunction with intrinsic thin-layer solar cells 被引量:1
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作者 Kunpeng MA Xiangbin ZENG +3 位作者 Qingsong LEI Junming XUE Yanzeng WANG Chenguang ZHAO 《Frontiers of Optoelectronics》 EI CSCD 2014年第1期46-52,共7页
Heterojunction with intrinsic thin-layer (HIT) solar cells are sensitive to interface state density. Tradi- tional texture process for silicon solar cells is not suitable for HIT one. Thus, sodium hydroxide (NaOH)... Heterojunction with intrinsic thin-layer (HIT) solar cells are sensitive to interface state density. Tradi- tional texture process for silicon solar cells is not suitable for HIT one. Thus, sodium hydroxide (NaOH), isopropanol (IPA) and mixed additive were tentatively introduced for the texturization of HIT solar cells in this study. Then, a mixture including nitric acid (HNO3), hydrofluoric acid (HF) and glacial acetic acid (CH3COOH) was employed to round pyramid structure. The morphology of textured surface and the influence of etching time on surface reflectance were studied, and the relationship between etching time and surface reflectance, vertex angle of pyramid structure was analyzed. It was found that the mixture consisting of 1.1 wt% NaOH, 3 vol% IPA and 0.3 vol% additives with etching time of 22.5 min is the best for H1T solar cells under the condition of 80℃. Uniform pyramid structure was observed and the base width of pyramid was about 2-4 μm. The average surface reflec- tance was 11.68%. Finally the effect of different processes on the performance of HIT solar cells was investigated. It was shown that these texturization and rounding techni- ques used in this study can increase short circuit current (Jsc), but they have little influence on fill factor (FF) and open circuit voltage (Voo) of HIT solar cells. 展开更多
关键词 TEXTURIZATION reflectance PYRAMID hetero-junction with intrinsic thin-layer (HIT) solar cells
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nc-Si:H/c-Si硅异质结太阳电池中本征硅薄膜钝化层的优化 被引量:4
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作者 乔治 解新建 +4 位作者 薛俊明 刘辉 梁李敏 郝秋艳 刘彩池 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2015年第6期1207-1214,共8页
采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)法在低温、低功率的条件下制备了一系列本征硅薄膜,研究了硅烷浓度(CS)对薄膜微结构、光电特性及表面钝化性能的影响.将本征硅薄膜作为钝化层应用到氢化纳米晶硅/晶硅(nc-Si:H/c-Si)... 采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)法在低温、低功率的条件下制备了一系列本征硅薄膜,研究了硅烷浓度(CS)对薄膜微结构、光电特性及表面钝化性能的影响.将本征硅薄膜作为钝化层应用到氢化纳米晶硅/晶硅(nc-Si:H/c-Si)硅异质结(SHJ)太阳电池中,研究了硅烷浓度和薄膜厚度对电池性能的影响.实验发现:随着硅烷浓度的降低,本征硅薄膜的晶化率、氢含量、结构因子、光学带隙和光敏性等都在过渡区急剧变化;本征硅薄膜的钝化性能由薄膜的氢含量及氢的成键方式决定.靠近过渡区的薄膜具有较好的致密性和光敏性,氢含量最高,带隙态密度低,且主要以Si H形式成键,对硅片表现出优异的钝化性能,使电池的开路电压大幅提高.但是,当薄膜的厚度过小时,会严重影响其钝化质量.本实验中,沉积本征硅薄膜的最优硅烷浓度为6%(摩尔分数),且当薄膜厚度为~8 nm时,所制备电池的性能最好.实验最终获得了开路电压为672 m V,短路电流密度为35.1 m A·cm-2,填充因子为0.73,效率为17.3%的nc-Si:H/c-Si SHJ太阳电池. 展开更多
