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气压对VHF-PECVD制备的μc-Si∶H薄膜特性影响的研究 |
张晓丹
朱锋
赵颖
侯国付
魏长春
孙建
张德坤
任慧志
薛俊明
耿新华
熊绍珍
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《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2004 |
14
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2
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RF-PECVD制备微晶硅薄膜的X射线衍射研究 |
蔡宏琨
张德贤
何青
赵飞
陶科
席强
孙云
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《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2007 |
3
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3
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RF-PECVD法制备高Ge含量微晶Si-Ge薄膜及太阳电池 |
曹宇
张建军
李天微
黄振华
马俊
杨旭
倪牮
耿新华
赵颖
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《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2013 |
7
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