小型复合分子泵用无刷直流电动机的控制器研制

研制了一种小型复合分子泵的高速无刷直流电动机,该电机控制采用了无位置传感器方法。通过对分子泵负载曲线分析,设计了特定的硬件结构,开发了针对性地控制算法,完成了对无刷直流电动机的速度控制,实现了小型复合分子泵的驱动,控制性能通过了可靠性测试得到验证,进行了典型的分子泵性能试验,预期的功能指标得以实现。