关键词 本征硅薄膜 射频等离子体增强化学气相沉积 界面钝化 少子寿命 硅异质结太阳电池
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高效本征薄层异质结(HIT)太阳电池技术研究进展 被引量:4
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作者 郝立成 张明 +1 位作者 陈文超 冯晓东 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期689-695,714,共8页
高效本征薄层异质结(HIT)是由本征钝化层沉积在a-Si/c-Si界面处组成,这种硅异质结(SHJ)结构由于钝化性能好,实际效率值往往比同质结电池更高。本文首先介绍了HIT高效电池发展现状、电池基本结构的特点,然后从制备工艺、钝化原理、能带... 高效本征薄层异质结(HIT)是由本征钝化层沉积在a-Si/c-Si界面处组成,这种硅异质结(SHJ)结构由于钝化性能好,实际效率值往往比同质结电池更高。本文首先介绍了HIT高效电池发展现状、电池基本结构的特点,然后从制备工艺、钝化原理、能带带阶等几个方面对衬底层、非晶硅层(本征/掺杂)、TCO薄膜以及金属格栅电极展开讨论,并对未来高效HIT电池的工业化发展趋势做了展望。 展开更多
关键词 能带带阶 钝化 载流子迁移率 高效本征薄层异质结(HIT) 太阳电池
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利用AFORS-HET对P型HIT太阳电池的模拟优化 被引量:3
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作者 姚尧 肖少庆 +1 位作者 刘晶晶 顾晓峰 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期935-940,共6页
运用模拟软件AFORS-HET对TCO/a-Si∶H(n)/a-Si∶H(i)/c-Si(p)/Ag结构的异质结(HIT)太阳电池进行仿真,分析其光伏输出特性随发射层掺杂浓度、晶硅衬底掺杂浓度、透明导电氧化物薄膜(TCO)的选择以及TCO功函数的变化规律。结果显示,当发射... 运用模拟软件AFORS-HET对TCO/a-Si∶H(n)/a-Si∶H(i)/c-Si(p)/Ag结构的异质结(HIT)太阳电池进行仿真,分析其光伏输出特性随发射层掺杂浓度、晶硅衬底掺杂浓度、透明导电氧化物薄膜(TCO)的选择以及TCO功函数的变化规律。结果显示,当发射层掺杂浓度大于1.0×1020cm^(-3),晶硅衬底掺杂浓度大于1.2×10^(16)cm^(-3),以ZnO为TCO层且Zn O的功函数低于4.4 e V时,电池的开路电压、短路电流密度、填充因子及电池转换效率达到最优值,光电转换效率最高达到19.18%。 展开更多
关键词 异质结太阳电池 透明导电氧化物薄膜 AFORS-HET 功函数
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本征薄层异质结(HIT)太阳能电池的研究现状及展望 被引量:5
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作者 杨秀钰 陈诺夫 +5 位作者 陶泉丽 徐甲然 张航 陈梦 白一鸣 陈吉堃 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第9期1917-1927,共11页
HIT(Heterojunction with intrinsic thin-layer)太阳能电池,即具有本征非晶硅薄层的异质结太阳能电池,利用了非晶硅薄膜/单晶硅衬底的异质结结构,从而结合了单晶硅和非晶硅太阳能电池优良的特点。这种类型结构的电池可以在较低温度下(&... HIT(Heterojunction with intrinsic thin-layer)太阳能电池,即具有本征非晶硅薄层的异质结太阳能电池,利用了非晶硅薄膜/单晶硅衬底的异质结结构,从而结合了单晶硅和非晶硅太阳能电池优良的特点。这种类型结构的电池可以在较低温度下(<250℃)制造,具有良好的光照稳定性和温度稳定性,成本低而且效率高,目前效率达到26.7%。文章简述了HIT太阳能电池的结构和工作原理,并且总结了HIT电池的研究和应用现状。除此之外,还分析了提高HIT太阳能电池效率的方法以及HIT电池广阔的应用前景和巨大的商业化潜力。 展开更多
关键词 本征薄层异质结(HIT)太阳能电池 非晶硅薄膜 界面钝化 工艺优化
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硅锗量子阱结构在硅异质结太阳电池中应用的数值模拟 被引量:1
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作者 张晓宇 张丽平 +1 位作者 马忠权 刘正新 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第13期304-310,共7页
