三氯氧磷制备电子级磷酸

电子级磷酸是磷化工精细化发展的主要产品之一。近年来,国内许多高校、研究机构和企业都投入了很多力量进行研究。用工业三氯氧磷作原料,进行一系列的提纯工艺,先制备高纯三氯氧磷,再水解制得电子级磷酸,完全可以满足硅片的清洗、集成电路蚀刻等要求高的工序。