高速光纤链路通信HSSL的设计与实现

光刻机工件台控制系统是一种典型的分布式控制系统,定位精度和运动精度要求达到纳米级,其复杂的控制系统要求具有强实时性和高度同步性。针对上述特点,该文设计了一种基于光纤通信的高速串行链路(HSSL)互联方案。该设计中自定义光纤传输通信协议,包括数据帧、应答帧、触发帧。并通过FPGA编程实现光纤传输通信协议。通过实验表明,该光纤通信传输数据具有正确性、高可靠性、抗电磁能力强等特点,具有重要的工程应用价值。