利用半导体工艺和器件仿真软件silvaco TCAD(Technology Computer Aided Design),模拟研究了采用硅/硅锗合金(silicon/silicon germanium alloy,Si/Si_(1-x)Ge_x)量子阱结构作为吸收层的薄膜晶体硅异质结太阳电池各项性能.模拟结果显示... 利用半导体工艺和器件仿真软件silvaco TCAD(Technology Computer Aided Design),模拟研究了采用硅/硅锗合金(silicon/silicon germanium alloy,Si/Si_(1-x)Ge_x)量子阱结构作为吸收层的薄膜晶体硅异质结太阳电池各项性能.模拟结果显示,长波波段光学吸收随锗含量的增加而增加,而开路电压则因Si_(1-x)Ge_x)层带隙的降低而下降.锗含量为0.25时,短路电流密度的增加补偿了开路电压的衰减,效率提升0.2%.氢化非晶硅/晶体硅(a-Si:H/c-Si)界面空穴密度以及Si_(1-x)Ge_x)量子阱的体空穴载流子浓度制约着空穴费米能级的位置,进而影响到开路电压的大小.随着锗含量增加,a-Si:H/c-Si界面缺陷对开压的影响降低,Si_(1-x)Ge_x)量子阱的体缺陷对开压的影响则相应增加.高效率含Si_(1-x)Ge_x)量子阱结构的硅异质结太阳电池的制备需要a-Si:H/c-Si界面缺陷的良好钝化以及高质量Si_(1-x)Ge_x)量子阱的生长. 展开更多
关键词 Si/Si1-xGex量子阱 异质结太阳电池 界面复合 a-Si:H/c-Si
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P型硅衬底异质结太阳电池的优化设计
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作者 汪骏康 徐静平 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期799-804,808,共7页
采用Afors-het软件模拟分析了结构为TCO/a-Si:H(n)/a-Si:H(i)/c-Si(p)/a-Si:H(p+)/Ag的p型硅衬底异质结太阳电池的性能,研究了各层厚度、带隙、掺杂浓度以及界面态密度等结构参数和物理参数对电池性能的影响。通过模拟优化,结合理论分... 采用Afors-het软件模拟分析了结构为TCO/a-Si:H(n)/a-Si:H(i)/c-Si(p)/a-Si:H(p+)/Ag的p型硅衬底异质结太阳电池的性能,研究了各层厚度、带隙、掺杂浓度以及界面态密度等结构参数和物理参数对电池性能的影响。通过模拟优化,结合理论分析和实际工艺,得到合适的各结构参数取值。采用厚度薄且掺杂高的窗口层,嵌入本征层以钝化异质结界面缺陷,合理利用背场对于少子的背反作用,获得了较佳的太阳电池综合性能:开路电压Voc为678.9mV、短路电流密度Jsc为38.33mA/cm2、填充因子FF为84.05%、转换效率η为21.87%。 展开更多
关键词 异质结太阳电池 窗口层 本征层 背场
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对非晶硅薄膜进行快速磷扩散以获得本征薄层异质结
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作者 杨秀钰 陈诺夫 +4 位作者 张航 陶泉丽 徐甲然 陈梦 陈吉堃 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第20期3353-3357,共5页
本征薄层异质结(HIT)太阳能电池具有优异的性能,包括效率高、成本低、稳定性好、制备温度低等。本研究利用磁控溅射技术在p型单晶硅(p-c-Si)衬底上制备一定厚度的本征非晶硅薄膜(i-a-Si),以磷纸为扩散源,通过快速热扩散(RTD)方法进行扩... 本征薄层异质结(HIT)太阳能电池具有优异的性能,包括效率高、成本低、稳定性好、制备温度低等。本研究利用磁控溅射技术在p型单晶硅(p-c-Si)衬底上制备一定厚度的本征非晶硅薄膜(i-a-Si),以磷纸为扩散源,通过快速热扩散(RTD)方法进行扩散得到具有p-n结的掺杂非晶硅层(n+-a-Si),最终得到n+-a-Si/i-a-Si/c-Si的异质结结构。系统地研究了扩散过程对a-Si膜(包括i-a-Si和n+-a-Si)晶化程度以及p-n结深度的影响,利用拉曼光谱(Raman)、X射线衍射(XRD)仪、台阶仪、扫描电镜(SEM)等对a-Si膜进行表征,并利用金相显微镜测量p-n结(采用磨角染色法染色)深度,从而获得制备p-n结的最佳扩散温度和时间。 展开更多
关键词 本征薄层异质结(HIT)太阳能电池 非晶硅薄膜 磁控溅射 P-N结 快速热扩散
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超薄异质结太阳能电池理论模拟计算及分析 被引量:1
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作者 车晋 卢海江 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2021年第1期60-65,93,共7页
采用AFORS-HET软件对超薄异质结太阳能电池的窗口层、本征层的掺杂浓度、厚度、带隙等参数进行了数值模拟和优化,结合实际具体分析了每个参数对超薄异质结电池性能的影响规律,且得出了最佳的优化参数。模拟结果表明:对于衬底厚度仅为80... 采用AFORS-HET软件对超薄异质结太阳能电池的窗口层、本征层的掺杂浓度、厚度、带隙等参数进行了数值模拟和优化,结合实际具体分析了每个参数对超薄异质结电池性能的影响规律,且得出了最佳的优化参数。模拟结果表明:对于衬底厚度仅为80μm的超薄异质结太阳能电池,随着窗口层厚度的增加,电池性能整体呈现下降的趋势,通过结合实际,得出窗口层的最佳厚度范围是5~9 nm;随着窗口层掺杂浓度的增加,电池性能整体呈现先增加后趋于恒定的趋势,窗口层理论上的最佳掺杂浓度范围为7×10^19~8×10^19;窗口层的带隙宽度对电池的开路电压和效率影响较大,对填充因子和短路电流有较小的影响,窗口层的最优带隙范围为1.85~2.0 eV。随着本征层厚度的增加,电池的填充因子FF和效率E ff呈现先增加后减小的趋势,短路电流逐渐减小,而开路电压基本不变,本征层的最佳厚度是5~10 nm;当本征层的光学带隙小于1.8 eV时,对电池性能影响较小,当大于1.8 eV,电池性能急剧下降,因此本征层的最佳带隙范围是1.6~1.8 eV。 展开更多
关键词 纳米晶硅 超薄异质结太阳能电池 模拟计算 窗口层 本征层
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